[發明專利]一種并行曝光抑制超衍射極限激光直寫物鏡

在審

• 申請號: 202110403505.2
• 申請日: 2021-04-15
• 公開（公告）號: CN113093480A
• 公開（公告）日: 2021-07-09
• 發明（設計）人: 白劍;匡翠方;魏震;丁晨良;劉旭;徐良;朱大釗;王洪慶;劉秋蘭
• 申請（專利權）人: 之江實驗室;浙江大學
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G02B13/00;G02B13/14
• 代理公司: 杭州求是專利事務所有限公司 33200
• 代理人: 邱啟旺

1.一種并行曝光抑制超衍射極限激光直寫物鏡，其特征在于，包括具有負光焦度的第一鏡組和具有正光焦度的第二鏡組。所述第一鏡組包括第一鏡片、第二鏡片、第三鏡片、第四鏡片、第五鏡片和第六鏡片等。所述第二鏡組包括第七鏡片、第八鏡片、第九鏡片、第十鏡片、第十一鏡片、第十二鏡片、第十三鏡片、第十四鏡片、第十五鏡片、第十六鏡片、第十七鏡片、第十八鏡片、第十九鏡片和第二十鏡片。

其中，第一鏡片、第二鏡片、第四鏡片、第六鏡片、第七鏡片、第八鏡片、第九鏡片、第十鏡片、第十一鏡片、第十二鏡片、第十三鏡片、第十四鏡片、第十五鏡片、第十六鏡片、第十七鏡片均采用冕牌玻璃；第三鏡片、第五鏡片、第十八鏡片、第十九鏡片、第二十鏡片均采用火石玻璃。

第一鏡片、第五鏡片、第六鏡片、第八鏡片、第九鏡片、第十一鏡片、第十二鏡片、第十三鏡片、第十四鏡片、第十六鏡片、第十七鏡片、第十九鏡片均為正光焦度透鏡；第二鏡片、第三鏡片、第四鏡片、第七鏡片、第十鏡片、第十五鏡片、第十八鏡片、第二十鏡片均為負光焦度透鏡。

2.根據權利要求1所述一并行曝光抑制超衍射極限激光直寫物鏡，其特征在于，第一鏡片、第六鏡片、第八鏡片、第九鏡片、第十一鏡、第十二鏡片、第十三鏡片、第十四鏡片、第十七鏡片均為雙凸結構；第二鏡片、第三鏡片、第七鏡片、第十鏡片、第十五鏡片均為雙凹結構；第四鏡片、第五鏡片、第十八鏡片均為凹凸結構且凸面朝向焦平面；第十六鏡片、第十九鏡片、第二十鏡片均為凹凸結構且凹面朝向焦平面。

3.根據權利要求2所述并行曝光抑制超衍射極限激光直寫物鏡，其特征在于，第十四鏡片、第十五鏡片、第十六鏡片組成消色差三膠合透鏡，第十七鏡片和第十八鏡片組成消色差雙膠合透鏡。第十四鏡片與第十五鏡片的阿貝數之差大于40，第十六鏡片與第十五鏡片的阿貝數之差大于40，第十七鏡片和第十八鏡片阿貝數之差大于50。

4.根據權利要求3所述并行曝光抑制超衍射極限激光直寫物鏡，其特征在于，第八鏡片、第九鏡片、第十一鏡片、第十二鏡片、第十三鏡片、第十四鏡片、第十六鏡片、第十七鏡片均采用阿貝數大于90的超低色散材料。

5.根據權利要求1所述并行曝光抑制超衍射極限激光直寫物鏡，其特征在于，物方視場角±4.2°。

6.根據權利要求1所述并行曝光抑制超衍射極限激光直寫物鏡，其特征在于，在全視場范圍內，波長522～790nm范圍內垂軸色差小于5.1nm，波長532～780nm范圍內垂軸色差小于1.2nm，可實現多光束并行曝光抑制超衍射極限激光直寫。

7.根據權利要求6所述并行曝光抑制超衍射極限激光直寫物鏡，其特征在于，所述多光束并行曝光抑制超衍射極限激光直寫是指物鏡將多角度入射的激光聚焦在物鏡的焦平面上，且在全視場范圍內曝光光和抑制光中心高度重合，從而實現并行超分辨直寫。

8.根據權利要求1所述并行曝光抑制超衍射極限激光直寫物鏡，其特征在于，焦距為6.93mm，工作距離為1.473mm，數值孔徑為1.4。

9.根據權利要求1所述并行曝光抑制超衍射極限激光直寫物鏡，其特征在于，還包括折射率匹配液，涂敷在第二十鏡片表面用于提高物鏡分辨率。