[發明專利]放射線敏感性組合物的處理方法

在審

• 申請號: 202110380337.X
• 申請日: 2021-04-09
• 公開（公告）號: CN113515024A
• 公開（公告）日: 2021-10-19
• 發明（設計）人: 淺岡高英;新木利治;藤井總一郎;吉田知識
• 申請（專利權）人: JSR株式會社;優志旺電機株式會社
• 主分類號: G03F7/26
• 分類號: G03F7/26;G03F7/40
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002
• 代理人: 王靈菇

本發明提供一種即使使用LED光源，也能夠對放射線敏感性組合物賦予高的透射性、抑制氣泡的產生的放射線敏感性組合物的處理方法。本發明的放射線敏感性組合物的處理方法的特征在于，放射線敏感性組合物具有：作為具有酸基的自由基聚合性化合物(a)、具有環氧基的自由基聚合性化合物(b)、以及其他自由基聚合性化合物(c)的共聚物的可溶于堿水溶液的樹脂(A)和放射線敏感性產酸化合物(B)，其中，所述方法包含下述工序(α)：從LED元件對放射線敏感性組合物照射主峰值波長在375nm以上且395nm以下的范圍內的紫外線，提高放射線敏感性組合物的透射率。

技術領域

本發明涉及放射線敏感性組合物的處理方法，更詳細而言，涉及提高放射線敏感性組合物的透射率的漂白處理方法。

背景技術

在液晶面板、有機EL面板等顯示裝置中，與各像素對應地設置有微細的半導體元件，作為該元件內的絕緣材料(抗蝕劑材料)而廣泛使用顯示對光進行感應的性質(放射線敏感性)的組合物。

例如，已知在顯示裝置的制造過程中，通過涂布放射線敏感性組合物并進行預烘烤后、對曝光及顯影后的圖案照射紫外線來提高該圖案的透光性、耐久性(耐熱性)。有時將這樣地通過對圖案形成后的對象膜照射紫外線來提高對可見光的透射性的處理稱為“漂白處理”。該處理是通過用紫外線將放射線敏感性組合物中所含的感光材料分解而引起的。

例如在下述專利文獻1中記載了對抗蝕劑圖案照射i射線、即波長為365nm的紫外線來進行漂白處理。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2017-037169號公報

發明內容

發明所要解決的課題

漂白處理用的光源一般使用高壓汞燈等燈。在上述專利文獻1中也有“i射線”這樣的記載，因此估計為汞光譜，雖然沒有文字上的記載，但可以理解預定使用的是高壓汞燈。

對此，隨著近年來的固體光源的技術進步，正在進行使用UV-LED的漂白處理的研究。

然而，通過本發明人等的深入研究可知，在漂白處理中使用LED光源的情況下，容易產生無法得到所期望的透射率(漂白能力)的問題、在放射線敏感性組合物的內部產生發泡的問題。

本發明鑒于上述課題，其目的在于提供一種即使使用LED光源，也能夠對放射線敏感性組合物賦予高的透射性、進而抑制氣泡的產生的放射線敏感性組合物的處理方法。

用于解決課題的手段

本發明涉及一種放射線敏感性組合物的處理方法，其特征在于，所述放射線敏感性組合物具有：

作為具有酸基的自由基聚合性化合物(a)、具有環氧基的自由基聚合性化合物(b)、以及其他自由基聚合性化合物(c)的共聚物的可溶于堿水溶液的樹脂(A)，和

放射線敏感性產酸化合物(B)；

其中，所述方法包含下述工序(α)：

從LED元件對所述放射線敏感性組合物照射主峰值波長在375nm以上且395nm以下的范圍內的紫外線，提高所述放射線敏感性組合物的透射率。

在對包含放射線敏感性組合物而成的膜進行漂白處理的情況下，如在“發明所要解決的課題”項中所說明的那樣，以往通常利用汞燈。這是因為根據經驗可知，放射線敏感性產酸化合物對從汞燈射出的光的峰值波長中的1種即365nm(i射線)顯示高的感光性。

本發明人等基于上述見解，首先準備顯示主峰值波長在365nm附近的LED元件，對包含放射線敏感性組合物而成的處理對象膜(以下，有時適當地稱為“對象膜”)照射從該LED元件射出的紫外線而進行了漂白處理。于是確認了，進行該處理后的對象膜的透射率低于期望值，未實現要滿足的透射性能。