[發明專利]掩膜版及其制備方法和蒸鍍裝置

有效

• 申請號: 202110372973.8
• 申請日: 2021-04-07
• 公開（公告）號: CN113088876B
• 公開（公告）日: 2022-11-22
• 發明（設計）人: 魏振業;李瑞濤;曾誠;張宏偉;孫震;馬璐藺
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;成都京東方光電科技有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56;C09D127/18;C09D7/62
• 代理公司: 北京市鑄成律師事務所 11313
• 代理人: 郗名悅;閆茂娟

本公開實施例提供一種掩膜版及其制備方法和蒸鍍裝置，其中，掩膜版包括：本體；功能結構層，設于本體的一側表面，功能結構層包括涂料前驅體層，涂料前驅體層包括含氟聚合物以及分散于含氟聚合物中的預處理后的微球顆粒，預處理后的微球顆粒具備疏水和/或疏油特性。本公開實施例的技術方案，降低了蒸鍍工藝過程中有機材料在掩膜版上附著的概率，提高了屏幕產品的分辨率和良率；并且，有利于降低掩膜版的清洗難度，提高蒸鍍工藝的加工效率。

技術領域

本公開涉及顯示技術領域，尤其涉及一種掩膜版及其制備方法和蒸鍍裝置。

背景技術

精細金屬掩膜版(Fine Mental Mask，FMM)是OLED(OrganicLight-EmittingDiode，有機電激光顯示)屏幕在蒸鍍工藝過程中所使用的消耗性核心零部件，用于在OLED屏幕上沉積可以發出紅光(R)、綠光(G)、藍光(B)有機物質以形成像素，并且在預設區域準確且精細地沉積有機物質，以提高屏幕的分辨率和良率。

但是，在進行蒸鍍工藝過程中，有機物質容易在掩膜版上大量附著并形成堆積，從而導致有機材料在像素開口處沉積不均勻或者在屏幕上形成異物，并且增加了掩膜版的清洗難度。

發明內容

本公開實施例提供一種掩膜版及其制備方法和蒸鍍裝置，以解決或緩解現有技術中的一項或更多項技術問題。

作為本公開實施例的第一方面，本公開實施例提供一種掩膜版，包括：

本體；

功能結構層，設于本體的一側表面，功能結構層包括涂料前驅體層，涂料前驅體層包括含氟聚合物以及分散于含氟聚合物中的預處理后的微球顆粒，預處理后的微球顆粒具備疏水和/或疏油特性。

在一種實施方式中，涂料前驅體層包括第一涂料前驅體子層和第二涂料前驅體子層的其中之一，或者，涂料前驅體層包括疊層設置的第一涂料前驅體子層和第二涂料前驅體子層，且第一涂料前驅體子層鄰近本體設置；

其中，第一涂料前驅體子層中，預處理后的微球顆粒與含氟聚合物的比例為1:10至1:8；第二涂料前驅體子層中，預處理后的微球顆粒與含氟聚合物的比例為1:5至1:3。

在一種實施方式中，微球顆粒的直徑為30納米至100納米；和/或，

微球顆粒的材質包括納米三氧化二鋁、納米二氧化硅、碳管粉末中的至少一種。

在一種實施方式中，含氟聚合物包括全氟乙烯丙烯聚合物。

在一種實施方式中，功能結構層還包括微米矩陣圖案，微米矩陣圖案設于本體的朝向涂料前驅體層一側表面。

在一種實施方式中，微米矩陣圖案包括多個矩形凸起，多個矩形凸起在預設方向上間隔設置，且多個相鄰矩形凸起之間的間距在預設方向上遞減。

作為本公開實施例的第二方面，本公開實施例提供一種掩膜版的制備方法，其特征在于，包括：

制備涂料前驅體，涂料前驅體具備疏水和/或疏油特性；

將涂料前驅體涂覆在本體的一側表面，形成涂料前驅體層。

在一種實施方式中，制備涂料前驅體，包括：

對微球顆粒進行預處理，獲得預處理后的微球顆粒，預處理后的微球顆粒具備疏水和/或疏油的特性；

將預處理后的微球顆粒與含氟聚合物按預設比例進行混合，制備涂料前驅體。

在一種實施方式中，將預處理后的微球顆粒與含氟聚合物按預設比例進行混合，制備涂料前驅體，包括以下中的至少一項：

將預處理后的微球顆粒與含氟聚合物按第一預設比例進行混合，制備第一涂料前驅體，第一預設比例為1:10至1:8；