[發(fā)明專(zhuān)利]陣列波導(dǎo)光柵及其校準(zhǔn)系統(tǒng)、校準(zhǔn)方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110366418.4
• 申請(qǐng)日: 2021-04-06
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN113093329A
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-07-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 路侑錫;金里;馮俊波;曹?chē)?guó)威;張業(yè)斌
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 聯(lián)合微電子中心有限責(zé)任公司
• 主分類(lèi)號(hào): G02B6/12
• 分類(lèi)號(hào): G02B6/12;G01M11/00
• 代理公司: 上海盈盛知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31294
• 代理人: 孫佳胤

1.一種陣列波導(dǎo)光柵，其特征在于，所述陣列波導(dǎo)光柵包括：

光輸入模塊；

陣列波導(dǎo)，連接所述光輸入模塊，將輸入光在陣列波導(dǎo)輸出端形成一個(gè)光柵陣列；

移相器陣列，所述移相器陣列位于所述陣列波導(dǎo)上，用于分別調(diào)節(jié)陣列波導(dǎo)里面每一個(gè)通道光的相位；

光輸出模塊，連接所述陣列波導(dǎo)，用于輸出光波。

2.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的陣列波導(dǎo)光柵，其特征在于，所述光輸入模塊進(jìn)一步包括：

輸入光波導(dǎo)，所述輸入光波導(dǎo)輸入待分路的光；

輸入星型耦合器，連接所述輸入光波導(dǎo)，所述輸入星型耦合器將輸入的光發(fā)散到每一個(gè)陣列波導(dǎo)中。

3.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的陣列波導(dǎo)光柵，其特征在于，所述光輸出模塊進(jìn)一步包括：

輸出星型耦合器，連接所述陣列波導(dǎo)，所述陣列波導(dǎo)在輸出星型耦合器上形成的光柵陣列在星型耦合器的另一端形成干涉；

輸出波導(dǎo)，連接所述輸出星型耦合器，輸出光波。

4.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的陣列波導(dǎo)光柵，其特征在于，所述陣列波導(dǎo)光柵采用全硅材料，移相器采用基于硅移相器的熱調(diào)或者電調(diào)方案。

5.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的陣列波導(dǎo)光柵，其特征在于，所述陣列波導(dǎo)光柵采用全鈮酸鋰材料，移相器采用基于鈮酸鋰移相器的電調(diào)方案。

6.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的陣列波導(dǎo)光柵，其特征在于，所述陣列波導(dǎo)光柵采用硅或者氮化硅材料，移相器區(qū)域采用鍵合鈮酸鋰來(lái)進(jìn)行電學(xué)移相控制。

7.一種陣列波導(dǎo)光柵模塊，其特征在于，包括可調(diào)激光光源、以及陣列波導(dǎo)光柵：

所述可調(diào)激光光源用于產(chǎn)生一激光束；

所述陣列波導(dǎo)光柵與所述可調(diào)激光光源連接，包括光輸入模塊；陣列波導(dǎo)，連接所述光輸入模塊，將輸入光形成一個(gè)光柵陣列；移相器陣列，所述移相器陣列位于所述陣列波導(dǎo)上，調(diào)節(jié)每一通道陣列波導(dǎo)的輸出光相位；以及光輸出模塊，連接所述移相器陣列，用于輸出光波。

8.一種陣列波導(dǎo)光柵的校準(zhǔn)系統(tǒng)，其特征在于，包括陣列波導(dǎo)光柵模塊、多通道光纖跳線(xiàn)、多通道光功率計(jì)、以及控制設(shè)備：

所述多通道光纖跳線(xiàn)與所述陣列波導(dǎo)光柵連接，用于接收所述陣列波導(dǎo)光柵的出射光，并根據(jù)頻率進(jìn)行不同通道間的跳線(xiàn)設(shè)置；

所述多通道光功率計(jì)與所述多通道光纖跳線(xiàn)連接，用于記錄每個(gè)通道在不同光頻率下的光功率；

所述控制設(shè)備分別連接所述陣列波導(dǎo)光柵以及所述多通道光功率計(jì)，用于進(jìn)行數(shù)據(jù)分析以及控制移相器陣列移相大小。

9.一種陣列波導(dǎo)光柵的校準(zhǔn)方法，其特征在于，包括如下步驟：

設(shè)置初始移相器陣列電壓；

可調(diào)激光光源進(jìn)行光譜掃頻；

多通道光功率計(jì)記錄陣列波導(dǎo)光柵每個(gè)輸出通道的光譜數(shù)據(jù)；

評(píng)價(jià)數(shù)據(jù)是否符合要求；

如果評(píng)價(jià)結(jié)果不符合要求，重新設(shè)置移相器陣列電壓，并返回可調(diào)激光光源進(jìn)行光譜掃頻步驟；

如果評(píng)價(jià)結(jié)果符合要求，記錄校準(zhǔn)電壓數(shù)據(jù)，校準(zhǔn)結(jié)束。

10.根據(jù)權(quán)利要求9中所述的方法，其特征在于，所述重新設(shè)置移相器陣列電壓在陣列波導(dǎo)光柵中完成。