[發(fā)明專利]一種高壓大功率器件的高溫高濕高壓反偏測試系統(tǒng)及其測試方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202110403565.4 | 申請日： | 2021-04-15 |
| 公開（公告）號： | CN113514746A | 公開（公告）日： | 2021-10-19 |
| 發(fā)明（設計）人： | 鄧二平;王延浩;吳立信;黃永章 | 申請（專利權(quán)）人： | 華電（煙臺）功率半導體技術(shù)研究院有限公司 |
| 主分類號： | G01R31/26 | 分類號： | G01R31/26 |
| 代理公司： | 煙臺智宇知識產(chǎn)權(quán)事務所(特殊普通合伙) 37230 | 代理人： | 李增發(fā) |
| 地址： | 264006 山東省煙臺市開*** | 國省代碼： | 山東;37 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 高壓 大功率 器件 高溫 測試 系統(tǒng) 及其 方法 | ||
1.一種高壓大功率器件的高溫高濕高壓反偏測試系統(tǒng)，其特征在于：包括波爾電源（V1）、電路板（100）、控制板（200），恒溫加熱平臺（300），所述恒溫加熱平臺（300）上方固設待測高壓功率器件固定板（400），所述待測器件固定板（400）上方安裝包覆它的濕氣罩（500），所述濕氣罩（500）能開合、內(nèi)裝濕度檢測傳感器（600），水箱（700）內(nèi)盛裝純凈水或鹽水并裝設加濕器，所述加濕器產(chǎn)生的霧氣或鹽霧氣通過管道能輸送至所述濕氣罩（500）內(nèi)；所述電路板（100）由N條測試支路并聯(lián)而成，每條測試支路包括高壓繼電器（K1、K2…KN）、保護電阻（R1-1、R2-1…RN-1）、采樣電阻（R1-2、R2-2…RN-2）、鉗位二極管（D1、D2…DN），所述高壓繼電器（K1、K2…KN）的工作端連接所述波爾電源（V1）的正向端、另一端通過所述保護電阻（R1-1、R2-1…RN-1）連接待測高壓功率器件（DUT1、DUT2…DUTN）的漏極（D），所述待測高壓功率器件（DUT1、DUT2…DUTN）的源極（S）通過所述采樣電阻（R1-2、R2-2…RN-2）連接所述波爾電源（V1）的負向端，所述鉗位二極管（D1、D2…DN）的正端連接所述待測高壓功率器件（DUT1、DUT2…DUTN）的柵極（G）、負端連接所述波爾電源（V1）的負向端；所述控制板（200）包括ADC采集模塊（201）、繼電器模組（202）、與所述繼電器模組（202）相連的單片機（203），所述ADC采集模塊（201）的ADC采集端分別連接所述待測高壓功率器件（DUT1、DUT2…DUTN）的源極（S）并與PC機（800）串口通訊，所述繼電器模組（202）的繼電器控制端分別連接所述高壓繼電器（K1、K2…KN）的信號控制端（Sign1、Sign1… SignN），所述單片機（203）通過控制信號線與所述PC機（800）相連；所述PC機（800）安裝labview數(shù)據(jù)采集程序。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高壓大功率器件的高溫高濕高壓反偏測試系統(tǒng)，其特征在于：所述保護電阻（R1-1、R2-1…RN-1）的電阻為100KΩ，所述采樣電阻（R1-2、R2-2…RN-2）的電阻為10KΩ；所述鉗位二極管（D1、D2…DN）的型號為ESD5Z5.0T1G；所述繼電器模組（202）的型號為JB-8RG-H1Z-12V；所述ADC采集模塊（201）的型號為ADS1256；所述單片機（203）的型號為STM32F103C8T6。
3.權(quán)利要求1或2所述的一種高壓大功率器件的高溫高濕高壓反偏測試系統(tǒng)的測試方法，其特征在于：有三種模式可供選擇：
當選擇高溫模式時，波爾電源（V1）為高壓繼電器（K1、K2…KN）提供0-6KV的高壓，恒溫加熱平臺（300）接通220V交流電，使待測高壓功率器件（DUT1、DUT2…DUTN）處于0-200℃的工況中，按照HTRB JESD22-A108F標準進行測試；
當選擇高溫高濕模式時，波爾電源（V1）為高壓繼電器（K1、K2…KN）提供0-6KV的高壓，恒溫加熱平臺（300）和加濕器接通220V交流電，水箱（700）內(nèi)盛裝的純凈水輸送至加濕器，當恒溫加熱平臺（300）達到設定的溫度時停止加熱，當濕度檢測傳感器（600）檢測到濕氣罩（500）內(nèi)的濕度達到設定的濕度時，加濕器停止霧化，使待測高壓功率器件（DUT1、DUT2…DUTN）處于0-120℃、濕度為0-98%RH的工況中，按照HV-H3TRB ECPE Guiline PSRRA 01標準進行測試；
當選擇高溫鹽霧模式時，波爾電源（V1）為高壓繼電器（K1、K2…KN）提供0-6KV的高壓，恒溫加熱平臺（300）和加濕器接通220V交流電，水箱（700）內(nèi)盛裝pH為6.5-7.2的NaCl溶液輸送至加濕器，當恒溫加熱平臺（300）達到設定的溫度時停止加熱，當濕度檢測傳感器（600）檢測到濕氣罩（500）內(nèi)的濕度達到設定的濕度時，加濕器停止霧化，使待測高壓功率器件（DUT1、DUT2…DUTN）處于0-120℃、濕度為0-98%RH的鹽霧工況中，按照SACT ATMOSPHERE MIL-STD-883 J METHOD 1009.8 標準進行測試。
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