[發明專利]一種電子級三氯化硼提純系統的雜質氣體檢測裝置及方法

在審

• 申請號: 202110430673.0
• 申請日: 2021-04-21
• 公開（公告）號: CN113125372A
• 公開（公告）日: 2021-07-16
• 發明（設計）人: 李相賢;高閩光;童晶晶;韓昕;石建國;李妍
• 申請（專利權）人: 中國科學院合肥物質科學研究院
• 主分類號: G01N21/3504
• 分類號: G01N21/3504;C01B35/06
• 代理公司: 合肥市浩智運專利代理事務所(普通合伙) 34124
• 代理人: 葉濛濛

1.一種電子級三氯化硼提純系統的雜質氣體檢測裝置，其特征在于：包括粗品存儲罐、第一管路、第二管路、第一傅里葉紅外光譜檢測系統、第一緩沖罐、第一真空泵、三氯化硼提純系統、第三管路、第二傅里葉紅外光譜檢測系統、第二緩沖罐、第二真空泵和堿液筒；所述第一管路、第二管路并聯設置，且所述第一管路進口、第二管路進口通過三通閥與所述粗品存儲罐的出料口連通；所述第一傅里葉紅外光譜檢測系統包括第一樣品池，所述第一樣品池的進料口與所述第一管路出口連通，所述第一緩沖罐的進料口與所述第一樣品池的出料口連通，所述第一真空泵的進料口與所述第一緩沖罐的出料口連通，所述第一真空泵的出料口連通至所述堿液筒內；所述三氯化硼提純系統的進料口與所述第二管路出口連通；所述第三管路進口與所述三氯化硼提純系統的出料口連通；所述第二傅里葉紅外光譜檢測系統包括第二樣品池，所述第二樣品池的進料口與所述第三管路出口連通，所述第二緩沖罐的進料口與所述第二樣品池的出料口連通，所述第二真空泵的進料口與所述第二緩沖罐的出料口連通，所述第二真空泵的出料口連通至所述堿液筒內；

所述第一樣品池的光程為60mm，所述第二樣品池的光程為10m。

2.根據權利要求1所述的一種電子級三氯化硼提純系統的雜質氣體檢測裝置，其特征在于：所述第一樣品池的左右兩側的窗片和所述第二樣品池的左右兩側的窗片均為BaF₂窗片。

3.根據權利要求2所述的一種電子級三氯化硼提純系統的雜質氣體檢測裝置，其特征在于：所述第一樣品池和所述第二樣品池內均設置有控溫控壓系統，且所述第一樣品池和所述第二樣品池內氣體溫度均恒定在42±0.2℃，氣壓均恒定為1±0.1個標準大氣壓。

4.根據權利要求3所述的一種電子級三氯化硼提純系統的雜質氣體檢測裝置，其特征在于：所述第一傅里葉紅外光譜檢測系統還包括第一探測器、第一FTIR光譜儀、第一紅外光源、第一控制分析軟件；所述第一探測器設置在所述第一樣品池一側；所述第一FTIR光譜儀設置在所述第一樣品池另一側；所述第一紅外光源設置在所述第一FTIR光譜儀另一側；所述第一控制分析軟件與所述第一探測器、第一FTIR光譜儀、第一紅外光源電連接。

5.根據權利要求4所述的一種電子級三氯化硼提純系統的雜質氣體檢測裝置，其特征在于：所述第一傅里葉紅外光譜檢測系統檢測三氯化硼粗品中雜質氣體組分及濃度范圍為：CH₄：100-200ppm、CO：100-150ppm、CO₂：100-200ppm，HCl：100-300ppm、COCl₂：1-200ppm、SiCl₄：100-300ppm、SiH₂Cl₂：1-200ppm。

6.根據權利要求3所述的一種電子級三氯化硼提純系統的雜質氣體檢測裝置，其特征在于：所述第二傅里葉紅外光譜檢測系統還包括第二探測器、第二FTIR光譜儀、第二紅外光源、第二控制分析軟件；所述第二探測器設置在所述第二樣品池一側；所述第二FTIR光譜儀設置在所述第二樣品池另一側；所述第二紅外光源設置在所述第二FTIR光譜儀另一側；所述第二控制分析軟件與所述第二探測器、第二FTIR光譜儀、第二紅外光源電連接。

7.根據權利要求6所述的一種電子級三氯化硼提純系統的雜質氣體檢測裝置，其特征在于：所述第二傅里葉紅外光譜檢測系統檢測三氯化硼成品中的雜質氣體組分及濃度范圍為：CH₄：0.01-0.5ppm、CO：0.1-0.5ppm、CO₂：0.1-2ppm、HCl：0.1-1ppm、COCl₂：0.1-1ppm、SiCl₄：0.05-2ppm、SiH₂Cl₂：0.1-1ppm。