[發(fā)明專利]烘干設備和晶圓烘干方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110401958.1
• 申請日: 2021-04-14
• 公開（公告）號: CN113063271A
• 公開（公告）日: 2021-07-02
• 發(fā)明（設計）人: 左國軍;成旭;談麗文;陳雷;申斌;邱瑞
• 申請（專利權）人: 創(chuàng)微微電子（常州）有限公司;常州捷佳創(chuàng)精密機械有限公司
• 主分類號: F26B9/06
• 分類號: F26B9/06;F26B21/00;F26B21/14
• 代理公司: 北京友聯(lián)知識產權代理事務所(普通合伙) 11343
• 代理人: 尚志峰;汪海屏

1.一種烘干設備(100)，用于對工件(200)進行烘干，其特征在于，所述烘干設備(100)包括：

烘干區(qū)(110)，設有抽風腔(1104)和能夠打開或封閉的烘干腔(1102)，所述烘干腔(1102)用于放置所述工件(200)，所述抽風腔(1104)與所述烘干腔(1102)相互連通；

氣路安裝區(qū)(120)，與所述烘干腔(1102)通過管路連接，所述氣路安裝區(qū)(120)用于為所述烘干腔(1102)輸入加熱氮氣；

主抽風管道(130)，與所述烘干區(qū)(110)連接，所述主抽風管道(130)用于排出廢氣；

框架(140)，用于設置所述烘干區(qū)(110)、所述氣路安裝區(qū)(120)與所述主抽風管道(130)。

2.根據(jù)權利要求1所述的烘干設備(100)，其特征在于，所述烘干區(qū)(110)包括：

托槽(112)，設有抽風口(1122)和導風板(1124)，所述抽風口(1122)與所述主抽風管道(130)連接，所述導風板(1124)設于所述抽風口(1122)的上方；

烘干槽(114)，懸掛于所述托槽(112)內；

內抽風管路(116)，一端與所述主抽風管道(130)連接，另一端與所述抽風腔(1104)連接；

其中，所述烘干腔(1102)與所述抽風腔(1104)分別設于所述烘干槽(114)內。

3.根據(jù)權利要求2所述的烘干設備(100)，其特征在于，所述烘干槽(114)包括：

烘干槽體(1140)；

槽蓋(1144)，用于打開或封閉所述烘干槽體(1140)，且所述槽蓋(1144)在封閉所述烘干槽體(1140)后與所述烘干槽體(1140)圍合出所述烘干腔(1102)；

噴淋管路(1146)，與所述氣路安裝區(qū)(120)連接，用于向所述烘干腔(1102)內噴淋加熱氮氣；

其中，所述抽風腔(1104)設于所述烘干槽體(1140)內，所述噴淋管路(1146)設于圍合出所述烘干腔(1102)的所述槽蓋(1144)和/或所述烘干槽體(1140)上。

4.根據(jù)權利要求3所述的烘干設備(100)，其特征在于，所述噴淋管路(1146)包括：

第一噴淋管(11462)，設于所述烘干槽體(1140)內的相對兩側，所述第一噴淋管(11462)上設有多個噴孔；

第二噴淋管(11464)，設于所述槽蓋(1144)朝向所述烘干腔(1102)的一面，所述第二噴淋管(11464)設有多個噴孔。

5.根據(jù)權利要求1至4中任一項所述的烘干設備(100)，其特征在于，所述烘干設備(100)還包括：

搖擺機構(150)，設于所述框架(140)上；

其中，所述烘干腔(1102)內設有網(wǎng)板組件(118)，所述網(wǎng)板組件(118)用于支撐所述工件(200)，所述網(wǎng)板組件(118)轉動連接于所述烘干槽(114)的底部，所述搖擺機構(150)伸入所述烘干槽(114)內驅動所述網(wǎng)板組件(118)擺動。

6.根據(jù)權利要求5所述的烘干設備(100)，其特征在于，所述搖擺機構(150)包括：

動力組件(154)，包括第一驅動部(1541)和第二驅動部(1542)；

傳動組件(152)，所述傳動組件(152)與所述動力組件(154)連接，所述傳動組件(152)與所述網(wǎng)板組件(118)連接；所述第一驅動部(1541)用于帶動傳動桿(1521)沿第一方向運動；所述第二驅動部(1542)用于帶動所述傳動桿(1521)沿第二方向運動，以實現(xiàn)所述網(wǎng)板組件(118)的擺動。

7.根據(jù)權利要求6所述的烘干設備(100)，其特征在于，所述傳動組件(152)包括：

第一滑動組件(1528)，所述第一滑動組件(1528)用于與所述框架(140)連接；

滑動板(1527)，所述滑動板(1527)與所述傳動桿(1521)相連，且所述滑動板(1527)與所述第一滑動組件(1528)相適配，所述滑動板(1527)與所述第一滑動組件(1528)滑動連接。