[發(fā)明專利]MoS2 有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202110432563.8 | 申請(qǐng)日： | 2021-04-21 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN113125520B | 公開（公告）日： | 2022-08-12 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 周泳;王艷杰;劉博超;高瑞雪;付萬方;任浩;王宇航 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 重慶大學(xué) |
| 主分類號(hào)： | G01N27/12 | 分類號(hào)： | G01N27/12 |
| 代理公司： | 重慶博凱知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 50212 | 代理人： | 項(xiàng)曉丹 |
| 地址： | 400044 *** | 國省代碼： | 重慶;50 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | mos base sub | ||
1.一種雙器件濕度傳感裝置，其特征在于：包括MoS2濕度傳感器與MoS2/PEO濕度傳感器；
所述MoS2/PEO濕度傳感器包括電極，電極表面覆蓋以MoS2/PEO復(fù)合材料形成的復(fù)合氣敏薄膜，其中MoS2為P型MoS2，且PEO與MoS2的質(zhì)量比為1:1~1:10。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙器件濕度傳感裝置，其特征在于：MoS2/PEO濕度傳感器采用以下方法制成：
步驟1）通過聲波超聲方法將P型MoS2和PEO均勻分散于無水乙醇中形成均勻分散溶液，然后取設(shè)定質(zhì)量的均勻分散溶液進(jìn)行超聲復(fù)合以制備得到MoS2/PEO復(fù)合材料溶液；
步驟2）將步驟1）中得到的MoS2/PEO復(fù)合材料溶液噴涂于所述電極表面以形成復(fù)合氣敏薄膜，然后將具有復(fù)合氣敏薄膜的電極進(jìn)行真空干燥處理，以制備成MoS2/PEO濕度傳感器。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙器件濕度傳感裝置，其特征在于：所述電極為叉指電極。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙器件濕度傳感裝置，其特征在于：PEO與MoS2的質(zhì)量比為1:1。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙器件濕度傳感裝置，其特征在于：復(fù)合氣敏薄膜的厚度為50nm~1μm。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙器件濕度傳感裝置，其特征在于：還包括測(cè)試盒，MoS2/PEO濕度傳感器與MoS2濕度傳感器并排置于測(cè)試盒的測(cè)試腔內(nèi)，測(cè)試盒兩端均設(shè)有與測(cè)試腔連通的通氣孔；測(cè)試盒一側(cè)設(shè)有數(shù)據(jù)采集接口，MoS2/PEO濕度傳感器與MoS2濕度傳感器的信號(hào)輸出端分別連接到數(shù)據(jù)采集接口上。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙器件濕度傳感裝置，其特征在于：MoS2/PEO濕度傳感器上的復(fù)合氣敏薄膜采用MoS2/PEO復(fù)合材料溶液制備得到；MoS2濕度傳感器上的氣敏薄膜采用MoS2溶液制備得到，且MoS2溶液中MoS2的質(zhì)量體積分?jǐn)?shù)等于MoS2/PEO復(fù)合材料溶液中MoS2的質(zhì)量體積分?jǐn)?shù)；MoS2/PEO復(fù)合材料溶液中PEO和MoS2的質(zhì)量比為1:1~1:10。
8.一種濕度檢測(cè)方法，其特征在于：采用如權(quán)利要求1所述的雙器件濕度傳感裝置，包括以下步驟：
步驟1：獲取MoS2濕度傳感器與MoS2/PEO濕度傳感器的初始電阻值；
步驟2：通入目標(biāo)氣體，使目標(biāo)氣體作用于MoS2濕度傳感器與MoS2/PEO濕度傳感器；
步驟3：同時(shí)采集MoS2濕度傳感器與MoS2/PEO濕度傳感器在目標(biāo)氣體作用下的穩(wěn)定電阻值；
步驟4：根據(jù)響應(yīng)值計(jì)算公式：，分別計(jì)算MoS2濕度傳感器與MoS2/PEO濕度傳感器的響應(yīng)值；
步驟5：若MoS2濕度傳感器為正響應(yīng)，并且MoS2/PEO濕度傳感器為負(fù)響應(yīng)，則判斷目標(biāo)氣體中含有水蒸氣。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的濕度檢測(cè)方法，其特征在于：步驟5之后還進(jìn)行以下步驟：
步驟6：根據(jù)MoS2/PEO濕度傳感器的響應(yīng)值計(jì)算目標(biāo)氣體的濕度值。
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