[發明專利]一種高溫爐真空密封爐膛結構

在審

• 申請號: 202110366658.4
• 申請日: 2021-09-15
• 公開（公告）號: CN113983808A
• 公開（公告）日: 2022-01-28
• 發明（設計）人: 張海林;劉國霞;滕玉朋;吳季浩
• 申請（專利權）人: 青島賽瑞達電子科技有限公司
• 主分類號: F27B5/05
• 分類號: F27B5/05;F27B5/08;F27B5/14;F27B5/18
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種高溫爐真空密封爐膛結構，包括爐蓋(1)、爐殼(2)、爐底法蘭(3)通過螺栓緊固、密封圈密封，且爐底法蘭(3)安裝有密封法蘭(4)和工藝管(5)的真空密封爐膛，真空密封爐膛內部包括由所述工藝管(5)限定的工藝腔室，用于進行工藝片的工藝過程，真空密封爐膛內部還設有爐蓋隔熱屏組(6)、爐殼隔熱屏組(7)、爐底隔熱屏組(8)，所述爐蓋隔熱屏組、爐殼隔熱屏組、爐底隔熱屏組與所述工藝管(5)之間設有加熱腔，所述加熱腔內設置加熱器(9)，

其特征在于，穿過所述爐蓋(1)和爐蓋隔熱屏組(6)設置有加熱器電極桿(10)，用于連接所述加熱器和外部電源，所述加熱器電極桿(10)近加熱器段設有電極桿隔熱屏組(11)，用于保護所述加熱器電極桿的絕緣套(12)不受高溫損害，所述電極桿隔熱屏組(11)與所述爐蓋隔熱屏組(6)隔斷設置，所述加熱器電極桿(10)遠加熱器段設有絕緣套(12)。

2.根據權利要求1所述的一種高溫爐真空密封爐膛結構，其特征在于，所述電極桿隔熱屏組、爐蓋隔熱屏組、爐殼隔熱屏組、爐底隔熱屏組均由等間距層疊的隔熱屏組成，所述電極桿隔熱屏組未裸露于所述加熱腔部分的每層隔熱屏與所述爐蓋隔熱屏的每層隔熱屏之間同一水平面隔斷設置，所述電極桿隔熱屏之間貼近所述加熱器電極桿處設有電極桿隔熱屏隔套(13)，用于支撐所述電極桿隔熱屏組中的每層隔熱屏。

3.根據權利要求2所述的一種高溫爐真空密封爐膛結構，其特征在于，所述爐蓋隔熱屏組、爐殼隔熱屏組、爐底隔熱屏組的隔熱屏由內向外材料依次為鎢、鉬、不銹鋼，所述電極桿隔熱屏組與所述爐蓋隔熱屏組同一水平高度的隔熱屏材料相同。

4.根據權利要求1所述的一種高溫爐真空密封爐膛結構，其特征在于，所述加熱器通過加熱器電極桿吊裝于所述加熱腔內，用于給所述工藝腔室提供熱源，所述加熱器上部通過開槽方式三等分開，所述加熱器底部為完整圓形筒狀，所述加熱器上部三等分處中間與所述加熱器電極桿電連接。

5.根據權利要求1所述的一種高溫爐真空密封爐膛結構，其特征在于，所述加熱器電極桿的爐外部分套設電極絕緣水冷密封套(14)，所述加熱器電極桿與所述電極絕緣水冷密封套通過密封圈密封，所述電極絕緣水冷密封套與所述爐蓋固結，所述加熱器電極桿爐外端部還設置接線組件(15)，用于外接電源。

6.根據權利要求1所述的一種高溫爐真空密封爐膛結構，其特征在于，所述爐殼外部設置熱偶密封座(16)，測溫熱偶(17)通過熱偶密封圈套裝于所述熱偶密封座(16)內，并穿過所述爐殼隔熱屏組至所述加熱腔。