[發明專利]一種ZnO納米線敏感材料制備方法及其應用

有效

• 申請號: 202110409227.1
• 申請日: 2021-04-16
• 公開（公告）號: CN113308680B
• 公開（公告）日: 2023-03-28
• 發明（設計）人: 孟丹;謝書澳;李訓;李旭蕃;鄔胡倩;潘禹伯
• 申請（專利權）人: 沈陽化工大學
• 主分類號: C23C16/40
• 分類號: C23C16/40;B82Y40/00;G01N27/12
• 代理公司: 沈陽技聯專利代理有限公司 21205
• 代理人: 張志剛

1.一種ZnO納米線敏感材料制備方法，其特征在于，所述方法包括以下制備過程：

（1）采用硅基板作為襯底，依次放入丙酮、乙醇、去離子水中超聲清洗后吹干；

（2）稱量適量的Zn粉，利用研磨鍋充分研磨后置于氧化鋁瓷舟中的中心區域；

(3)將清洗后的硅基板放于氧化鋁瓷舟上面，在距離Zn源正上方的位置，然后將瓷舟放入管式反應爐高溫區域；

(4)通入氮氣作為載氣，氮氣的流量為150mL/min；10分鐘后，以10℃/min的升溫速率將爐管溫度升至相應的反應溫度，并保持這個溫度1小時；隨后自然冷卻到室溫；所述相應的反應溫度為900℃；

(5)取出硅基板，即得到ZnO納米線，將其保存在干燥器中以待進行分析檢測；所述的Zn粉為高純Zn；制得的ZnO納米線陣列直徑為50-200nm，納米線長度超過10μm。

2.根據權利要求1所述的一種ZnO納米線敏感材料制備方法的應用，其特征在于，所述ZnO納米線敏感材料應用于H₂S氣體傳感器中，制備H₂S氣體傳感器步驟如下：

(1)取ZnO納米線置于離心管中，然后向離心管中滴入乙醇混合，并超聲分散10分鐘；

(2)通過移液器將含有ZnO納米線的懸濁液滴涂在鍍Pt電極的硅基板上，置于紅外燈下烘烤30分鐘進行固膜；

(3)將固膜后的元件置于測試臺上，用導電銀漿連接Pt導線，在實驗室自制的動態氣敏測試平臺測試傳感器的氣體敏感特性。