[發明專利]熱點及工藝窗監測

有效

• 申請號: 202110404661.0
• 申請日: 2017-01-06
• 公開（公告）號: CN112925177B
• 公開（公告）日: 2022-09-06
• 發明（設計）人: B·戈洛瓦尼夫斯基
• 申請（專利權）人: 科磊股份有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G03F1/44;G06F30/39
• 代理公司: 北京律盟知識產權代理有限責任公司 11287
• 代理人: 張世俊

1.一種監測工藝缺點的方法，其包括：

使用具有計量目標的疊加工具，其中所述計量目標包括晶片和安置于所述晶片上的至少兩個周期性結構，其中所述周期性結構中的至少一者包括沿著所述周期性結構的對應分段方向的重復不對稱元件，其中所述重復不對稱元件沿著垂直于所述分段方向的方向在內部是周期性的，其中所述重復不對稱元件包括沿著所述垂直于所述分段方向的方向的重復子元件，所述子元件在所述分段方向上是不對稱的，其中所述子元件包括至少斷開一次的線，且其中所述子元件中的至少一些包括沿著所述垂直于所述分段方向的方向的垂直線，所述垂直線連接到所述至少斷開一次的線；以及

使用所述疊加工具從所述計量目標導出計量信號。

2.根據權利要求1所述的方法，其中所述子元件包括至少兩個平行線段。

3.根據權利要求2所述的方法，其中所述平行線段中的至少一些是互連的。

4.根據權利要求1所述的方法，其中所述線的至少一些互連到所述垂直線中的至少一些。

5.根據權利要求1所述的方法，其中所述子元件中的至少一些沿著所述垂直于所述分段方向的方向互連。

6.根據權利要求1所述的方法，其中所述子元件中的至少一些沿著所述垂直于所述分段方向的方向彼此隔開。

7.根據權利要求1所述的方法，其中所述不對稱元件包括垂直于所述分段方向的至少一個不對稱定位的線。

8.根據權利要求1所述的方法，其中所述子元件中的至少一者為具有至少六個邊的多邊形。

9.根據權利要求1所述的方法，其進一步包括使用所述計量信號監測熱點。

10.根據權利要求1所述的方法，其進一步包括使用所述計量信號監測工藝窗。

11.一種監測工藝缺點的設備，其包括：

疊加工具，其包括處理器和計算機可讀存儲介質，其中所述處理器經配置以從計量目標導出計量信號，其中所述計量目標包括晶片和安置于所述晶片上的至少兩個周期性結構，其中所述周期性結構中的至少一者包括沿著所述周期性結構的對應分段方向的重復不對稱元件，其中所述重復不對稱元件沿著垂直于所述分段方向的方向在內部是周期性的，其中所述重復不對稱元件包括沿著所述垂直于所述分段方向的方向的重復子元件，所述子元件在所述分段方向上是不對稱的，其中所述子元件包括至少斷開一次的線，且其中所述子元件中的至少一些包括沿著所述垂直于所述分段方向的方向的垂直線，所述垂直線連接到所述至少斷開一次的線。

12.根據權利要求11所述的設備，其中所述子元件包括至少兩個平行線段。

13.根據權利要求12所述的設備，其中所述平行線段中的至少一些是互連的。

14.根據權利要求11所述的設備，其中所述線的至少一些互連到所述垂直線中的至少一些。

15.根據權利要求11所述的設備，其中所述子元件中的至少一些沿著所述垂直于所述分段方向的方向互連。

16.根據權利要求11所述的設備，其中所述子元件中的至少一些沿著所述垂直于所述分段方向的方向彼此隔開。

17.根據權利要求11所述的設備，其中所述不對稱元件包括垂直于所述分段方向的至少一個不對稱定位的線。

18.根據權利要求11所述的設備，其中所述子元件中的至少一者為具有至少六個邊的多邊形。