[發(fā)明專利]一種具有高單縱模穩(wěn)定性的半導(dǎo)體激光器

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110432803.4
• 申請(qǐng)日: 2021-04-21
• 公開（公告）號(hào): CN113300215A
• 公開（公告）日: 2021-08-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳洋俊;奚燕萍
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 日照市艾銳光電科技有限公司
• 主分類號(hào): H01S5/065
• 分類號(hào): H01S5/065;H01S5/22
• 代理公司: 蘇州創(chuàng)智慧成知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 32419
• 代理人: 付偉

1.一種具有高單縱模穩(wěn)定性的半導(dǎo)體激光器，所述半導(dǎo)體激光器為FP脊波導(dǎo)激光器，其特征在于，所述FP脊波導(dǎo)激光器還包括通過刻蝕脊波導(dǎo)形成的失諧雙光柵區(qū)，所述失諧雙光柵區(qū)構(gòu)成高Q帶通濾波器，所述失諧雙光柵區(qū)包括級(jí)聯(lián)的不同光柵周期的第一失諧光柵區(qū)和第二失諧光柵區(qū)；FP腔內(nèi)本征的多激射模式通過高Q帶通濾波器，頻譜被純化，再通過有源區(qū)非線性增益介質(zhì)的放大，將頻譜展寬，如此往復(fù)，所述FP脊波導(dǎo)激光器的頻譜經(jīng)多次濾波后被壓窄，最終形成單縱模激射振蕩。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有高單縱模穩(wěn)定性的半導(dǎo)體激光器，其特征在于，利用所述第一失諧光柵區(qū)和第二失諧光柵區(qū)的透射譜的高銳通帶邊緣形成所述高Q帶通濾波器的高Q窄帶帶通濾波特性。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有高單縱模穩(wěn)定性的半導(dǎo)體激光器，其特征在于，所述失諧雙光柵區(qū)沿z軸方向的長度為FP腔沿z軸方向總長度的7％～15％，且所述第一失諧光柵區(qū)和第二失諧光柵區(qū)的長度相等。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有高單縱模穩(wěn)定性的半導(dǎo)體激光器，其特征在于，所述脊波導(dǎo)沿x軸方向的寬度w₁為1.5～2.5μm，所述失諧雙光柵區(qū)沿x軸方向的寬度w₂的數(shù)值范圍為w₁≤w₂≤4μm。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有高單縱模穩(wěn)定性的半導(dǎo)體激光器，其特征在于，所述失諧雙光柵區(qū)的刻蝕深度與所述脊波導(dǎo)沿y軸方向的厚度相同。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有高單縱模穩(wěn)定性的半導(dǎo)體激光器，其特征在于，所述失諧雙光柵區(qū)的光柵的傾斜角為2～4度。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有高單縱模穩(wěn)定性的半導(dǎo)體激光器，其特征在于，所述第一失諧光柵區(qū)和第二失諧光柵區(qū)的光柵布拉格波長差為36～43納米。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種具有高單縱模穩(wěn)定性的半導(dǎo)體激光器，其特征在于，所述第一失諧光柵區(qū)和第二失諧光柵區(qū)的光柵布拉格波長差為40納米。

9.根據(jù)權(quán)利要求1-8任一所述的一種具有高單縱模穩(wěn)定性的半導(dǎo)體激光器，其特征在于，所述FP脊波導(dǎo)激光器沿y軸方向自下而上依次為襯底、下包層、有源層、上包層和上包層脊條部分，沿z軸方向依次為后端面、第一FP腔電注入?yún)^(qū)，第一失諧光柵區(qū)、第二失諧光柵區(qū)、第二FP腔電注入?yún)^(qū)和前端面。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的一種具有高單縱模穩(wěn)定性的半導(dǎo)體激光器，其特征在于，所述失諧雙光柵區(qū)無電注入。