[發明專利]芯片清洗裝置以及清洗方法

在審

• 申請號: 202110407786.9
• 申請日: 2021-04-15
• 公開（公告）號: CN113182306A
• 公開（公告）日: 2021-07-30
• 發明（設計）人: 王金昭;王青;江藹庭;張楊
• 申請（專利權）人: 華芯半導體研究院（北京）有限公司;華芯半導體科技有限公司
• 主分類號: B08B11/00
• 分類號: B08B11/00;B08B3/10;B08B13/00
• 代理公司: 北京清亦華知識產權代理事務所(普通合伙) 11201
• 代理人: 周慧云

本發明公開了芯片清洗裝置以及清洗方法，所述裝置包括電機；減速機，所述減速機與所述電機相連；偏心機構，所述偏心機構的一端與所述減速機相連；連桿，所述偏心機構的另一端與所述連桿的一端相連；清洗桿，所述清洗桿與所述連桿的另一端相連，芯片設在所述清洗桿上；清洗槽，所述清洗桿設在所述清洗槽內；固定架，所述固定架用于支撐固定所述芯片清洗裝置。該芯片清洗裝置結構簡單，成本低，易操作，清洗效率高，節省了大量的人力，且在清洗過程中芯片不易破碎。

技術領域

本發明涉及芯片清洗技術領域，具體而言，本發明涉及芯片清洗裝置以及清洗方法。

背景技術

隨著科學技術的不斷發展，各種各樣的芯片已廣泛應用于人們的日常生活、工作以及工業中，為人們的生活帶來了極大的便利。但是芯片在制備過程中，極易有顆粒、光刻殘膠等異物附著在芯片表面，因此，芯片在組裝之前需要進行清洗。

現有技術中清洗芯片的方法大體分為兩種，第一種方法是手動拋動清洗，此方法容易造成芯片破碎，且耗費大量的人力，另外在清洗過程中，清洗拋動速度不可控。第二種方法是通過機械手臂進行拋動清洗，該方法存在價格高且維修難的缺點。

發明內容

本發明旨在至少在一定程度上解決相關技術中的技術問題之一。為此，本發明的目的在于提出芯片清洗裝置以及清洗方法。該芯片清洗裝置結構簡單，成本低，易操作，清洗效率高，節省了大量的人力，且在清洗過程中芯片不易破碎。

在本發明的一個方面，本發明提出了一種芯片清洗裝置。根據本發明的實施例，該芯片清洗裝置包括：

電機；

減速機，所述減速機與所述電機相連；

偏心機構，所述偏心機構的一端與所述減速機相連；

連桿，所述偏心機構的另一端與所述連桿的一端相連；

清洗桿，所述清洗桿與所述連桿的另一端相連，芯片設在所述清洗桿上；

清洗槽，所述清洗桿設在所述清洗槽內；

固定架，所述固定架用于支撐固定所述芯片清洗裝置。

根據本發明上述實施例的芯片清洗裝置，通過設置偏心機構，偏心機構的一端連接減速機，另一端連接連桿，偏心機構在減速機的作用下，帶動連桿運動，從而帶動清洗桿運動；同時，由于偏心機構的存在，帶動連桿運動時，會經過偏心機構偏心的位置，帶動連桿上下抖動，從而帶動清洗桿上下抖動，固定在清洗桿上的芯片也隨著清洗桿上下抖動，從而達到清洗芯片的目的。另外，通過設置減速機，減速機與電機配合使用，從而實現清洗桿的清洗拋動速度可調。該芯片清洗裝置結構簡單，成本低，易操作，清洗效率高，節省了大量的人力，且在清洗過程中芯片不易破碎。

另外，根據本發明上述實施例的芯片清洗裝置還可以具有如下附加的技術特征：

在本發明的一些實施例中，所述芯片清洗裝置還包括固定件，所述固定件設在所述清洗桿與所述固定架的連接處，由此，將所述清洗桿固定在所述固定架上，使清洗桿在清洗槽內運動，避免清洗桿隨意晃動。

在本發明的一些實施例中，所述清洗桿為可伸縮桿，由此可根據清洗槽的深度調節清洗桿的長度，使該清洗桿適用于各種深度的清洗槽。

在本發明的一些實施例中，所述固定架包括第一支架、第二支架和第三支架，所述第一支架的一端與所述減速機相連，所述第一支架的另一端與所述第三支架垂直連接，所述第二支架設在所述第一支架與所述第三支架之間。

在本發明的一些實施例中，所述偏心機構包括第一固定軸、連接軸、偏心滑軌、緩沖桿和第二固定軸，所述第一固定軸與所述減速機相連，所述連接軸與所述第一固定軸通過所述偏心滑軌連接且連接在不同點上，所述緩沖桿連接在所述連接軸與所述第二固定軸之間，所述緩沖桿通過第二固定軸與所述連桿相連。