[發(fā)明專利]錐形半導(dǎo)體激光器分離電極熱沉在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202110437059.7 | 申請(qǐng)日: | 2021-04-22 |
| 公開(公告)號(hào): | CN113517628A | 公開(公告)日: | 2021-10-19 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 張娜玲;袁慶賀;井紅旗;仲莉;劉素平;馬驍宇 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所 |
| 主分類號(hào): | H01S5/024 | 分類號(hào): | H01S5/024;H01S5/042 |
| 代理公司: | 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 11021 | 代理人: | 吳夢(mèng)圓 |
| 地址: | 100083 *** | 國(guó)省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 錐形 半導(dǎo)體激光器 分離 電極 | ||
1.一種錐形半導(dǎo)體激光器分離電極熱沉,包括:
散熱基底,設(shè)置有凹槽,能夠?yàn)樵O(shè)置于所述凹槽底部的半導(dǎo)體激光器芯片進(jìn)行散熱;
絕緣體組,包括兩個(gè)絕緣體,對(duì)應(yīng)設(shè)置于所述半導(dǎo)體激光器芯片兩側(cè)的凹槽底部;以及
分離電極,用于為所述半導(dǎo)體激光器芯片供電,包括位于每個(gè)所述絕緣體表面且通過(guò)絕緣凹槽相隔設(shè)置的MO電極單元和PA電極單元。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的錐形半導(dǎo)體激光器分離電極熱沉,其中,所述分離電極包括:第一長(zhǎng)方體電極和第二長(zhǎng)方體電極;
所述第一長(zhǎng)方體電極與所述第二長(zhǎng)方體電極各自的一側(cè)與所述絕緣體連接,各自的另一側(cè)的表面進(jìn)行了鍍金處理,相對(duì)應(yīng)形成第一導(dǎo)電側(cè)與第二導(dǎo)電側(cè)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的錐形半導(dǎo)體激光器分離電極熱沉,其中,
所述第一導(dǎo)電側(cè)設(shè)置有將其分為兩部分的第一絕緣凹槽,并形成靠近所述半導(dǎo)體激光器芯片的第一內(nèi)側(cè)電極與遠(yuǎn)離所述半導(dǎo)體激光器芯片的第一外側(cè)電極;
所述第二導(dǎo)電側(cè)設(shè)置有將其分為兩部分的第二絕緣凹槽,并形成靠近所述半導(dǎo)體激光器芯片的第二內(nèi)側(cè)電極與遠(yuǎn)離所述半導(dǎo)體激光器芯片的第二外側(cè)電極;
所述第一絕緣凹槽與所述第二絕緣凹槽相對(duì)于所述半導(dǎo)體激光器芯片為對(duì)稱結(jié)構(gòu);
所述第一內(nèi)側(cè)電極與所述第二內(nèi)側(cè)電極形成第一電極組,所述第一電極組用于對(duì)錐形半導(dǎo)體激光器錐形區(qū)施加電流;
所述第一外側(cè)電極與所述第二外側(cè)電極形成第二電極組,所述第二電極組用于對(duì)錐形半導(dǎo)體激光器脊形波導(dǎo)區(qū)施加電流。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的錐形半導(dǎo)體激光器分離電極熱沉,其中,所述第一內(nèi)側(cè)電極、所述第一外側(cè)電極、所述第二內(nèi)側(cè)電極及所述第二外側(cè)電極均在其導(dǎo)電側(cè)設(shè)置有電極柱;
各所述電極柱的一端與相對(duì)應(yīng)的電極導(dǎo)電側(cè)連接,各所述電極柱的另一端進(jìn)行中空處理,形成各自的電極柱中空端,用于連接外部電源。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的錐形半導(dǎo)體激光器分離電極熱沉,還包括:
上蓋板,設(shè)置有多個(gè)固定孔,所述固定孔與所述散熱基底設(shè)有的螺紋孔相對(duì)應(yīng),能夠通過(guò)螺栓固定所述上蓋板;
所述上蓋板還設(shè)有能夠?qū)⒏魉鲭姌O柱中空端穿入的電極柱限位孔。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的錐形半導(dǎo)體激光器分離電極熱沉,還包括:
絕緣子:能夠套接于所述電極柱中空端與所述電極柱限位孔之間,用于防止電極柱與上蓋板電連通。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的錐形半導(dǎo)體激光器分離電極熱沉,其中,每個(gè)所述MO電極單元包括MO電極和設(shè)置于所述MO電極上的電極柱;每個(gè)所述PA電極單元包括PA電極和設(shè)置于所述PA電極上的電極柱。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的錐形半導(dǎo)體激光器分離電極熱沉,其中,所述MO電極和所述PA電極能夠分別對(duì)所述錐形半導(dǎo)體激光器芯片進(jìn)行供電。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的錐形半導(dǎo)體激光器分離電極熱沉,其中,所述MO電極能夠?qū)﹀F形半導(dǎo)體激光器芯片的脊形波導(dǎo)區(qū)施加電流;所述PA電極能夠?qū)﹀F形半導(dǎo)體激光器芯片的錐型區(qū)施加電流。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的錐形半導(dǎo)體激光器分離電極熱沉,其中,所述散熱基底,為散熱性能良好的材料,且為銅材料。
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