[發(fā)明專利]三維存儲器及其制作方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110402587.9
• 申請日: 2021-04-14
• 公開（公告）號: CN113299683B
• 公開（公告）日: 2022-09-06
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 劉峻
• 申請（專利權(quán)）人: 長江先進(jìn)存儲產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新中心有限責(zé)任公司
• 主分類號: H01L27/24
• 分類號: H01L27/24
• 代理公司: 北京派特恩知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11270
• 代理人: 張李靜;張穎玲

1.一種三維存儲器，其特征在于，包括：至少一個存儲單元陣列塊；

所述存儲單元陣列塊至少包括：層疊設(shè)置的第一地址線層、多個第一相變存儲單元、第二地址線層、多個第二相變存儲單元、第三地址線層、多個第三相變存儲單元、第四地址線層、多個第四相變存儲單元以及第五地址線層；其中，

所述第一地址線層、第二地址線層、第三地址線層、第四地址線層、第五地址線層彼此平行；所述第一地址線層包括多條均沿第一方向延伸的第一地址線；所述第二地址線層包括多條均沿第二方向延伸的第二地址線；所述第三地址線層包括多條均沿第一方向延伸的第三地址線；所述第四地址線層包括多條均沿第二方向延伸的第四地址線；所述第五地址線層包括多條均沿第一方向延伸的第五地址線；所述第一方向與所述第二方向垂直；所述第一相變存儲單元、第二相變存儲單元、第三相變存儲單元、第四相變存儲單元與所述第一地址線、第二地址線、第三地址線、第四地址線、第五地址線均垂直；所述第三地址線與所述第一地址線在第一平面上的投影部分重合；所述第四地址線與所述第二地址線在第一平面上的投影部分重合；所述第五地址線與所述第一地址線在第一平面上的投影重合；所述第一平面與層疊的方向垂直；

所述第一地址線、第三地址線、第五地址線沿第一方向的長度均與所述第二地址線、第四地址線沿第二方向的長度基本相同，且所述第一地址線、第三地址線、第五地址線的電阻均與所述第二地址線、第四地址線的電阻基本相同。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三維存儲器，其特征在于，所述第一地址線包括層疊設(shè)置的第一子地址線和第二子地址線，所述第一子地址線和所述第二子地址線的材料相同或不同；所述第三地址線包括層疊設(shè)置的第五子地址線和第六子地址線，所述第五子地址線和所述第六子地址線的材料相同或不同；所述第五地址線包括層疊設(shè)置的第九子地址線和第十子地址線，所述第九子地址線和所述第十子地址線的材料相同或不同；

和/或，

所述第二地址線包括層疊設(shè)置的第三子地址線和第四子地址線，所述第三子地址線和所述第四子地址線的材料相同或不同；所述第四地址線包括層疊設(shè)置的第七子地址線和第八子地址線，所述第七子地址線和所述第八子地址線的材料相同或不同。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三維存儲器，其特征在于，所述三維存儲器還包括：外圍電路的功能器件；

所述功能器件包括與所述第一地址線連接的第一功能器件、與所述第二地址線連接的第二功能器件、與所述第三地址線連接的第三功能器件、與所述第四地址線連接的第四功能器件；

所述第五地址線與所述第一地址線連接；

所述第一功能器件設(shè)置在第一區(qū)域和第二區(qū)域上；所述第二功能器件設(shè)置在第三區(qū)域、第四區(qū)域、第五區(qū)域及第六區(qū)域上；所述第三功能器件設(shè)置在第七區(qū)域和第八區(qū)域上；所述第四功能器件設(shè)置在第九區(qū)域、第十區(qū)域、第十一區(qū)域和第十二區(qū)域上；

所述第一區(qū)域與所述第二區(qū)域在第二方向的投影存在共同的端點；所述第三區(qū)域與所述第四區(qū)域在第一方向的投影存在共同的端點，所述第四區(qū)域與所述第五區(qū)域在第一方向的投影存在共同的端點，所述第五區(qū)域與所述第六區(qū)域在第一方向的投影存在共同的端點；所述第七區(qū)域與所述第八區(qū)域在第二方向的投影存在共同的端點；所述第九區(qū)域與所述第十區(qū)域在第一方向的投影存在共同的端點，所述第十區(qū)域與所述第十一區(qū)域在第一方向的投影存在共同的端點，所述第十一區(qū)域與所述第十二區(qū)域在第一方向的投影存在共同的端點；所述第一區(qū)域、第二區(qū)域、第三區(qū)域、第四區(qū)域、第五區(qū)域、第六區(qū)域、第七區(qū)域、第八區(qū)域、第九區(qū)域、第十區(qū)域、第十一區(qū)域和第十二區(qū)域在第二方向的投影長度等于第一區(qū)域和第二區(qū)域在第二方向的投影長度，所述第一區(qū)域、第二區(qū)域、第三區(qū)域、第四區(qū)域、第五區(qū)域、第六區(qū)域、第七區(qū)域、第八區(qū)域、第九區(qū)域、第十區(qū)域、第十一區(qū)域和第十二區(qū)域在第一方向的投影長度等于第三區(qū)域、第四區(qū)域、第五區(qū)域及第六區(qū)域在第一方向的投影長度。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的三維存儲器，其特征在于，所述多條第一地址線中各第一地址線沿所述第二方向的間距相同；所述多條第二地址線中各第二地址線沿所述第一方向的間距相同；多條第三地址線中各第三地址線沿所述第二方向的間距相同；多條第四地址線中各第四地址線沿所述第一方向的間距相同；多條第五地址線中各第五地址線沿所述第二方向的間距相同。