[發(fā)明專利]一種低溫低壓氣相沉積鍍層紡織品的制備方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110365631.3
• 申請(qǐng)日: 2021-04-06
• 公開（公告）號(hào): CN113088897A
• 公開（公告）日: 2021-07-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 鄭奇標(biāo)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 蘇州梵爾仕新材料科技有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/32
• 分類號(hào): C23C14/32;C23C14/54
• 代理公司: 六安市新圖匠心專利代理事務(wù)所(普通合伙) 34139
• 代理人: 朱小杰

1.一種低溫低壓氣相沉積鍍層紡織品的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：

S1：前期準(zhǔn)備：準(zhǔn)備一個(gè)具備高壓電流電弧靶蒸發(fā)離化源的紡織品氣相沉積鍍層設(shè)備Q1與紡織品鍍層反應(yīng)設(shè)備Q2，并檢查紡織品氣相沉積鍍層設(shè)備Q1與紡織品鍍層反應(yīng)設(shè)備Q2的密封性，且紡織品鍍層反應(yīng)設(shè)備Q2內(nèi)部設(shè)置有能隨紡織品的尺寸調(diào)整的紡織品放置機(jī)構(gòu)，將紡織品氣相沉積鍍層設(shè)備Q1與紡織品鍍層反應(yīng)設(shè)備Q2通過連接管道進(jìn)行連接，且連接管道應(yīng)設(shè)置有控制閥用以開啟或關(guān)閉連接管道；

S2：輔助機(jī)構(gòu)連接：接著將溫度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)Q3與氣壓調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)Q4與紡織品鍍層反應(yīng)設(shè)備Q2通過調(diào)節(jié)管道進(jìn)行連接，并設(shè)置控制機(jī)構(gòu)控制調(diào)節(jié)管道的開啟與關(guān)閉，溫度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)Q3與氣壓調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)Q4均位于紡織品鍍層反應(yīng)設(shè)備Q2的底部，溫度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)Q3與氣壓調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)Q4使紡織品鍍層反應(yīng)設(shè)備Q2內(nèi)部空氣自上往下進(jìn)行循環(huán)，再次檢查連接后的紡織品鍍層反應(yīng)設(shè)備Q2密封性，避免制備過程中設(shè)備漏氣影響紡織品的制備；

S3：鍍層原料分解：將鍍層需要的原料放入紡織品氣相沉積鍍層設(shè)備Q1中，通過高壓電流電弧靶蒸發(fā)離化源將鍍層原料分解為氣態(tài)的離子體，接著將紡織品放入紡織品鍍層反應(yīng)設(shè)備Q2中，紡織品原料放置完成后，開啟紡織品氣相沉積鍍層設(shè)備Q1與紡織品鍍層反應(yīng)設(shè)備Q2之間的連接管道，使得紡織品氣象沉積鍍層設(shè)備Q1中的游離離子進(jìn)入紡織品鍍層反應(yīng)設(shè)備Q2中；

S4：紡織品鍍層：當(dāng)游離離子進(jìn)入紡織品鍍層反應(yīng)設(shè)備Q2中后，分別開啟溫度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)Q3與氣壓調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)Q4，對(duì)紡織品鍍層反應(yīng)設(shè)備Q2內(nèi)部的溫度以及氣壓進(jìn)行調(diào)節(jié)，游離離子低溫低壓情況下在紡織品表層聚積，從而形成沉積薄膜層，同時(shí)，氣體分子分布的不均勻在很短的時(shí)間內(nèi)可以消除，所以能生長出厚度均勻的鍍層，從而得到性能更為優(yōu)良的紡織品；

S5：數(shù)據(jù)收集：隨著溫度與氣壓的不斷變化，鍍層形成的速度也會(huì)出現(xiàn)相應(yīng)變化，此時(shí)數(shù)據(jù)采集設(shè)備將紡織品鍍層反應(yīng)設(shè)備Q2內(nèi)部的溫度T及氣壓P數(shù)值進(jìn)行收集整理，得到相關(guān)數(shù)據(jù)，并隨著數(shù)據(jù)變化研究溫度T以及氣壓P對(duì)紡織品鍍層效果的影響，并借此研究出最有利于紡織品鍍層成型的條件，從而得到最佳鍍層方案，并以此節(jié)約生產(chǎn)資源，降低生產(chǎn)成本。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種低溫低壓氣相沉積鍍層紡織品的制備方法，其特征在于，所述數(shù)據(jù)采集設(shè)備包括溫度傳感器、壓力傳感器、計(jì)算機(jī)以及數(shù)據(jù)采集器。