[發明專利]一種晶圓良率問題數據庫的搜索方法和裝置

有效

• 申請號: 202110407543.5
• 申請日: 2021-04-15
• 公開（公告）號: CN112988792B
• 公開（公告）日: 2022-05-31
• 發明（設計）人: 徐文丞;易叢文;林孟喆;戴靜安
• 申請（專利權）人: 筏渡（上海）科技有限公司
• 主分類號: G06F16/245
• 分類號: G06F16/245;G06F16/28;G06F16/248
• 代理公司: 北京億騰知識產權代理事務所(普通合伙) 11309
• 代理人: 周良玉

1.一種晶圓良率問題數據庫的搜索方法，所述晶圓良率問題數據庫為預先建立的，其中包括多個失效類別、以及多個失效類別相關的失效特征和對應的指證性數據，所述方法包括：

在多個第一晶圓圖中，確定其中存在預定的失效模式的若干第二晶圓圖；

提取所述若干第二晶圓圖中的若干第一失效特征；

根據所述第一失效特征,確定各第二晶圓圖的第一失效類別；

根據所述第一失效類別相關的第一失效特征，和所述多個失效類別相關的失效特征的相似度，確定所述多個失效類別中的若干第二失效類別、以及所述第一失效類別分別與各個第二失效類別的失效特征匹配數量；

獲取所述第一失效類別對應的指證性數據；

根據所述第一失效類別對應的指證性數據，和各個第二失效類別對應的指證性數據的相似度，確定第一失效類別分別與各個第二失效類別的指證性數據匹配數量；

根據所述失效特征匹配數量和指證性數據匹配數量，對所述若干第二失效類別進行第一排序；

按第一排序的結果，展示所述若干第二失效類別。

2.根據權利要求1所述的方法，其中，根據所述失效特征匹配數量和指證性數據匹配數量，對所述若干第二失效類別進行第一排序，包括：

根據所述失效特征匹配數量和指證性數據匹配數量的加權和，對所述若干第二失效類別進行第一排序。

3.根據權利要求2所述的方法，其中，所述失效特征匹配數量和指證性數據匹配數量的加權和中，所述指證性數據匹配數量的權重值高于所述失效特征匹配數量。

4.根據權利要求1所述的方法，其中，所述失效特征包括，失效功能的組成特征、失效圖案形狀特征、失效位置特征、失效圖案的發生次數特征中一種或多種。

5.根據權利要求1所述的方法，其中，根據所述第一失效類別相關的第一失效特征，和所述多個失效類別相關的失效特征的相似度，確定所述多個失效類別中的若干第二失效類別、以及所述第一失效類別分別與各個第二失效類別的失效特征匹配數量，包括：

根據所述第一失效類別相關的第一失效特征，和所述多個失效類別相關的失效特征的相似度，確定所述多個失效類別中的多個第三失效類別、以及所述第一失效類別分別與各個第三失效類別的失效特征匹配數量；

根據所述失效特征匹配數量，對多個第三失效類別進行第二排序；

將按第二排序的次序前預定數量的所述第三失效類別作為第二失效類別。

6.根據權利要求5所述的方法，還包括，

按第二排序的結果，展示所述多個第三失效類別。

7.根據權利要求1所述的方法，其中，按第一排序的結果，展示所述若干第二失效類別，包括，

按第一排序的結果，展示所述若干第二失效類別以及其對應的指示性數據，

和/或

展示所述若干第二失效類別對應的人工備注信息。

8.根據權利要求1所述的方法，還包括，

根據所述指證性數據匹配數量，對若干第二失效類別進行第三排序；

按第三排序的結果，展示所述若干第二失效類別。

9.根據權利要求1所述的方法，還包括，

根據所述失效特征匹配數量和指證性數據匹配數量，確定是否將所述第一失效類別作為新的失效類別添加到所述晶圓良率問題數據庫中。

10.一種晶圓良率問題數據庫的搜索裝置，所述晶圓良率問題數據庫為預先建立的，其中包括多個失效類別、以及多個失效類別相關的失效特征和對應的指證性數據，所述裝置包括：

失效模式探索單元，配置為，在多個第一晶圓圖中，確定其中存在預定的失效模式的若干第二晶圓圖；

失效特征確定單元，配置為，提取所述若干第二晶圓圖中的若干第一失效特征；

第一失效類別確定單元，配置為，根據所述第一失效特征,確定各第二晶圓圖的第一失效類別；

失效特征匹配數量確定單元，配置為，根據所述第一失效類別相關的第一失效特征，和所述多個失效類別相關的失效特征的相似度，確定所述多個失效類別中的若干第二失效類別、以及所述第一失效類別分別與各個第二失效類別的失效特征匹配數量；

指證性數據獲取單元，配置為，獲取所述第一失效類別對應的指證性數據；

指證性數據匹配數量確定單元，配置為，根據所述第一失效類別對應的指證性數據，和各個第二失效類別對應的指證性數據的相似度，確定第一失效類別分別與各個第二失效類別的指證性數據匹配數量；

排序單元，配置為，根據所述失效特征匹配數量和指證性數據匹配數量，對所述若干第二失效類別進行第一排序；

結果展示單元，配置為，按第一排序的結果，展示所述若干第二失效類別。