[發明專利]一種通過BSD后洗凈降低重金屬及霧狀缺陷的方法

有效

• 申請號: 202110382203.1
• 申請日: 2021-04-09
• 公開（公告）號: CN113257659B
• 公開（公告）日: 2022-09-23
• 發明（設計）人: 盧運增;賀賢漢;洪漪;胡久林
• 申請（專利權）人: 上海中欣晶圓半導體科技有限公司
• 主分類號: H01L21/02
• 分類號: H01L21/02;B08B3/04
• 代理公司: 上海申浩律師事務所 31280
• 代理人: 陸葉

1.一種通過BSD后洗凈降低重金屬及霧狀缺陷的方法，其特征在于，在BSD工序后，采用如下步驟進行清洗，

步驟一，使用預清洗液進行預清洗，預清洗液包括氨水、雙氧水以及去離子水，所述氨水、雙氧水以及去離子水的體積比為2:2:11；

氨水的質量百分比濃度為28％-31％，雙氧水的質量百分比濃度為30％-32％；

步驟二，蒸餾水清洗；

步驟三，一次清洗液浸泡清洗，所述一次清洗液包括氫氟酸、檸檬酸以及去離子水；氫氟酸、檸檬酸以及去離子水的體積比為15:3～5:55～57；

氫氟酸質量百分比濃度為48％-50％，檸檬酸的質量百分比濃度為49％-51％；

步驟四，二次清洗液浸泡清洗，所述二次清洗液包括鹽酸、雙氧水以及去離子水，鹽酸以及雙氧水的比例為1:1，鹽酸、雙氧水以及去離子水的體積比為6～9:6～9:57-63；

鹽酸的質量百分比濃度為36％-38％；

步驟五，蒸餾水清洗；

步驟六，采用硅片甩干機甩干；

BSD工序的噴砂磨料為金鋼砂，噴砂的空氣壓力1.5±0.1Kg/cm³，噴砂片距即噴嘴距硅片215±15mm，噴砂時間控制在6-8秒/片，硅片輸送帶的帶速為1.2±0.1m/min；

重金屬缺陷的檢測方法對硅片進行高溫退火后，采用ICP-MS進行檢測，獲得硅片表面的金屬Ni以及Cu的含量；

高溫退火的方法為硅片從800℃開始，以5℃/min加溫至1100℃，1100℃恒溫10min后，以2℃/min降溫至800℃；

高溫退火過程中，以18L/min的流量輸送氮氣。

2.根據權利要求1所述的一種通過BSD后洗凈降低重金屬及霧狀缺陷的方法，其特征在于：步驟二以及步驟五蒸餾水中氮氣鼓泡。

3.根據權利要求1所述的一種通過BSD后洗凈降低重金屬及霧狀缺陷的方法，其特征在于：步驟一中，氨水的質量百分比濃度為29％，雙氧水的質量百分比濃度為31％。

4.根據權利要求1所述的一種通過BSD后洗凈降低重金屬及霧狀缺陷的方法，其特征在于：步驟三中，氫氟酸質量百分比濃度為49％，檸檬酸的質量百分比濃度為50％。

5.根據權利要求4所述的一種通過BSD后洗凈降低重金屬及霧狀缺陷的方法，其特征在于：步驟三中，氫氟酸的體積為15L，檸檬酸的體積為4L，一次清洗液的總體積為75L。

6.根據權利要求1所述的一種通過BSD后洗凈降低重金屬及霧狀缺陷的方法，其特征在于：步驟四中，鹽酸的質量百分比濃度為37％，雙氧水的質量百分比濃度為31％。

7.根據權利要求6所述的一種通過BSD后洗凈降低重金屬及霧狀缺陷的方法，其特征在于：步驟四中，鹽酸的體積為7.5L，雙氧水的體積為7.5L，二次清洗液的總體積為75L。

8.根據權利要求1所述的一種通過BSD后洗凈降低重金屬及霧狀缺陷的方法，其特征在于：步驟三中，氫氟酸質量百分比濃度為49％，檸檬酸的質量百分比濃度為50％；氫氟酸的體積為15L，檸檬酸的體積為3-5L，一次清洗液的總體積為75L；

步驟四中，鹽酸的質量百分比濃度為37％，雙氧水的質量百分比濃度為31％；

鹽酸的體積為7.5L，雙氧水的體積為7.5L，二次清洗液的總體積為75L。