[發明專利]層疊型陽極氧化膜結構物、引導板以及探針卡

在審

• 申請號: 202110406094.2
• 申請日: 2021-04-15
• 公開（公告）號: CN113549972A
• 公開（公告）日: 2021-10-26
• 發明（設計）人: 安范模;樸勝浩;邊圣鉉
• 申請（專利權）人: 普因特工程有限公司
• 主分類號: C25D11/02
• 分類號: C25D11/02;C25D11/04;G01R1/073;G01R31/28
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205
• 代理人: 楊貝貝;臧建明

1.一種層疊型陽極氧化膜結構物，包括：

多個陽極氧化膜片材；以及

接合層，配置在所述陽極氧化膜片材之間以接合所述陽極氧化膜片材，且

所述層疊型陽極氧化膜結構物的表面以具有陽極氧化膜的阻擋層構成。

2.根據權利要求1所述的層疊型陽極氧化膜結構物，其中所述接合層為感光性材料。

3.根據權利要求1所述的層疊型陽極氧化膜結構物，其中所述陽極氧化膜片材配置有貫通孔。

4.根據權利要求1所述的層疊型陽極氧化膜結構物，其中所述陽極氧化膜片材包括：

表面側陽極氧化膜片材，構成所述層疊型陽極氧化膜結構物的所述表面；以及

內部側陽極氧化膜片材，配置在所述表面側陽極氧化膜片材之間，

所述表面側陽極氧化膜片材包括包含氣孔的多孔層及不包含氣孔的所述阻擋層，

所述內部側陽極氧化膜片材僅包括所述包含氣孔的多孔層。

5.根據權利要求1所述的層疊型陽極氧化膜結構物，其中所述陽極氧化膜片材包括：

表面側陽極氧化膜片材，構成所述層疊型陽極氧化膜結構物的所述表面；以及

內部側陽極氧化膜片材，配置在所述表面側陽極氧化膜片材之間，

所述內部側陽極氧化膜片材包括包含氣孔的多孔層及不包含氣孔的所述阻擋層。

6.一種使用層疊型陽極氧化膜結構物的探針卡的引導板，是使用配置有供探針卡的探針插入的引導孔洞的層疊型陽極氧化膜結構物的探針卡的引導板，

所述層疊型陽極氧化膜結構物包括：

多個陽極氧化膜片材；以及

接合層，配置在所述陽極氧化膜片材之間以接合所述陽極氧化膜片材，且

所述層疊型陽極氧化膜結構物的表面以具有陽極氧化膜的阻擋層構成。

7.一種探針卡，包括：

空間轉換器，配置有與多個探針電連接的探針連接墊；以及

探針頭，在所述空間轉換器下部，且配置有形成有供所述探針插入的引導孔洞的層疊型陽極氧化膜結構物，

所述層疊型陽極氧化膜結構物包括：

多個陽極氧化膜片材；以及

接合層，配置在所述陽極氧化膜片材之間以接合所述陽極氧化膜片材，且

所述層疊型陽極氧化膜結構物的表面以具有陽極氧化膜的阻擋層構成。