[發明專利]驅動系統、光刻裝置以及物品的制造方法

在審

• 申請號: 202110421529.0
• 申請日: 2021-04-20
• 公開（公告）號: CN113541532A
• 公開（公告）日: 2021-10-22
• 發明（設計）人: 北直樹
• 申請（專利權）人: 佳能株式會社
• 主分類號: H02P6/00
• 分類號: H02P6/00;H02K11/215;G03F7/20
• 代理公司: 中國貿促會專利商標事務所有限公司 11038
• 代理人: 程晨

本發明涉及驅動系統、光刻裝置以及物品制造方法。為了提供能夠進行精度高的驅動的驅動系統，在驅動系統中，具有：馬達，包括定子和動子；位置檢測部，檢測馬達的定子和動子的相對位置；取得部，取得與所述相對位置對應的成為基準的磁通密度信息；測定單元，測定與所述相對位置對應的實際的磁通密度信息；以及控制單元，將成為基準的磁通密度信息的大小與預定的設定值一致時的所述相對位置設為第1相對位置，將由測定單元測定的磁通密度信息的大小與所述預定的設定值一致時的所述相對位置設為第2相對位置，在測定的磁通密度信息變化一個周期的期間多次取得第1相對位置與第2相對位置之差，根據所述多次中的每一次的差，控制馬達的驅動。

技術領域

本發明涉及驅動系統、光刻裝置以及物品制造方法。

背景技術

為了準確地驅動馬達，必須提供與動子或定子產生的磁通密度的空間分布相匹配的電流指令值。然而，根據電流指令值參照的位置檢測部的值計算出的磁通密度與動子或定子實際上產生的磁通密度之間產生誤差。

為了降低該誤差，在日本專利第3765287號、日本特開2008-178237號公報中，公開了一種求出計算上的磁通密度成為零的位置與測定的磁通密度成為零的位置的差來校正位置檢測部的值或者電流指令值的系統。在日本專利第3765287號、日本特開2008-178237號公報中，通過代替磁通密度而測定與磁通密度成比例的馬達的反電動勢并計算磁通密度成為零的位置，校正位置檢測部的值或者電流指令值。

發明內容

即，在日本專利第3765287號、日本特開2008-178237號公報中，在整個驅動范圍或者磁通變化一個周期的期間，求出計算上的磁通密度成為零的位置與測定的磁通密度成為零的位置的差來校正位置檢測部的值或者電流指令值。然而，在以往方法中，在整個驅動范圍或者磁通變化一個周期的期間僅出現1個差，所以精度低，甚至無法校正由于多個磁鐵的安裝誤差而產生的磁通密度的一個周期內的偏移。因此，不足以應用于例如光刻裝置等。

本發明的目的在于提供一種能夠進行精度高的位置控制的驅動系統。

解決課題的手段

為了達成該目的，本發明的一個側面的驅動系統的特征在于，具有：

馬達，包括定子和動子；

位置檢測部，檢測所述馬達的定子與動子的相對位置；

取得部，取得與所述相對位置對應的成為基準的磁通密度信息；

測定單元，測定與所述相對位置對應的實際的磁通密度信息；以及

控制單元，將所述成為基準的磁通密度信息的大小與預定的設定值一致時的所述相對位置設為第1相對位置，將由所述測定單元測定的磁通密度信息的大小與所述預定的設定值一致時的所述相對位置設為第2相對位置，在所述測定的磁通密度信息變化一個周期的期間多次取得所述第1相對位置與所述第2相對位置之差，根據所述多次中的每一次的差來控制所述馬達的驅動。

發明的效果

根據本發明的一個側面，能夠提供能夠進行精度高的位置控制的驅動系統。

附圖說明

圖1是示出實施例中的使用線性馬達的定位載置臺的示意性結構的俯視圖。

圖2是實施例中的線性馬達的結構圖。

圖3是實施例中的磁鐵、線圈、位置檢測器的原點的配置全部按照設計值時的配置與磁通密度的關系圖。

圖4是示出實施例中的動子從線圈121a～121c受到的力的圖。