[發明專利]一種用于微流控的聲學鑷子

有效

• 申請號: 202110368983.4
• 申請日: 2021-04-06
• 公開（公告）號: CN113117766B
• 公開（公告）日: 2022-08-02
• 發明（設計）人: 余厲陽;陳立
• 申請（專利權）人: 杭州電子科技大學
• 主分類號: B01L3/00
• 分類號: B01L3/00
• 代理公司: 浙江千克知識產權代理有限公司 33246
• 代理人: 周希良

1.一種用于微流控的聲學鑷子，包括支架，其特征在于，所述支架上安裝有微流控通道層以及設置于微流控通道層下方的壓電基底；所述微流控通道層具有中空的通道，所述中空的通道包括主通道、設置于主通道一側的至少兩個流體入口通道、設置于主通道另一側的至少兩個流出口通道；所述主通道的兩側設置一對相互平行且相對放置的聲表面波換能器組，所述流體入口通道一側放置有加速換能器，所述壓電基底的背面設置有疊層體聲波壓電換能器；

所述聲表面波換能器組中的每個聲表面波換能器包括兩個叉指指條組、兩根金屬條，所述叉指指條組與金屬條之間設置有開關管，所述開關管連接有電控模塊；其中叉指指條的形狀為等腰梯形；

所述開關管連接有編碼模塊，所述編碼模塊用于控制開關管的通斷。

2.根據權利要求1所述的一種用于微流控的聲學鑷子，其特征在于，所述聲表面波換能器組中的兩個聲表面波換能器均與主通道呈預設夾角α。

3.根據權利要求2所述的一種用于微流控的聲學鑷子，其特征在于，所述預設夾角為0°～+15°或者-15°～0°。

4.根據權利要求1所述的一種用于微流控的聲學鑷子，其特征在于，所述壓電基底由鈮酸鋰晶體組成，得到鈮酸鋰襯底。

5.根據權利要求4所述的一種用于微流控的聲學鑷子，其特征在于，所述微流控通道層在PDMS結構上形成，所述PDMS結構與鈮酸鋰襯底鍵合。

6.根據權利要求1所述的一種用于微流控的聲學鑷子，其特征在于，所述疊層體聲波壓電換能器電壓、電極和壓電變壓器材料組成。

7.根據權利要求1所述的一種用于微流控的聲學鑷子，其特征在于，還包括隔膜，所述隔膜設置在壓電基底上并覆蓋聲表面波換能器組。

8.根據權利要求7所述的一種用于微流控的聲學鑷子，其特征在于，所述隔膜為厚度190-200nm的SiO₂薄膜；聲表面波換能器的高度為90-100nm。