[發明專利]金屬蝕刻加工廢液回收裝置

在審

• 申請號: 202110365409.3
• 申請日: 2021-04-06
• 公開（公告）號: CN112939288A
• 公開（公告）日: 2021-06-11
• 發明（設計）人: 陳森;周愛東
• 申請（專利權）人: 江蘇佰元鴻金屬科技有限公司
• 主分類號: C02F9/04
• 分類號: C02F9/04;B01F7/18;C23F1/46;C25C1/12
• 代理公司: 南京蘇科專利代理有限責任公司 32102
• 代理人: 陳忠輝

本發明公開了一種金屬蝕刻加工廢液回收裝置，裝置本體內部在攪拌軸下方依次設有第一過濾層和第二過濾層，裝置本體的一側通過導液軟管與第二回收箱相連接，該導液軟管連通于第二過濾層與裝置本體內底部之間；裝置本體的另一側通過導液管道與處理箱的一側相連接，該導液管道連通于第一過濾層與第二過濾層之間，處理箱的另一側與第一回收箱連接。在回收不同金屬蝕刻產生的廢液時，可分別經由裝置兩側的處理箱與回收箱進行處理，不僅方便了人們的使用，還有利于金屬蝕刻廢液的再次利用和排出；多層過濾能夠避免因過液管結構堵塞而降低分離效率，提高金屬蝕刻廢液處理效率。

技術領域

本發明涉及金屬蝕刻加工，尤其是一種對金屬蝕刻加工產生的廢液進行回收的裝置，屬于金屬蝕刻技術領域。

背景技術

金屬蝕刻也稱光化學金屬蝕刻（photochemicaletching），是指通過曝光制版和顯影后，將要金屬蝕刻區域的保護膜去除，在金屬蝕刻時接觸化學溶液，起到溶解腐蝕的作用，形成凹凸或者鏤空成型的效果。該工藝最早可用來制造銅版、鋅版等印刷凹凸版，也廣泛地被使用于減輕重量儀器鑲板、銘牌及傳統方法難以加工之薄形工件等的加工；經過不斷改良和工藝設備發展，亦可以用于航空、機械、化學工業中電子薄片零件精密金屬蝕刻產品的加工。特別在半導體制程上，金屬蝕刻更是不可或缺的技術。

在金屬蝕刻的作業流程中，化學浸蝕過程中需要使用到大量的金屬蝕刻液，此過程中也會產生蝕刻液廢液，該蝕刻液廢液中含有大量的有害物質，因此需要對其進行回收處理。然而，金屬蝕刻液所處理的金屬種類不同，所要進行的廢液處理流程也有差異，現有的蝕刻液廢液回收處理設備功能單一，不能高效、及時地對蝕刻液廢液進行處理，無法滿足人們的需求。因此，有必要對金屬蝕刻廢液的回收處理裝置進行改進，以提高設備的使用性能。

發明內容

本發明的目的就是為了解決上述問題，提供一種金屬蝕刻加工廢液回收裝置，以方便蝕刻廢液的及時回收與高效處理，提高設備性能。

本發明的技術解決方案是：金屬蝕刻加工廢液回收裝置，包括裝置本體，其特點是：所述裝置本體頂部的左側設有第一進液口，所述裝置本體頂部的右側設有第二進液口，所述裝置本體的內中部設有攪拌軸，所述攪拌軸的頂端通過電機軸與電機相連接，所述攪拌軸上均勻分布有若干攪拌葉片，所述裝置本體的內下部設有第一過濾層，且所述第一過濾層置于攪拌軸的下方，所述第一過濾層的下方設有第二過濾層，所述裝置本體的一側通過導液軟管與第二回收箱相連接，且所述導液軟管連通于第二過濾層與裝置本體內底部之間，所述裝置本體的另一側通過導液管道與處理箱的一側相連接，且所述導液管道連通于第一過濾層與第二過濾層之間，所述處理箱的另一側與第一回收箱相連接，所述裝置本體的底端設有抽料管。

進一步地，上述的金屬蝕刻加工廢液回收裝置，其中：所述第一過濾層采用多層過濾篩網構成，所述過濾篩網通過螺栓與內壁可拆卸固定連接；所述第二過濾層采用過濾板構成，所述過濾板分布有若干過濾孔。

進一步地，上述的金屬蝕刻加工廢液回收裝置，其中：所述第一過濾層與第二過濾層的間距距離小于第二過濾層與裝置本體內底部的間距。

更進一步地，上述的金屬蝕刻加工廢液回收裝置，其中：所述處理箱的內底部設有電解池，所述電解池一側貫穿處理箱側壁與外加電源電性連接。

更進一步地，上述的金屬蝕刻加工廢液回收裝置，其中：所述第二回收箱頂部的一側設有添料口，所述添料口的頂端設有料口蓋。

再進一步地，上述的金屬蝕刻加工廢液回收裝置，其中：在所述裝置本體底部的兩端分別安裝有支撐座。