[發(fā)明專利]導(dǎo)電薄膜的振動性能測試裝置及測試方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110374680.3
• 申請日: 2021-04-07
• 公開（公告）號: CN112945497A
• 公開（公告）日: 2021-06-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉科海;楊方友;張超;林智君;陳益;王恩哥
• 申請（專利權(quán)）人: 松山湖材料實(shí)驗(yàn)室
• 主分類號: G01M7/02
• 分類號: G01M7/02
• 代理公司: 北京超凡宏宇專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 11463
• 代理人: 付興奇

本申請?zhí)峁┮环N導(dǎo)電薄膜的振動性能測試裝置及測試方法，屬于導(dǎo)電薄膜的振動性能測試技術(shù)領(lǐng)域。該振動性能測試裝置包括絕緣蓋和導(dǎo)電薄片。導(dǎo)電薄片設(shè)置于絕緣蓋且用于連接第一電極；絕緣蓋被配置成安裝用于連接第二電極的導(dǎo)電薄膜時(shí)，導(dǎo)電薄片與導(dǎo)電薄膜間隔設(shè)置，且能夠使導(dǎo)電薄膜振動。該裝置中，導(dǎo)電薄膜和導(dǎo)電薄片間隔設(shè)置在絕緣蓋上以后，將導(dǎo)電薄片電連接第一電極，導(dǎo)電薄膜電連接第二電極，在導(dǎo)電薄膜周圍形成磁場，從而使導(dǎo)電薄膜發(fā)生振動，然后通過其他的設(shè)備，監(jiān)測薄膜的振動頻率以及振幅等，從而檢測薄膜的振動性能。

技術(shù)領(lǐng)域

本申請涉及導(dǎo)電薄膜的振動性能測試技術(shù)領(lǐng)域，具體而言，涉及一種導(dǎo)電薄膜的振動性能測試裝置及測試方法。

背景技術(shù)

揚(yáng)聲器的振膜是一種薄膜結(jié)構(gòu)，其通常有一些參數(shù)，例如：直徑、厚度、重量、固有頻率、頻響特性等，對于某些參數(shù)(例如：直徑、厚度、重量等)，其可以通過簡單的測量方法得到。而對于另一些參數(shù)(例如：固有頻率、頻響特性等)，其需要通過專用的檢測設(shè)備使振膜振動并進(jìn)行檢測。

發(fā)明內(nèi)容

本申請的提供一種導(dǎo)電薄膜的振動性能測試裝置及測試方法，導(dǎo)電薄膜容易產(chǎn)生振動，以對其振動性能進(jìn)行檢測。

第一方面，本申請?zhí)峁┮环N導(dǎo)電薄膜的振動性能測試裝置，包括絕緣蓋和導(dǎo)電薄片。導(dǎo)電薄片設(shè)置于絕緣蓋且用于連接第一電極；絕緣蓋被配置成安裝用于連接第二電極的導(dǎo)電薄膜時(shí)，導(dǎo)電薄片與導(dǎo)電薄膜間隔設(shè)置，且能夠使導(dǎo)電薄膜振動。

導(dǎo)電薄膜和導(dǎo)電薄片間隔設(shè)置在絕緣蓋上以后，將導(dǎo)電薄片電連接第一電極，導(dǎo)電薄膜電連接第二電極，在導(dǎo)電薄膜周圍形成靜電磁場，從而使導(dǎo)電薄膜發(fā)生振動，然后通過其他的設(shè)備，監(jiān)測薄膜的振動頻率以及振幅等，從而檢測薄膜的振動性能。

在一種可行的實(shí)施方式中，絕緣蓋包括內(nèi)筒、環(huán)形端蓋和外筒，導(dǎo)電薄片的周緣設(shè)置于內(nèi)筒，環(huán)形端蓋的內(nèi)周緣與內(nèi)筒連接，環(huán)形端蓋的外周緣與外筒連接，內(nèi)筒和外筒之間形成外腔，環(huán)形端蓋上設(shè)置有多個(gè)與外腔連通的氣孔，且氣孔貫穿環(huán)形端蓋的端面，環(huán)形端蓋的端面用于放置和負(fù)壓吸附導(dǎo)電薄膜的周緣。

環(huán)形端蓋上設(shè)置多個(gè)與外腔連通的氣孔，對外腔抽真空，可以通過負(fù)壓吸附的方式對導(dǎo)電薄膜的周緣進(jìn)行固定，不需要通過夾持部件對導(dǎo)電薄膜進(jìn)行夾持固定，能夠在一定程度上避免導(dǎo)電薄膜的損壞。導(dǎo)電薄片固定在內(nèi)筒上，可以使固定好的導(dǎo)電薄膜和導(dǎo)電薄片基本為兩個(gè)平行的面，可以使導(dǎo)電薄片的振動效果更佳，以便更加容易測試導(dǎo)電薄膜的振動性能。且測試完畢以后，只需要停止負(fù)壓吸附，就可以將已經(jīng)測試的導(dǎo)電薄膜放開，重新負(fù)壓吸附新的導(dǎo)電薄膜，進(jìn)行另一片薄膜的振動性能測試，導(dǎo)電薄膜的更換更加方便，以便高效地檢測。

在一種可行的實(shí)施方式中，內(nèi)筒具有內(nèi)腔，導(dǎo)電薄片的周緣固定于內(nèi)筒的環(huán)形端面上，且導(dǎo)電薄膜用于設(shè)置于導(dǎo)電薄片的背離內(nèi)腔的一側(cè)。

導(dǎo)電薄片的背離導(dǎo)電薄膜的一側(cè)為內(nèi)腔，可以使導(dǎo)電薄片的振動效果更佳；同時(shí)，將導(dǎo)電薄片固定在環(huán)形端面上，在形成靜電磁場的時(shí)候，導(dǎo)電薄片的中部產(chǎn)生朝向?qū)щ姳∧ひ约斑h(yuǎn)離導(dǎo)電薄膜的方向振動，而周緣被固定，以便使振動性能的測試結(jié)果更加準(zhǔn)確。

在一種可行的實(shí)施方式中，內(nèi)筒的環(huán)形端面與環(huán)形端蓋的端面在內(nèi)筒上的軸向距離為10μm-1m。

可以使導(dǎo)電薄片和吸附固定后的導(dǎo)電薄膜之間的距離為10μm-1m，在此距離范圍內(nèi)，添加較低的電壓(100V以上)，就能夠使導(dǎo)電薄膜位于磁場范圍內(nèi)產(chǎn)生振動，容易對導(dǎo)電薄膜的振動性能進(jìn)行測試。

在一種可行的實(shí)施方式中，內(nèi)筒具有第一端和第二端，第一端連接環(huán)形端蓋，第一端的環(huán)形端面與環(huán)形端蓋的端面在內(nèi)筒上的軸向距離為10μm-1m，且第一端的環(huán)形端面朝向第二端的方向凹陷。

可以形成一個(gè)承載導(dǎo)電薄片的凹陷區(qū)域，以便對導(dǎo)電薄片進(jìn)行安裝，從而避免導(dǎo)電薄片在垂直于內(nèi)筒的軸線方向移動。

在一種可行的實(shí)施方式中，導(dǎo)電薄片上設(shè)置有多個(gè)通孔。