[發(fā)明專利]一種聲表面波諧振器和射頻濾波器

在審

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• 申請日: 2021-04-08
• 公開（公告）號: CN112953439A
• 公開（公告）日: 2021-06-11
• 發(fā)明（設計）人: 宋崇希;姚艷龍;邱魯巖;姚遠
• 申請（專利權）人: 江蘇卓勝微電子股份有限公司
• 主分類號: H03H9/145
• 分類號: H03H9/145;H03H9/25
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 孟金喆

1.一種聲表面波諧振器，其特征在于，包括：

襯底；

位于所述襯底上的壓電層；

電極層，所述電極層位于所述壓電層遠離所述襯底的一側；

所述電極層包括叉指式換能器，所述叉指式換能器包括：第一匯流條和交替排布連接至所述第一匯流條的第一電極指和第一虛設電極指；第二匯流條和交替排布連接至所述第二匯流條的第二電極指和第二虛設電極指；所述第一電極指和所述第二虛設電極指相對設置，所述第一電極指和所述第二虛設電極之間具有第一間隙，所述第二電極指和所述第一虛設電極指相對設置，所述第二電極指和所述第一虛設電極之間具有第二間隙；

所述第一匯流條包括第一子匯流條和第二子匯流條，所述第一子匯流條和所述第二子匯流條連接；

所述第二匯流條包括第三子匯流條和第四子匯流條，所述第三子匯流條與所述第四子匯流條連接；所述第一間隙包括第一子間隙和第二子間隙，所述第二間隙包括第三子間隙和第四子間隙，所述第一子間隙以及所述第三子間隙位于所述第一子匯流條和所述第三子匯流條之間，所述第二子間隙以及所述第四子間隙位于所述第二子匯流條和所述第四子匯流條之間；

其中，各所述第一子間隙沿第一方向排布，各所述第三子間隙沿第一方向排布，各所述第二子間隙沿第二方向排布，各所述第四子間隙沿第二方向排布；

第一方向與第三方向的夾角范圍為2°～15°，第二方向與第三方向的夾角范圍為2°～15°，在與所述壓電層的平面平行的方向上，所述第三方向與所述第一電極指的長度方向垂直。

2.根據權利要求1所述的聲表面波諧振器，其特征在于，

所述第一子匯流條和所述第三子匯流條平行，所述第一子匯流條的長度方向與所述第一方向平行，所述第二子匯流條和所述第四子匯流條平行，所述第二子匯流條的長度方向與所述第二方向平行。

3.根據權利要求1所述的聲表面波諧振器，其特征在于，相鄰所述第一間隙之間設置有一所述第一電極指，相鄰所述第二間隙之間設置有一所述第二電極指。

4.根據權利要求1所述的聲表面波諧振器，其特征在于，所述第一電極指和所述第二電極指均包括主體和與所述主體一體連接的端頭，所述第一電極指的所述端頭位于所述第一電極指的主體遠離所述第一匯流條的一側，所述第二電極指的所述端頭位于所述第二電極指的主體遠離所述第二匯流條的一側；

所述第一虛設電極指和所述第二虛設電極指均包括主體和與所述主體一體連接的端頭，所述第一虛設電極指的所述端頭位于所述第一虛設電極指的主體遠離所述第一匯流條的一側，所述第二虛設電極指的所述端頭位于所述第二虛設電極指的主體遠離所述第二匯流條的一側；

在第三方向上，所述端頭的寬度大于所述主體的寬度。

5.根據權利要求2所述的聲表面波諧振器，其特征在于，在第三方向上，所述端頭的寬度為所述主體的寬度的1.2倍～1.8倍。

6.根據權利要求2所述的諧振器，其特征在于，所述第一電極指上的端頭與所述第二虛設電極指上的端頭相對設置；

所述第二電極指上的端頭與所述第一虛設電極指上的端頭相對設置。

7.根據權利要求1所述的聲表面波諧振器，其特征在于，所述電極層還包括反射柵結構；

所述反射柵結構包括第三匯流條、第四匯流條和反射柵；所述第三匯流條與所述第四匯流條平行設置；

所述反射柵的第一端與所述第三匯流條連接，所述反射柵的第二端與所述第四匯流條連接；

在所述第一子匯流條遠離所述第二子匯流條的一側設置一個反射柵結構，在所述第二子匯流條遠離所述第一子匯流條的一側設置一個反射柵結構；

其中，所述第三匯流條與所述反射柵垂直且所述第三匯流條與所述第一方向的夾角范圍為2～15°；

或者所述第三匯流條與所述反射柵的夾角范圍為75°～88°且位于所述第一子匯流條遠離所述第二子匯流條的一側的反射柵結構中的所述第三匯流條的長度方向與所述第一方向平行，以及位于第二子匯流條遠離所述第一子匯流條的一側的反射柵結構中的第三匯流條的長度方向與所述第二方向平行。