[發明專利]一種垂直腔面發射激光器的外量子效率測試方法

有效

• 申請號: 202110388186.2
• 申請日: 2021-04-10
• 公開（公告）號: CN113125111B
• 公開（公告）日: 2023-03-28
• 發明（設計）人: 李豫東;陳加偉;瑪麗婭·黑尼;郭旗
• 申請（專利權）人: 中國科學院新疆理化技術研究所
• 主分類號: G01M11/00
• 分類號: G01M11/00;G01M11/02;H01S5/183
• 代理公司: 烏魯木齊中科新興專利事務所(普通合伙) 65106
• 代理人: 張莉

1.一種垂直腔面發射激光器的外量子效率測試方法，其特征在于，該方法采用測量垂直腔面發射激光器光功率隨注入電流變化的關系，在光功率-電流曲線中，通過熒光和激光模式的數據進行線性擬合，兩段直線交點對應的橫坐標即為閾值電流，再測試垂直腔面發射激光器光譜，獲得工作波長與電流的關系，計算得到外量子效率隨注入電流的變化關系，具體操作按下列步驟進行；

a、測量垂直腔面發射激光器光功率和工作波長隨注入電流的變化關系，電流范圍為從0mA-30mA，測量垂直腔面發射激光器的波長和光功率時控制測試溫度一致；

b、根據步驟a測試的工作波長隨注入電流的變化關系結果，由公式計算出與注入電流對應的禁帶寬度；

c、將步驟a獲得的光功率-電流曲線中，分別取熒光和激光模式的數據，通過最小二乘法求出其一元線性回歸的方程y＝ax+b，其擬合方程為；

d、根據步驟c的兩條擬合直線，確定光功率-電流曲線中垂直腔面發射激光器的閾值電流為兩擬合直線交點對應的x軸坐標；

e、根據步驟b和步驟d獲得的禁帶寬度和閾值電流，利用公式：

計算出外量子效率隨注入電流的變化曲線，即得垂直腔面發射激光器的外量子效率，其中η_eqel為外量子效率，P_outl注入電流對應的光功率，I_th為閾值電流，E_gI為禁帶寬度。

2.如權利要求1所述的一種垂直腔面發射激光器的外量子效率測試方法，其特征在于，所述垂直腔面發射激光器工作波長覆蓋300nm-1600nm。