[發明專利]一種聲表面波諧振器和射頻濾波器

在審

• 申請號: 202110379108.6
• 申請日: 2021-04-08
• 公開（公告）號: CN113098430A
• 公開（公告）日: 2021-07-09
• 發明（設計）人: 宋崇希;姚艷龍;邱魯巖;王放
• 申請（專利權）人: 江蘇卓勝微電子股份有限公司
• 主分類號: H03H9/145
• 分類號: H03H9/145;H03H9/25
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 孟金喆

本發明實施例提供一種聲表面波諧振器和射頻濾波器，聲表面波諧振器包括：襯底；位于襯底上的壓電層；電極層，電極層位于壓電層遠離襯底的一側；電極層包括多個叉指式換能器，叉指式換能器包括：第一匯流條和交替排布連接至第一匯流條的第一電極指和第一虛設電極指；第二匯流條和交替排布連接至第二匯流條的第二電極指和第二虛設電極指；第一電極指和第二虛設電極指相對設置，第二電極指和第一虛設電極指相對設置。本發明實施例提供的聲表面波諧振器和射頻濾波器，無需更換襯底和壓電層，也無需增加額外的結構單元，就能實現帶寬選擇的靈活性，進一步提高了產品的設計自由度。

技術領域

本發明涉及通信領域，特別是涉及一種聲表面波諧振器和射頻濾波器。

背景技術

隨著通信技術從2G發展至5G，通信頻段數目逐步增加(從2G的4個頻段上升到5G的50余個頻段)。為了提高智能手機對不同通信制式的兼容能力，5G智能手機所需要的濾波器用量將顯著上升，推動濾波器市場大規模增長。目前無線通信終端中廣泛應用的射頻濾波器是聲表面波濾波器，負責接收和發射通道的射頻信號，將輸入的多種射頻信號中特定頻率的信號輸出。同時，隨著移動通訊技術的持續發展和射頻前端模組化發展，市場對濾波器的需求趨向復雜化，高端化，小型化。

基于單晶壓電鉭酸鋰襯底的聲表面波器件已廣泛應用于射頻濾波器，受限于單晶壓電材料的Q值和高頻率溫度系數，已難滿足射頻前端芯片的要求。傳統調節帶寬的方法一般采用選取不同切向的壓電材料，或者是在射頻濾波器設計中并聯電容的方法，來降低特定諧振器的機電耦合系數，達到提升矩形度的目的。

發明內容

本發明實施例提供的聲表面波諧振器，無需更換襯底和壓電層，也無需增加額外的結構單元，就能實現帶寬選擇的靈活性，進一步提高了產品的設計自由度。

第一方面，本發明實施例提供一種聲表面波諧振器，該聲表面波諧振器包括：

襯底；

位于所述襯底上的壓電層；

電極層，所述電極層位于所述壓電層遠離所述襯底的一側；

所述電極層包括多個叉指式換能器，所述叉指式換能器包括：第一匯流條和交替排布連接至所述第一匯流條的第一電極指和第一虛設電極指；第二匯流條和交替排布連接至所述第二匯流條的第二電極指和第二虛設電極指；所述第一電極指和所述第二虛設電極指相對設置，所述第二電極指和所述第一虛設電極指相對設置；

其中，所述第一電極指與所述第一匯流條的夾角、所述第二電極指與所述第二匯流條的夾角、所述第一虛設電極指與所述第一匯流條的夾角和所述第二虛設電極指與所述第二匯流條的夾角相等；所述夾角的取值范圍為75°～90°和-75°～-90°。

可選的，所述第一電極指和所述第二電極指均包括主體和兩個端頭；

所述端頭與所述主體連接，所述端頭與所述主體至少部分共用；

沿所述第一匯流條的長度方向，所述端頭的寬度大于所述主體的寬度。

可選的，沿所述第一匯流條的長度方向，所述端頭的寬度為所述主體的寬度的1.2倍～1.8倍。

可選的，所述端頭的在垂直于所述第一匯流條長度方向上的長度為叉指式換能器波長的0.3～0.7倍。

可選的，所述第一電極指上的兩個所述端頭之間的距離以及所述第二電極指上的兩個所述端頭之間的距離均與所述叉指式換能器的孔徑相等；

其中，所述第一電極指上的遠離所述第一匯流條的端頭與所述第二虛設電極指相對設置，所述第二電極指上的遠離所述第二匯流條的端頭與所述第一虛設電極指相對設置。

可選的，所述電極層還包括多個反射柵結構；

所述反射柵結構包括第三匯流條、第四匯流條和多條反射柵；