[發(fā)明專利]一種微小芯片快速巨量轉(zhuǎn)移方法

有效

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• 申請日: 2021-04-15
• 公開（公告）號: CN113299591B
• 公開（公告）日: 2022-09-13
• 發(fā)明（設計）人: 付桂花;馬洪毅
• 申請（專利權）人: 山西高科華興電子科技有限公司
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683
• 代理公司: 太原高欣科創(chuàng)專利代理事務所(普通合伙) 14109
• 代理人: 崔雪花;冷錦超

本發(fā)明提出一種微小芯片快速巨量轉(zhuǎn)移方法，屬于微小電子元器件技術領域；具體為吸盤疊加UV解離的方式批量轉(zhuǎn)移微小芯片；在UV解離的同時通過靠近的吸盤吸取芯片以及去除吸力時采用UV膠膜吸取芯片；微真空與UV解離相結合實現(xiàn)微型微小芯片的穩(wěn)定轉(zhuǎn)移；通過節(jié)距調(diào)整裝置可簡單快速的實現(xiàn)微小芯片節(jié)距調(diào)整，與微真空和UV解離相配合提高了轉(zhuǎn)移的效率和精度，無需復雜的設備即可完成，大量節(jié)約成本。

技術領域

本發(fā)明屬于微小電子元器件技術領域，涉及一種微小芯片快速巨量轉(zhuǎn)移方法。

背景技術

隨著微小超高清顯示技術的發(fā)展，由于超高清顯示需要超高密度的LED像素，每個像素均由對應的LED芯片組成，因此超高清的LED顯示產(chǎn)品的制作需要將巨量的LED芯片的批量快速矩陣轉(zhuǎn)移到對應的基板上。目前的轉(zhuǎn)移技術較為成熟的還是采用機械結構的“吸→放”過程，即采用吸頭將芯片從Wafer上吸起，然后轉(zhuǎn)移到對應的基板上的對應位置，如此采用單顆芯片的吸放動作速度較慢，精度不高，成本較高，遠遠不能滿足超高清、超小像素間距的顯示產(chǎn)品制作要求。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明克服了現(xiàn)有技術的不足，提出一種微小芯片快速巨量轉(zhuǎn)移方法。目的是提高微型芯片快速巨量轉(zhuǎn)移的速度和精度。

為了達到上述目的，本發(fā)明是通過如下技術方案實現(xiàn)的。

一種微小芯片快速巨量轉(zhuǎn)移方法，包括以下步驟：

a）Wafer片設置有粘性膠膜，粘性膠膜上排布有多個微小芯片，所述粘性膠膜的粘性在UV照射或加熱的條件下減弱。

b）將Wafer片粘結有微小芯片的一面靠近吸盤，同時在Wafer片另一面照射UV光；使Wafer片釋放微小芯片的同時，吸盤吸附所述的微小芯片。

c）使用節(jié)距調(diào)整裝置，調(diào)整芯片行列節(jié)距，使芯片節(jié)距與基板矩陣行列一致。

d）將帶有粘性膠膜的凸點載板貼緊并粘附吸盤面上的微小芯片，同時逐步降低吸盤吸力，將微小芯片從吸盤上整體轉(zhuǎn)移至凸點載板上。

e）之后，將凸點載板上的微小芯片轉(zhuǎn)移固定至基板上，采取后續(xù)操作。

優(yōu)選的，所述的為真空微孔吸盤或靜電吸盤。

優(yōu)選的，在進行步驟b）之前采用擴晶機將Wafer片上微小芯片的行列拉開距離。

優(yōu)選的，所述的節(jié)距調(diào)整裝置包括固定框架，所述固定框架內(nèi)設置有可左右移動的節(jié)距調(diào)整機構，所述節(jié)距調(diào)整機構包括多個平行的節(jié)距執(zhí)行板，相鄰兩個節(jié)距執(zhí)行板之間的間距在推動機構下可等距離拉長和收縮，所述固定框架內(nèi)設置有限位機構，所述限位機構用于節(jié)距執(zhí)行板在拉長或收縮后的定位，所述節(jié)距執(zhí)行板用于插入吸盤上微小芯片的行或列內(nèi)進行節(jié)距調(diào)整。

進一步的，所述節(jié)距執(zhí)行板中間布置有運動讓位孔，絲桿上依次連接有出力板、動節(jié)距調(diào)整板、多個節(jié)距執(zhí)行板，所述動節(jié)距調(diào)整板與出力板相連接，絲桿連接出力板的一端連接有驅(qū)動裝置，出力板在驅(qū)動裝置的作用下帶動所述的動節(jié)距調(diào)整板沿絲桿進入運動讓位孔，所述動節(jié)距調(diào)整板逐級推動多個節(jié)距執(zhí)行板，用于使節(jié)距執(zhí)行板之間拉伸至相同間距；遠離出力板的節(jié)距執(zhí)行板上連接有節(jié)距執(zhí)行回位套，所述節(jié)距執(zhí)行回位套在絲桿帶動下用于推動多個節(jié)距執(zhí)行板向出力板方向收回。

進一步的，所述動節(jié)距調(diào)整板的上下邊緣對稱設置有第一臺階，從出力板至節(jié)距執(zhí)行板的方向所述第一臺階朝絲桿方向逐級內(nèi)縮，所述固定框架內(nèi)的上下壁對稱設置有定節(jié)距調(diào)整板，所述定節(jié)距調(diào)整板邊緣設置有與所述第一臺階相嚙合的第二臺階；所述多節(jié)執(zhí)行板的高度與上下第二臺階之間的距離依次相匹配。