[發明專利]一種高透穩定超疏水復眼透鏡的制造方法

在審

• 申請號: 202110437055.9
• 申請日: 2021-04-22
• 公開（公告）號: CN113514907A
• 公開（公告）日: 2021-10-19
• 發明（設計）人: 李江;黃玉祥;朱瑞祥;閆小麗;付作立
• 申請（專利權）人: 西北農林科技大學
• 主分類號: G02B3/00
• 分類號: G02B3/00
• 代理公司: 西安智大知識產權代理事務所 61215
• 代理人: 賀建斌

1.一種高透穩定超疏水復眼透鏡的制造方法，其特征在于，包括以下步驟：

1)玻璃基板使用丙酮、酒精處理，去離子水沖洗，最后氮氣吹干，將光刻膠旋涂在玻璃片上，轉速1000-2000r/min旋涂40-60s，95-100℃烘5-10min；重復旋涂過程，獲得18-25μm光刻膠薄膜，即樣片一；

將圓孔間距40-80μm，直徑5-20μm的掩膜板與樣片一緊密壓緊貼合，紫外曝光后，用質量分數為3‰-8‰的氫氧化鈉溶液顯影30-50s，流動去離子水充分清洗，氮氣吹干，得樣片二；

2)將PDMS本體和固化劑質量比為10:1的液態PDMS聚合物用于樣片二的翻模，經過兩次翻模后，得到凹微柱陣列模具，即樣片三；

將NOA紫外固化膠澆灌在樣片三上，覆蓋玻璃片壓緊后，充分紫外曝光，得到高度為18-25μm的微柱陣列，即樣片四；

3)將樣片四疏水處理后，利用高精度移動平臺和顯微成像系統在樣片四微柱陣列間隙噴印1-8次微透鏡陣列，樣片90-100℃前烘10-20min，紫外曝光80-120s，90-100℃后烘20-40min，得微透鏡和微柱陣列復合結構的樣片五，即高透穩定超疏水復眼透鏡。

2.根據權利要求1所述的一種高透穩定超疏水復眼透鏡的制造方法，其特征在于，包括以下步驟：

1)玻璃基板使用丙酮、酒精處理，去離子水沖洗，最后氮氣吹干，將光刻膠旋涂在玻璃片上，轉速1500r/min旋涂45s，95℃烘5min；重復旋涂過程，獲得22μm光刻膠薄膜，即樣片一；

將圓孔間距50μm，直徑10μm的掩膜板與樣片一緊密壓緊貼合，紫外曝光后，用質量分數為5‰的氫氧化鈉溶液顯影40s，流動去離子水充分清洗，氮氣吹干，得樣片二；

2)將PDMS本體和固化劑質量比為10:1的液態PDMS聚合物用于樣片二的翻模，經過兩次翻模后，得到凹微柱陣列模具，即樣片三；

將NOA紫外固化膠澆灌在樣片三上，覆蓋玻璃片壓緊后，充分紫外曝光后，得到高度為22μm的微柱陣列，即樣片四；

3)將樣片四疏水處理后，利用高精度微噴印系統在樣片四微柱陣列間隙噴印1次微透鏡陣列，樣片90℃前烘15min，紫外曝光100s，100℃后烘30min，得微透鏡和微柱陣列復合結構的樣片五，即高透穩定超疏水復眼透鏡。