[發明專利]一種氣體傳感材料及其制備方法和用途

有效

• 申請號: 202110383829.4
• 申請日: 2021-04-09
• 公開（公告）號: CN113092543B
• 公開（公告）日: 2023-03-21
• 發明（設計）人: 許鵬程;王雪晴;李昕欣;陳瀅;胡嘉豪
• 申請（專利權）人: 中國科學院上海微系統與信息技術研究所
• 主分類號: G01N27/12
• 分類號: G01N27/12
• 代理公司: 上海泰博知識產權代理有限公司 31451
• 代理人: 錢文斌

1.一種氣體傳感材料用于檢測氟代烷烴氣體的用途，其特征在于，所述氣體傳感器材料包括金屬氧化物氣敏材料和負載在所述金屬氧化物氣敏材料上的分子篩；所述金屬氧化物氣敏材料選自ZnO；所述分子篩選自β-分子篩；所述分子篩的粒徑為20～90nm；所述分子篩與所述金屬氧化物氣敏材料的質量為(0.1～1)：100；在檢測氟代烷烴氣體時，所述氣體傳感材料的工作溫度為350～550℃。

2.根據權利要求1所述的用途，所述氣體傳感材料由包括如下步驟的制備方法制得：將分子篩或分子篩的分散液負載到金屬氧化物氣敏材料上。

3.根據權利要求2所述的用途，其特征在于，所述分散液中采用的溶劑選自水、甲醇和乙醇中的一種或多種。

4.根據權利要求1所述的用途，其特征在于，所述氣體傳感材料設于工作電極上。

5.一種氣體傳感元件用于檢測氟代烷烴氣體的用途，其特征在于，所述氣體傳感元件包括工作電極，在所述工作電極上設有氣體傳感材料，所述氣體傳感器材料包括金屬氧化物氣敏材料和負載在所述金屬氧化物氣敏材料上的分子篩；所述金屬氧化物氣敏材料選自ZnO；所述分子篩選自β-分子篩；所述分子篩的粒徑為20～90nm；所述分子篩與所述金屬氧化物氣敏材料的質量為(0.1～1)：100；在檢測氟代烷烴氣體時，所述氣體傳感元件的工作溫度為350～550℃。