[發明專利]激光加工裝置

在審

• 申請號: 202110387848.4
• 申請日: 2021-04-12
• 公開（公告）號: CN113523588A
• 公開（公告）日: 2021-10-22
• 發明（設計）人: 野村洋志;松田匠悟;增田幸容
• 申請（專利權）人: 株式會社迪思科
• 主分類號: B23K26/38
• 分類號: B23K26/38;B23K26/02;B23K26/06;B23K26/064
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 于靖帥;喬婉

1.一種激光加工裝置，其特征在于，

該激光加工裝置包含：

卡盤工作臺，其對被加工物進行保持；

激光束照射單元，其向該卡盤工作臺所保持的被加工物照射脈沖狀的激光束；

加工進給單元，其將該卡盤工作臺與該激光束照射單元相對地進行加工進給；

分度進給單元，其將該卡盤工作臺與該激光束照射單元相對地進行分度進給；

輸出測量單元，其測量該激光束的輸出；以及

控制單元，其控制各構成要素，

該激光束照射單元包含：

激光振蕩器；以及

聚光透鏡，其對從該激光振蕩器振蕩的激光束進行會聚而向該被加工物照射，

該輸出測量單元配設在能夠測量通過該聚光透鏡后的激光束的位置上，

該控制單元具有：

存儲部，其將從向輸出測量單元照射該激光束起的時間和伴隨該時間的變化的輸出的變化作為數據進行存儲；以及

預測部，其基于該存儲部中存儲的數據，根據比輸出實現穩定所需的時間短的時間的激光束的輸出來預測激光束的輸出不再變化的穩定時的輸出。

2.根據權利要求1所述的激光加工裝置，其特征在于，

該輸出測量單元與該卡盤工作臺相鄰地配設，

該控制單元還具有移動控制部，在對該被加工物進行加工時，該移動控制部控制該加工進給單元的移動距離，以便使該激光束通過該卡盤工作臺所保持的被加工物和該輸出測量單元的受光部。

3.一種激光加工裝置，其特征在于，

該激光加工裝置包含：

卡盤工作臺，其對被加工物進行保持；

激光束照射單元，其向該卡盤工作臺所保持的被加工物照射脈沖狀的激光束；

加工進給單元，其將該卡盤工作臺與該激光束照射單元相對地進行加工進給；

分度進給單元，其將該卡盤工作臺與該激光束照射單元相對地進行分度進給；

輸出測量單元，其測量該激光束的輸出；以及

控制單元，其控制各構成要素，

該激光束照射單元包含：

激光振蕩器；以及

聚光透鏡，其對從該激光振蕩器振蕩的激光束進行會聚而向該被加工物照射，

該輸出測量單元包含：

功率計，其配設在能夠測量通過該聚光透鏡后的激光束的位置上，并具有直接接受該激光束的受光部；以及

光電二極管，其具有接受該激光束的散射光的受光部，

該控制單元具有：

存儲部，其存儲該功率計所測量的實際的激光束的輸出與該光電二極管所測量的散射光的激光束的輸出的相關數據；以及

預測部，其基于存儲在該存儲部中的相關數據，根據該散射光的激光束的輸出來計算實際的激光束的輸出。