[發明專利]一種帶有監測系統的芯片清洗機及其清洗方法

在審

• 申請號: 202110388799.6
• 申請日: 2021-04-12
• 公開（公告）號: CN113182248A
• 公開（公告）日: 2021-07-30
• 發明（設計）人: 張波;虞文武
• 申請（專利權）人: 常州機電職業技術學院
• 主分類號: B08B3/02
• 分類號: B08B3/02;B08B3/14;B08B13/00;F26B5/06
• 代理公司: 哈爾濱市陽光惠遠知識產權代理有限公司 23211
• 代理人: 劉景祥

1.一種帶有監測系統的芯片清洗機，包括清洗組件、干燥組件以及監測組件(14)，其特征在于：所述清洗組件包括通過支柱固定于底板座(1)上的清洗箱(2)，清洗箱(2)內部設有一對轉接座(3)，且兩個轉接座(3)之間設有料板(4)，所述清洗箱(2)內部且位于料板(4)的正下方設有噴液管(8)，且噴液管(8)上設有多個垂直指向上方的噴液嘴(801)，所述清洗箱(2)的底部設有排液接口，且排液接口通過導液管連接儲液筒(5)的上端，儲液筒(5)的底部設有回液接口，且回液接口連接有抽液泵(9)，抽液泵(9)的出液接口通過回液管(901)與噴液管(8)相連接，所述干燥組件包括通過支柱固定與底板座(1)上的干燥組件主支架(6)，干燥組件主支架(6)的兩側設有軸桿支座，且干燥組件主支架(6)兩側的軸桿支座連接有滑軸(10)以及轉接有絲桿(1001)，滑軸(10)、絲桿(1001)上連接有噴頭支座(11)，噴頭支座(11)上固定有干冰噴頭(12)，干冰噴頭(12)上端通過導氣管(1301)與干冰噴洗設備(13)連接，所述干燥組件主支架(6)的一側設有絲桿驅動箱(1002)，且絲桿(1001)的一端與絲桿驅動箱(1002)內部驅動組件的輸出軸傳動連接，所述噴頭支座(11)的底部一側一體成型有監測組件支座，且監測組件支座上設有監測組件(14)。

2.根據權利要求1的一種帶有監測系統的芯片清洗機，其特征在于：所述料板(4)上且沿其長度方向開設有多個料槽(401)，料板(4)上且對應每個料槽(401)的一端均滑接有一個壓合滑座(402)，壓合滑座(402)以及料槽(401)遠離壓合滑座(402)的一端均設有一對彈片(403)。

3.根據權利要求2的一種帶有監測系統的芯片清洗機，其特征在于：所述料板(4)的兩側邊緣一體成型有滑條，且壓合滑座(402)的兩端與料板(4)兩側邊所設的滑條配適滑接，其中一側滑條設有卡齒(404)，且壓合滑座(402)的對應卡齒(404)的一側一體成型有相配適卡扣的彈性齒勾(405)。

4.根據權利要求3的一種帶有監測系統的芯片清洗機，其特征在于：所述清洗箱(2)的一側通過螺栓固定連接有噴水調節液壓驅動(7)，噴水調節液壓驅動(7)的伸縮桿貫穿延伸至清洗箱(2)內部，噴水調節液壓驅動(7)的伸縮桿內端設有管固定支座，且噴液管(8)固定于管固定支座上。

5.根據權利要求3的一種帶有監測系統的芯片清洗機，其特征在于：所述料板(4)兩端通過轉軸與轉接座(3)相轉接，料板(4)一端的轉軸與翻轉電機(301)的輸出軸傳動連接。

6.根據權利要求3的一種帶有監測系統的芯片清洗機，其特征在于：所述儲液筒(5)內部上方設有雙層濾板(501)，且兩個濾板(501)之間夾設有生物濾棉(502)。

7.根據權利要求6的一種帶有監測系統的芯片清洗機，其特征在于：所述儲液筒(5)的內部底部設有密封分隔的檢測室，檢測室中設有顆粒檢測儀器(15)，且顆粒檢測儀器(15)的檢測端貫穿至儲液筒(5)內部中。

8.根據權利要求7的一種帶有監測系統的芯片清洗機，其特征在于：所述干冰噴頭(12)下端為噴嘴(1201)，且噴嘴(1201)呈傾斜30-45°指向料板(4)。

9.根據權利要求8的一種帶有監測系統的芯片清洗機，其特征在于：所述監測組件(14)內部集合有影像采集模組以及激光平整度監測模組，影像采集模組以及激光平整度監測模組的檢測端均垂直向下指向料板(4)。

10.一種如權利要求1-9之一所述的帶有監測系統的芯片清洗機的清洗方法，其特征在于，包括以下步驟：

步驟一：芯片安裝：將所需要清洗的芯片放置于料板(4)上所開設的料槽(401)中，通過扣動壓合滑座(402)一側的彈性齒勾(405)脫離對卡齒(404)的卡設，使壓合滑座(402)進行滑動，直至壓合滑座(402)上所設的彈片(403)對芯片進行壓合，完成對芯片的快速固定；

步驟二：芯片清洗：通過控制抽液泵(9)進行工作，由抽液泵(9)對儲液筒(5)內部儲存有的清潔液進行抽取，由回液管(901)送至噴液管(8)中，由噴液管(8)上設有的多個噴液嘴(801)對料板(4)上所固定芯片下表面進行噴射沖洗；

步驟三：清潔液的循環利用：基于步驟二的操作，清洗完芯片的清潔液由清洗箱(2)進行收集，且由清洗箱(2)底部的排液接口通過導液管回流至儲液筒(5)內部，清潔液流經儲液筒(5)內部設有濾板(501)以及生物濾棉(502)進行過濾，去除清潔液中含有的顆粒雜質，儲液筒(5)內部底部設有顆粒檢測儀器(15)檢測儲液筒(5)內部過濾后的清潔液的顆粒密集度，檢測是否對清潔液進行更換；

步驟四：芯片的翻面清洗：控制翻轉電機(301)對料板(4)一端的轉軸進行驅動，驅使料板(4)進行180度翻轉，從而完成對料板(4)上所固定的芯片進行翻面，結合步驟二完成對芯片另一面的清洗；

步驟五：芯片的干燥：由干冰噴洗設備(13)通過導氣管(1301)對干冰噴頭(12)供應干冰，使干冰噴頭(12)底端的噴嘴(1201)對芯片上表面進行噴射干冰，同時由絲桿驅動箱(1002)對絲桿(1001)進行驅動，驅使干冰噴頭(12)進行橫向移動，對料板(4)上固定的多個芯片進行噴射干冰，使芯片干燥，結合步驟四對芯片的翻面操作，對芯片的另一面進行干燥。