[發明專利]一種便于在線實時清理的CVD爐過濾裝置

有效

• 申請號: 202110397124.8
• 申請日: 2021-04-13
• 公開（公告）號: CN113058342B
• 公開（公告）日: 2022-10-28
• 發明（設計）人: 張艷萍;任金偉;陳濤;陶慶;葛啟超;胡明喆;劉漢和;何冰
• 申請（專利權）人: 西安航空制動科技有限公司
• 主分類號: B01D46/88
• 分類號: B01D46/88;B01D46/12;B01D46/24;B01D46/48
• 代理公司: 西安凱多思知識產權代理事務所(普通合伙) 61290
• 代理人: 康進興

1.一種便于在線實時清理的CVD爐過濾裝置，其特征在于，包括波紋管、第一氣動擋板閥、進氣管道、過濾箱、濾芯、手動蝶閥、第二氣動擋板閥、支架、廢氣排出管道、出氣口和真空泵接口；其中：所述過濾箱安裝在支架上；該過濾箱的進氣口通過進氣管道與爐體連通，并在該過濾箱與爐體之間的進氣管道上增加了波紋管和第一氣動擋板閥；并使該波紋管位于爐體一端；在該過濾箱內底部安放有集油盤；兩個濾芯通過托塊安放在廢氣排出管道內的兩端，并使兩個濾芯分別與一個真空泵的接口相對應，且各濾芯軸向長度的1/2處與所述真空泵接口的圓心相對應，使該濾芯在該廢氣排出管道內將真空泵的接口完全遮擋；該過濾箱的出氣口通過管道與廢氣排出管道連通，在該廢氣排出管道的圓周上開有兩個真空泵接口，使該廢氣排出管道形成了三通管；

所述過濾箱為矩形箱體，有門的一端為前端；在該過濾箱的上端面有進氣管道的接口，在該過濾箱的一側表面有出氣口；在該過濾箱兩側內表面和后端內表面均固定有多層濾網支撐架，多片過濾箱濾網分別安放在各層濾網支撐架上，并使相鄰兩層濾網中上一層濾網的下表面與下一層濾網的上表面之間的間距為200mm；所述多層濾網中，位于該過濾箱內最下端的濾網的下表面須位于所述出氣口的上方；

所述濾芯為鼠籠式；該濾芯的外徑比所述廢氣排出管道的內徑小8～10mm；在該濾芯的外圓周表面和兩端端面分別包裹有濾芯濾網。

2.如權利要求1所述便于在線實時清理的CVD爐過濾裝置，其特征在于，所述廢氣排出管道的兩端分別通過法蘭安裝有端蓋，并且該端蓋的圓周表面上均布有四個手輪，通過各手輪能夠方便的將該端蓋開閉。

3.如權利要求1所述便于在線實時清理的CVD爐過濾裝置，其特征在于，在所述廢氣排出管道內的兩端分別有用于支撐鼠籠式濾芯的托塊，將所述濾芯的兩端分別安放在該托塊上，并使安放后的濾芯與該廢氣排出管道的同軸。

4.如權利要求3所述便于在線實時清理的CVD爐過濾裝置，其特征在于，所述各托塊軸向之間的距離須與該濾芯中相鄰兩根鋼筋的間距相同，以保證濾芯中的鋼筋安放在各托塊上；所述各組托塊中的軸向距離小于該濾芯的軸向長度。

5.如權利要求1所述便于在線實時清理的CVD爐過濾裝置，其特征在于，所述真空泵接口的直徑為200mm，該濾芯的軸向長度為400mm。

6.如權利要求1所述便于在線實時清理的CVD爐過濾裝置，其特征在于，所述濾芯濾網的網格為1mm×1mm。

7.如權利要求1所述便于在線實時清理的CVD爐過濾裝置，其特征在于，在各濾網支撐架上表面的邊緣有向下傾斜45°的導流板，通過該導流板使沉積的焦油流向位于該過濾箱內底部的集油盤；各濾箱濾網的網格為4mm×5mm。

8.如權利要求7所述便于在線實時清理的CVD爐過濾裝置，其特征在于，所述集油盤四周為向外傾斜的倒梯形面，底面為正方形結構，底座焊接在集油盤的底部背面，底座高度20mm。

9.如權利要求1所述便于在線實時清理的CVD爐過濾裝置，其特征在于，在所述廢氣排出管道與真空泵之間的真空管上安裝有手動蝶閥和第二氣動擋板閥，并使該手動蝶閥靠近所述廢氣排出管道。