[發明專利]一種聲表面波諧振器和射頻濾波器

在審

• 申請號: 202110378687.2
• 申請日: 2021-04-08
• 公開（公告）號: CN113098432A
• 公開（公告）日: 2021-07-09
• 發明（設計）人: 姚艷龍;宋崇希;邱魯巖;王放
• 申請（專利權）人: 江蘇卓勝微電子股份有限公司
• 主分類號: H03H9/25
• 分類號: H03H9/25;H03H9/145
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 孟金喆

1.一種聲表面波諧振器，其特征在于，包括：

襯底；

位于所述襯底上的壓電層；

電極層，所述電極層位于所述壓電層遠離所述襯底的一側；

所述電極層包括叉指式換能器，所述叉指式換能器包括：第一匯流條和交替排布連接至所述第一匯流條的第一電極指和第一虛設電極指；第二匯流條和交替排布連接至所述第二匯流條的第二電極指和第二虛設電極指；所述第一電極指和所述第二虛設電極指相對設置，所述第一電極指和所述第二虛設電極之間具有第一間隙，所述第二電極指和所述第一虛設電極指相對設置，所述第二電極指和所述第一虛設電極之間具有第二間隙；

其中，各所述第一間隙沿第一方向排布，各所述第二間隙沿所述第一方向排布，所述第一方向與第二方向的夾角范圍為2～15°，在與所述壓電層的平面平行的方向上，所述第二方向與所述第一電極指的長度方向垂直。

2.根據權利要求1所述的聲表面波諧振器，其特征在于，所述第一電極指和所述第二電極指均包括主體和與所述主體一體連接的端頭，所述第一電極指的所述端頭位于所述第一電極指的主體遠離所述第一匯流條的一側，所述第二電極指的所述端頭位于所述第二電極指的主體遠離所述第二匯流條的一側；

所述第一虛設電極指和所述第二虛設電極指均包括主體和與所述主體一體連接的端頭，所述第一虛設電極指的所述端頭位于所述第一虛設電極指的主體遠離所述第一匯流條的一側，所述第二虛設電極指的所述端頭位于所述第二虛設電極指的主體遠離所述第二匯流條的一側；

在第二方向上，所述端頭的寬度大于所述主體的寬度。

3.根據權利要求2所述的聲表面波諧振器，其特征在于，在第二方向上，所述端頭的寬度為所述主體的寬度的1.2倍～1.8倍。

4.根據權利要求2所述的諧振器，其特征在于，沿所述第一電極指的長度方向上，所述端頭的長度為叉指式換能器波長的0.3～0.7倍。

5.根據權利要求2所述的諧振器，其特征在于，所述第一電極指上的端頭與所述第二虛設電極指上的端頭相對設置；

所述第二電極指上的端頭與所述第一虛設電極指上的端頭相對設置。

6.根據權利要求1所述的聲表面波諧振器，其特征在于，所述電極層還包括反射柵結構；

所述反射柵結構包括第三匯流條、第四匯流條和多條反射柵；

所述第三匯流條與所述第四匯流條平行設置；

所述反射柵的第一端與所述第三匯流條連接，所述反射柵的第二端與所述第四匯流條連接；

沿所述第一匯流條的長度方向上，所述反射柵結構位于所述叉指式換能器的兩側；

所述第三匯流條與所述反射柵垂直且所述第三匯流條與所述第一方向的夾角范圍為2°～15°或者所述第三匯流條與所述反射柵的夾角范圍為75°～88°且所述第三匯流條的長度方向與所述第一方向平行。

7.根據權利要求2所述的聲表面波諧振器，其特征在于，沿所述第一電極指的長度方向上，所述第一虛設電極指的長度為叉指式換能器波長的0.5～1.5倍；

所述叉指式換能器的孔徑為所述叉指式換能器波長的9～40倍。

8.根據權利要求1所述的聲表面波諧振器，其特征在于，所述壓電層的壓電材料包括定位邊，所述壓電材料的定位邊平行于所述第一電極指、所述第二電極指、所述第一虛設電極指和所述第二虛設電極指。

9.根據權利要求1所述的聲表面波諧振器，其特征在于，還包括能量陷阱層，所述能量陷阱層位于所述襯底和所述壓電層之間；

第一介質層，所述第一介質層位于所述能量陷阱層和所述壓電層之間；

第二介質層，所述第二介質層位于所述電極層遠離所述壓電層的一側，并覆蓋所述電極層。

10.一種射頻濾波器，其特征在于，包括權利要求1-9任一項所述的聲表面波諧振器。