[發明專利]一種龍門式三軸減振原位干涉測量機

在審

• 申請號: 202110430688.7
• 申請日: 2021-04-21
• 公開（公告）號: CN113108184A
• 公開（公告）日: 2021-07-13
• 發明（設計）人: 朱學亮;郝怡蕾;南丹榮;田愛玲;王紅軍;劉丙才
• 申請（專利權）人: 西安工業大學
• 主分類號: F16M11/04
• 分類號: F16M11/04;F16F15/023;F16F15/03;F16F15/067
• 代理公司: 西安新思維專利商標事務所有限公司 61114
• 代理人: 黃秦芳

本發明涉及一種龍門式三軸減振原位干涉測量機。為了解決現有技術中沒能提供專門和全面進行減振的原位測量設備，以及原位檢測精度和穩定性不良的問題。本發明的技術方案包括倒“U”型橫梁，橫梁內設置有Y軸傳動系統，Z軸傳動系統安裝在Y軸傳動系統的溜板上，測量頭安裝在Z軸傳動系統的溜板上，以此實現測量頭沿Y、Z軸方向的運動；兩個立柱分別通過減振裝置設置于橫梁的兩個豎桿下端；兩個立柱的下端設置于立柱底座上，立柱底座的底面安裝在X軸傳動系統的溜板上,實現測量頭沿X軸方向的運動，X軸傳動系統設置于凹型鑄鐵底板的凸緣上，凹型鑄鐵底板通過空氣彈簧與地基連接，X軸傳動系統的溜板底部設置有鎖緊裝置，且懸于線軌軌體上方。

技術領域

本發明涉及精密光學零部件的加工檢測技術領域，具體涉及一種龍門式三軸減振原位干涉測量機，主要應用于非球面光學產品或零件的測量。

背景技術

隨著現代高新技術的不斷發展，加工精度的要求也不斷提高，對檢測設備的精度及穩定性的需求日益嚴苛。三坐標測量的精度和穩定性良好，但對環境要求比較嚴格，并且為加工后檢測，即使發現加工異常，對于精度要求高的產品或零件，由于裝夾，對刀，運動控制，熱平衡等誤差的存在，很難進行返工或返修，造成比較大的浪費，也提高了成本。

在機床旁邊附加一個可靠的檢測機，實現產品或零件不拆卸，直接將測量機移動到機床工作臺上方完成檢測。這個設想早己經有所應用，但是現有技術中沒有提供專門和全面進行減振的測量設備。

發明內容

有鑒于此，本發明為了解決現有技術中沒能提供專門和全面進行減振的原位測量設備，以及原位檢測精度和穩定性不良的問題，提供一種龍門式三軸減振原位干涉測量機。

為解決現有技術存在的問題，本發明的技術方案是：一種龍門式三軸減振原位干涉測量機，其特征在于：包括測量頭、橫梁、兩個立柱、立柱底座、凹型鑄鐵底板和空氣彈簧；

所述的橫梁為倒“U”型，橫梁內設置有Y軸傳動系統，Z軸傳動系統安裝在Y軸傳動系統的溜板上，測量頭安裝在Z軸傳動系統的溜板上，以此實現測量頭沿Y、Z軸方向的運動；兩個立柱分別通過減振裝置設置于橫梁的兩個豎桿下端；兩個立柱的下端設置于立柱底座上，所述的立柱底座的底面安裝在X軸傳動系統的溜板上,實現測量頭沿X軸方向的運動，X軸傳動系統設置于凹型鑄鐵底板的凸緣上，凹型鑄鐵底板通過空氣彈簧與地基連接，所述的X軸傳動系統的溜板底部設置有鎖緊裝置，且懸于線軌軌體上方。

進一步，減振裝置的結構由安裝柱、加速度傳感器、彈簧、固定螺母、下電磁器和上電磁器組成；

所述的安裝柱焊接于倒“U”型橫梁的底部，安裝柱下部設有加速度傳感器，下電磁器通過固定螺母設置于在立柱頂部的內孔中，上電磁器固定在倒“U”型橫梁的底面上，彈簧套設于上、下電磁器外部。

進一步，空氣彈簧由主氣室、副氣室、阻尼孔、保險彈簧、密封蓋、螺母、充氣口、缸體、鋼制保護層，活塞組成；所述的主氣室為橡膠氣囊，主氣室上部設置有鋼制保護層，下部與活塞固結于一起，并與活塞中心阻尼孔聯通，活塞在缸體內可上下運動，主氣室也跟隨運動，缸體底部由密封蓋通過螺紋密封，充氣口穿過密封蓋中心通孔，并用螺母固定，保險彈簧固定在密封蓋上表面，套在阻尼孔外，位于缸體內，正常工作時，保險彈簧不與活塞接觸。

進一步，鎖緊裝置包括活動爪、固定轉軸、傳動螺栓、止推軸承和把手；活動爪通過固定轉軸固定于X軸傳動系統的X軸溜板凹槽內壁上，傳動螺栓穿過X軸溜板外壁，進入凹槽內，穿過外側活動爪上螺紋孔頂在內側活動爪內嵌的止推軸承的內孔中，傳動螺栓外端裝有把手。

進一步，減振裝置設置于隔離罩內，隔離罩設置于“U”型橫梁的底部，并覆蓋立柱的頂部。

進一步，所述測量頭為激光干涉儀，通過z軸的溜板固定于橫梁的橫桿上。

與現有技術相比，本發明的優點如下：