[發(fā)明專利]一種非平面透明元件的偏振特性檢測裝置及檢測方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110412690.1
• 申請日: 2021-04-16
• 公開（公告）號: CN113203686B
• 公開（公告）日: 2023-02-14
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 曾愛軍;張靈浩;夏克貴;朱玲琳;孫曉冬;王振
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機械研究所
• 主分類號: G01N21/21
• 分類號: G01N21/21
• 代理公司: 上海恒慧知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 31317
• 代理人: 張寧展

1.一種偏振特性檢測裝置檢測非平面透明元件的偏振特性的方法，該偏振特性檢測裝置，包括偏振特性測量設(shè)備、匹配液、容器和夾持件；

所述匹配液置于所述容器內(nèi)，所述夾持件用于夾持非平面透明元件，并將所述非平面透明元件完全浸沒于所述容器內(nèi)的匹配液中；

所述匹配液的折射率與所述非平面透明元件的折射率一致，所述匹配液與所述非平面透明元件配合使用以使測量光束經(jīng)過所述匹配液和所述非平面透明元件后的射出方向與單獨經(jīng)過平面透明元件后的射出方向一致；

所述偏振特性測量設(shè)備用于檢測所述非平面透明元件與所述匹配液配合使用的整體偏振特性，其特征在于，該方法包括如下步驟：

步驟1)測量底噪：

測量未倒入匹配液的容器的通光窗口的偏振特性矩陣；

將匹配液倒入容器中，測量匹配液與容器結(jié)合的偏振特性矩陣；

將通光窗口的偏振特性矩陣和匹配液與容器結(jié)合的偏振特性矩陣作為底噪；

步驟2)測量整體偏振特性矩陣：

將非平面透明元件完全浸沒于容器的匹配液中；

待所述容器內(nèi)的匹配液處于穩(wěn)定狀態(tài)時，使用偏振特性測量設(shè)備檢測所述非平面透明元件與所述匹配液配合使用的整體偏振特性矩陣；

步驟3)消除底噪：

根據(jù)通光窗口的偏振特性矩陣、匹配液與容器結(jié)合的偏振特性矩陣和所述的整體偏振特性矩陣，以及測量光束穿越的先后順序建立對應(yīng)的乘積關(guān)系；

根據(jù)乘積關(guān)系消除所述整體偏振特性矩陣中的底噪，以獲得非平面透明元件的偏振特性矩陣。

2.如權(quán)利要求1所述的檢測非平面透明元件的偏振特性的方法，其特征在于，所述偏振特性測量設(shè)備為應(yīng)力儀、偏振計、橢偏儀或斯托克斯參數(shù)測量儀。

3.如權(quán)利要求1所述的檢測非平面透明元件的偏振特性的方法，其特征在于，所述的偏振特性矩陣為穆勒矩陣或瓊斯矩陣。