[發明專利]靜電放電緩解裝置及流體回路

在審

• 申請號: 202110409852.6
• 申請日: 2021-04-16
• 公開（公告）號: CN113543433A
• 公開（公告）日: 2021-10-22
• 發明（設計）人: J·J·麥肯齊;J·庫貝什;J·A·利斯;J·C·林德
• 申請（專利權）人: 恩特格里斯公司
• 主分類號: H05F3/02
• 分類號: H05F3/02
• 代理公司: 北京律盟知識產權代理有限責任公司 11287
• 代理人: 李婷

本公開提供靜電放電緩解裝置及一種流體回路。在一或多個實施例中，所述靜電放電緩解裝置是用以將靜電荷從導電聚合物管道轉移到導電聚合物操作組件的導電插入件。

技術領域

本公開涉及可用于(舉例來說)流體處置系統中的靜電放電(ESD)緩解裝置，且更具體來說涉及供在受益于靜電放電緩解的超純流體處置系統中使用的靜電放電(ESD)緩解裝置。

背景技術

靜電放電(ESD)對于半導體工業中及其它技術應用中的流體處置系統來說是重要的技術問題。流體系統中的流體與各種操作組件(例如，管道或管路、閥、配件、過濾器等)的表面之間的摩擦接觸可導致靜態電荷的產生及積聚。電荷產生的程度取決于各種因素，包含但不限于組件及流體的本質、流體速度、流體粘度、流體的電導率、通往接地的路徑、液體中的擾動及切變、流體中存在空氣及表面積。在NFPA 77的“Recommended Practice onStatic Electricity(關于靜電的推薦做法)”(第77-1頁至第77-67頁，2014年)中論述且報告這些性質及用以緩解這些性質所導致的非所要靜態電荷的方式。

進一步地，當流體流動穿過系統時，可在稱作流式傳輸電荷的現象中向下游載送電荷，其中電荷可在電荷起源的地方以外積聚。在各個工藝步驟處，充足電荷積累可導致在管道或管壁、組件表面處或甚至在襯底或晶片上發生ESD。

在某些應用中，半導體襯底或晶片對靜態電荷高度敏感且此ESD可導致對襯底或晶片的損壞或破壞。舉例來說，由于ESD不受控制，因此襯底上的電路可能被破壞且光敏化合物可在定期曝光之前被活化。另外，所積聚靜電荷可從流體處置系統內排放到外部環境，從而可能損壞流體處置系統中的組件(例如，管道或管路、配件、組件、容器、過濾器等)，此可導致泄漏、系統中的流體溢出及組件性能降低。在這些情景中，當在受損的流體處置系統中使用易燃、有毒及/或腐蝕性流體時此放電可導致潛在火災或爆炸。

通常，電氣系統薄弱環節是接地的完整性。在一些流體處置系統中，為了減少靜電荷積聚，流體處置系統中的特定金屬或導電組件經接地以緩解系統中的靜電荷積聚，因為靜電荷不斷地從所述金屬或導電組件分散到接地。在一些系統中，由導電聚合物構成的導電線纜扎帶或“束線帶”有時用于將組件連接到接地。此類聚合纜線扎帶易受潛變、移動、破壞、環境效應或敏感度、劣化、磨損等影響，且在實踐中具有許多缺點。

將期望改進供在超純流體處置系統中使用的ESD緩解與接地裝置，此賦予經改進組件可靠性、穩定性、性能及可能損壞ESD事件的減少。

發明內容

本公開的一或多個實施例涉及靜電放電(ESD)緩解裝置。特定來說，實施例針對于一種靜電放電緩解裝置，其包括導電插入件以將靜電荷從導電聚合物管道轉移到導電聚合物操作組件以促進流體回路的接地。

本公開的一些實施例包括用以連接流體回路中的兩個或多于兩個導電管道分段的管道連接器，所述管道連接器包括：導電聚合物連接器主體，其具有兩個或多于兩個附接部分；兩個或多于兩個附接配件；導電聚合物插入件，其電接觸所述導電連接器主體；及導電托架，其經配置以與所述連接器主體附接并介接以將所述連接器主體電連接到接地。

在所述管道連接器的各個實施例中，所述管道連接器包含筆直連接器、T形連接器或肘形連接器。在所述管道連接器的特定實施例中，所述管道連接器是具有流體通路以連接兩個管道分段的筆直連接器。在所述管道連接器的特定實施例中，所述管道連接器是具有流體通路以連接兩個管道分段的肘形連接器。在所述管道連接器的特定實施例中，所述管道連接器是具有流體通路以連接三個管道分段的T形連接器。在所述管道連接器的特定實施例中，所述連接器主體附接部分包含螺紋區域及接頭區域以接納管道分段。在所述管道連接器的特定實施例中，所述附接配件包含壓緊螺母以將管道分段附接到所述管道連接器的所述螺紋及接頭區域。

在本公開的一些實施例中包括用于具有至少一個入口及至少一個出口的預定流體流動通路的流體回路，所述流體回路包含：

a.多個導電聚合物管道分段；