[發(fā)明專利]像散測(cè)試掩膜版及光刻機(jī)臺(tái)的像散檢測(cè)方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110428527.4
• 申請(qǐng)日: 2021-04-21
• 公開（公告）號(hào): CN113204166A
• 公開（公告）日: 2021-08-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 欒會(huì)倩;吳長(zhǎng)明;姚振海
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 華虹半導(dǎo)體（無錫）有限公司
• 主分類號(hào): G03F1/44
• 分類號(hào): G03F1/44;G03F7/20
• 代理公司: 上海浦一知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31211
• 代理人: 羅雅文

1.一種像散測(cè)試掩膜版，其特征在于，所述像散測(cè)試掩膜版上布滿像散測(cè)試標(biāo)記，所述像散測(cè)試掩膜版的大小與待測(cè)光刻機(jī)臺(tái)的最大曝光區(qū)域的大小相同；

每個(gè)像散測(cè)試標(biāo)記包括第一類透光圖形和第二類透光圖形；

所述第一類透光圖形由第一透光條和第二透光條構(gòu)成，所述第一透光條的長(zhǎng)邊與所述第二透光條的長(zhǎng)邊平行，所述第一透光條的關(guān)鍵尺寸與所述待測(cè)光刻機(jī)臺(tái)的最小分辨率相同；

所述第二類透光圖形為第三透光條，所述第二透光條和所述第二類透光圖形的關(guān)鍵尺寸大于所述待測(cè)光刻機(jī)臺(tái)的最小分辨率，所述第二透光條和所述第二類透光圖形的關(guān)鍵尺寸不相同；

一個(gè)第一類透光圖形和一個(gè)第二類透光圖形構(gòu)成一組子標(biāo)記；

將所述每個(gè)像散測(cè)試標(biāo)記分為四個(gè)象限，每個(gè)象限至少設(shè)置有3組子標(biāo)記；在第一象限和第三象限中，所述第一類透光圖形位于所述第二類透光圖形的右側(cè)；在第二象限中，所述第一類透光圖形位于所述第二類透光圖形的上方；在第四象限中，所述第一類透光圖形位于所述第二類透光圖形的下方；

所述第一象限和所述第二象限中透光圖形的放置方向呈90°，所述第一象限和所述第三象限中透光圖形的放置方向相同，所述第一象限和所述第四象限中透光圖形的放置方向呈90°。

2.一種光刻機(jī)臺(tái)的像散檢測(cè)方法，其特征在于，所述方法包括：

在晶圓表面涂布光刻膠；

利用像散測(cè)試掩膜版和待測(cè)光刻機(jī)臺(tái)對(duì)所述晶圓進(jìn)行曝光；

對(duì)曝光后的晶圓進(jìn)行顯影；

利用套刻機(jī)臺(tái)測(cè)量所述晶圓表面形成的測(cè)試圖形的套刻值；

根據(jù)套刻值與焦距變化量之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系，確定所述待測(cè)光刻機(jī)臺(tái)對(duì)應(yīng)不同曝光位置的像散值；

其中，所述像散測(cè)試掩膜版上布滿像散測(cè)試標(biāo)記，所述像散測(cè)試掩膜版的大小與待測(cè)光刻機(jī)臺(tái)的最大曝光區(qū)域的大小相同；

每個(gè)像散測(cè)試標(biāo)記包括第一類透光圖形和第二類透光圖形；

所述第一類透光圖形由第一透光條和第二透光條構(gòu)成，所述第一透光條的長(zhǎng)邊與所述第二透光條的長(zhǎng)邊平行，所述第一類透光圖形的關(guān)鍵尺寸與所述待測(cè)光刻機(jī)臺(tái)的最小分辨率相同；

所述第二類透光圖形為第三透光條，所述第二透光條和所述第二類透光圖形的關(guān)鍵尺寸大于所述待測(cè)光刻機(jī)臺(tái)的最小分辨率，所述第二透光條和所述第二類透光圖形的關(guān)鍵尺寸不相同；

一個(gè)第一類透光圖形和一個(gè)第二類透光圖形構(gòu)成一組子標(biāo)記；

將所述每個(gè)像散測(cè)試標(biāo)記分為四個(gè)象限，每個(gè)象限至少設(shè)置有3組子標(biāo)記；在第一象限和第三象限中，所述第一類透光圖形位于所述第二類透光圖形的右側(cè)；在第二象限中，所述第一類透光圖形位于所述第二類透光圖形的上方；在第四象限中，所述第一類透光圖形位于所述第二類透光圖形的下方；

所述第一象限和所述第二象限中透光圖形的放置方向呈90°，所述第一象限和所述第三象限中透光圖形的放置方向相同，所述第一象限和所述第四象限中透光圖形的放置方向呈90°。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其特征在于，所述方法還包括：

獲取套刻值與焦距變化量之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系。