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[發明專利]感光性導體膏體、層疊電子部件及其制造方法在審

專利信息
申請號: 202110371585.8 申請日: 2021-04-07
公開(公告)號: CN113534632A 公開(公告)日: 2021-10-22
發明(設計)人: 石間雄也;高橋圣樹;須田昭;鈴木孝志;梅田秀信 申請(專利權)人: TDK株式會社
主分類號: G03G9/08 分類號: G03G9/08;G03G5/082
代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司 11322 代理人: 楊琦
地址: 日本*** 國省代碼: 暫無信息
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 感光性 導體 層疊 電子 部件 及其 制造 方法
【權利要求書】:

1.一種感光性導體膏體,其中,

包含感光性有機成分、導體粉及石英粉。

2.根據權利要求1所述的感光性導體膏體,其中,

所述石英粉的中值粒徑為0.4~5.0μm。

3.根據權利要求1或2所述的感光性導體膏體,其中,

所述導體粉的中值粒徑為所述石英粉的中值粒徑以上。

4.根據權利要求1~3中任一項所述的感光性導體膏體,其中,

所述導體粉為銀粉。

5.一種層疊電子部件,其中,

具有層疊結構,所述層疊結構包含具有矩形截面的缺損部的多個素體層、和向所述多個素體層的各自的所述缺損部填補的多個導體層,

所述導體層由內包石英粉的導體構成。

6.根據權利要求5所述的層疊電子部件,其中,

所述多個導體層構成線圈。

7.根據權利要求5或6所述的層疊電子部件,其中,

所述素體層由包含玻璃成分的材料構成。

8.一種層疊電子部件的制造方法,其中,

包含:

形成層疊體的工序,所述層疊體包含層疊且分別具有矩形截面的缺損部的多個素體圖案、和向所述多個素體圖案的各自的所述缺損部填補的多個導體圖案;以及

對所述層疊體進行熱處理,使所述素體圖案成為素體層且使所述導體圖案成為導體層的工序,

通過使用了包含感光性有機成分、導體粉及石英粉的感光性導體膏體的光刻形成所述導體圖案。

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