[發明專利]一種光學窗口鍍膜的工藝方法及其成型模具

有效

• 申請號: 202110383864.6
• 申請日: 2021-04-09
• 公開（公告）號: CN113186489B
• 公開（公告）日: 2023-03-31
• 發明（設計）人: 李匯鑫
• 申請（專利權）人: 武漢致拓光電科技有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C16/04
• 代理公司: 南京縱橫知識產權代理有限公司 32224
• 代理人: 祝蓉蓉

本發明公開一種光學窗口鍍膜的工藝方法及其成型模具，所述方法采用多個工裝實現，包括：在第一工裝的預設位置放置待鍍膜的光學窗口；在第一工裝上方放置第二工裝，使第二工裝上的開口位置對準光學窗口，進行光學鍍膜；取下第二工裝，在第一工裝上方放置第三工裝，使第三工裝的開口位置對準光學窗口；在第三工裝表面貼覆一層固態膠膜，使固態膠膜與光學窗口的暴露部分緊密粘合；依據環形金屬鍍膜的內徑尺寸，對固態膠膜進行激光切割，保留覆蓋在光學窗口非金屬鍍膜區域的固態膠膜，去除多余的固態膠膜；取下第三工裝，對光學窗口進行金屬鍍膜；去除覆蓋在光學窗口非金屬鍍膜區域的固態膠膜。

技術領域

本發明屬于鍍膜加工技術領域，尤其涉及光學窗口的鍍膜加工，具體為一種光學窗口鍍膜的工藝方法及其成型模具。

背景技術

光學窗口是在藍寶石、鍺硅、玻璃等片狀襯底材料上進行鍍膜加工，以滿足所需要的光學性能和焊接功能。光學窗口一般是由以下幾部分組成：襯底基材、光學鍍膜、金屬鍍膜。其中襯底中間區域進行光學鍍膜，實現光學窗口的光學性能；金屬鍍膜則在襯底表面邊緣環形區域，實現光學窗口的焊接功能，從而達到密封要求。

目前，襯底片鍍膜的常規流程為：在單片襯底上旋轉涂覆一層液態光敏材料，然后將帶有環狀圖形的掩膜版置于襯底上方，進行紫外光照射，紫外光透過環狀圖形的掩膜板照射到襯底上，被紫外光照射到的部分光敏材料會發生變化，用試劑將發生變化的光敏材料清洗掉，這樣就將在襯底上留下一個環狀圖形的掩膜層。這個掩膜層將光學窗口邊緣區域表面覆蓋起來，暴露出中心區域，然后進行光學鍍膜。用同樣的方式，再將光學鍍膜的中心區域覆蓋，暴露出邊緣區域進行金屬鍍膜。

光學窗口的加工都是先將襯底加工至所需形狀、尺寸，再進行鍍膜。根據應用的不同，光學窗口的尺寸從幾十毫米到幾毫米不等，當光學窗口尺寸較小時，鍍膜的加工會變得不易操作，尤其是在試劑清洗等濕法工藝中更為突出，加工效率也會隨之大大降低。

發明內容

為克服上述現有技術的不足，本發明提供一種光學窗口鍍膜的工藝方法及其成型模具，解決小尺寸光學窗口鍍膜不易操作的問題，并達到大幅提高加工效率的技術效果。

根據本發明說明書的一方面，提供了一種光學窗口鍍膜的工藝方法，采用多個工裝實現，所述方法包括：

在第一工裝的預設位置放置待鍍膜的光學窗口；

在第一工裝上方放置第二工裝，使第二工裝上的開口位置對準光學窗口，進行光學鍍膜；

取下第二工裝，在第一工裝上方放置第三工裝，使第三工裝的開口位置對準光學窗口；

在第三工裝表面貼覆一層固態膠膜，使固態膠膜與光學窗口的暴露部分緊密粘合；

依據環形金屬鍍膜的內徑尺寸，對固態膠膜進行激光切割，保留覆蓋在光學窗口非金屬鍍膜區域的固態膠膜，去除多余的固態膠膜；

取下第三工裝，對光學窗口進行金屬鍍膜；

去除覆蓋在光學窗口非金屬鍍膜區域的固態膠膜。

上述技術方案中，通過第一工裝上的預設位置放置待鍍膜的光學窗口，通過第二工裝上的開口位置與光學窗口需要光學鍍膜的中心區域對準來進行光學鍍膜，通過第三工裝上的開口使貼覆的固態膠膜與光學窗口表面緊密粘合，并依據環形金屬鍍膜的內徑尺寸進行激光切割，去除多余的固態膠膜，保留能夠覆蓋住光學窗口無需金屬鍍膜區域的固態膠膜，然后去除第三工裝，進行金屬鍍膜，最后去除保留在光學窗口無需金屬鍍膜區域的固態膠膜，完成光學窗口的鍍膜加工。該技術方案通過多個工裝之間的相互配合，降低了小尺寸光學窗口鍍膜加工的操作難度，提高了加工效率，且采用固態膠膜替代現有的液態光敏材料做掩膜，避免濕法清洗，解決了小尺寸光學窗口采用液態光敏材料做掩膜存在的濕法清洗操作困難的問題。