[發明專利]等離子體離子密度測定裝置和利用其的等離子體診斷裝置在審
| 申請號： | 202110374496.9 | 申請日： | 2021-04-07 |
| 公開（公告）號： | CN114980464A | 公開（公告）日： | 2022-08-30 |
| 發明（設計）人： | 李孝昶;金貞衡;廉喜重 | 申請（專利權）人： | 韓國標準科學研究院 |
| 主分類號： | H05H1/00 | 分類號： | H05H1/00;H05H1/02;H05H1/24 |
| 代理公司： | 北京鍾維聯合知識產權代理有限公司 11579 | 代理人： | 羅銀燕 |
| 地址： | 韓國大田*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 等離子體 離子 密度測定 裝置 利用 診斷 | ||
1.一種等離子體離子密度測定裝置，其特征在于，
包括：
收發天線，向等離子體施加能夠改變頻率的微波并接收；以及
頻率分析器，分析上述收發天線接收的微波的頻率來測定截止頻率，
能夠在100kHz以上且500MHz以下的范圍內改變向上述等離子體施加的微波的頻率。
2.根據權利要求1所述的等離子體離子密度測定裝置，其特征在于，還包括將在上述頻率分析器中測定的截止頻率變換為等離子體離子密度的變換部。
3.根據權利要求1所述的等離子體離子密度測定裝置，其特征在于，上述收發天線為探針型天線。
4.根據權利要求1所述的等離子體離子密度測定裝置，其特征在于，上述收發天線為環形天線。
5.根據權利要求1所述的等離子體離子密度測定裝置，其特征在于，上述收發天線為扁平環形天線。
6.根據權利要求1所述的等離子體離子密度測定裝置，其特征在于，上述收發天線為扁平錐形天線。
7.根據權利要求1所述的等離子體離子密度測定裝置，其特征在于，上述收發天線為扁平桿型天線。
8.一種等離子體密度測定裝置，其特征在于，
包括：
收發天線，向等離子體施加能夠改變頻率的微波并接收；以及
頻率分析器，分析上述收發天線接收的微波的頻率來測定截止頻率，
能夠在100kHz以上且500MHz以下的范圍內改變向上述等離子體施加的微波的頻率。
9.根據權利要求8所述的等離子體密度測定裝置，其特征在于，還包括將在上述頻率分析器中測定的截止頻率變換為等離子體離子密度的變換部。
10.根據權利要求8所述的等離子體密度測定裝置，其特征在于，上述收發天線為探針型天線。
11.根據權利要求8所述的等離子體密度測定裝置，其特征在于，上述收發天線為環形天線。
12.根據權利要求8所述的等離子體密度測定裝置，其特征在于，上述收發天線為扁平環形天線。
13.根據權利要求8所述的等離子體密度測定裝置，其特征在于，上述收發天線為扁平錐形天線。
14.根據權利要求8所述的等離子體密度測定裝置，其特征在于，上述收發天線為扁平桿型天線。
15.一種等離子體診斷裝置，其特征在于，包括：
收發天線，向等離子體施加能夠改變頻率的微波并接收；
頻率分析器，分析上述收發天線接收的微波的頻率來測定截止頻率；
變換部，將在上述頻率分析器中測定的截止頻率變換為等離子體電子密度或等離子體離子密度；以及
比較部，比較在上述變換部變換的等離子體電子密度與等離子體離子密度。
16.根據權利要求15所述的等離子體診斷裝置，其特征在于，向上述等離子體施加的微波的頻率包括在100kHz以上且500MHz以下的范圍內改變的情況和在0.5GHz以上且10GHz以下的范圍內改變的情況。
17.一種等離子體工藝裝置，其特征在于，包括：
真空腔室，生成等離子體；
收發天線，在上述真空腔室內，向等離子體施加能夠改變頻率的微波并接收；
頻率分析器，分析上述收發天線接收的微波的頻率來測定截止頻率；
變換部，將在上述頻率分析器中測定的截止頻率變換為等離子體離子密度或等離子體電子密度；以及
比較部，比較在上述變換部中變換的等離子體離子密度與等離子體電子密度。
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