[發明專利]一種PET薄膜用高速鐳射刻蝕方法

在審

• 申請號: 202110363598.0
• 申請日: 2021-04-02
• 公開（公告）號: CN113084357A
• 公開（公告）日: 2021-07-09
• 發明（設計）人: 劉敏
• 申請（專利權）人: 萊西市亨元產業互聯網中心
• 主分類號: B23K26/362
• 分類號: B23K26/362;B23K26/70
• 代理公司: 深圳紫晴專利代理事務所(普通合伙) 44646
• 代理人: 梁彥

本發明公開了一種PET薄膜用高速鐳射刻蝕方法，所述PET薄膜用高速鐳射刻蝕方法通過使用PET薄膜用高速鐳射刻蝕裝置來完成PET薄膜的高速鐳射刻蝕；所述PET薄膜用高速鐳射刻蝕裝置包括工作臺；所述工作臺底部固定連接有底座板；所述底座板數量設置為二組；所述工作臺頂部固定連接有橫向往復絲杠；所述橫向往復絲杠數量設置為二組；所述橫向往復絲杠絲桿右側通過同軸連接設置有錐齒輪組A；所述錐齒輪組A內錐齒輪通過同軸連接設置有連桿A；通過步進電機帶動纏繞有PET薄膜的承接輥步進運行，通過張緊輥擠壓薄膜頂部，使薄膜傳動過程中可以保持良好的穩定性，使PET薄膜進行快速鐳射刻蝕的同時保持較高刻蝕質量。

技術領域

本發明涉及薄膜刻蝕技術領域，具體為一種PET薄膜用高速鐳射刻蝕方法。

背景技術

用于制作器件的薄膜材料，一般都要求印刷電路版上的銅膜是具有一定形狀和走向的線條，因此對各種薄膜材料的形狀和大小的要求就更為復雜和嚴格，形成具有一定形狀和大小的圖形薄膜的方法是在鍍膜過程中使用掩模板，使基體表面裸露部分生長有薄膜材料，而被掩蓋部分則不存在薄膜。

經過檢索例如專利號為CN111408848A的專利公開了一種PET薄膜用高速鐳射刻蝕裝置，涉及到激光刻蝕技術領域。包括操作板，刻蝕組件，所述刻蝕組件設置操作板的上方；所述操作板的下方設置有用來移動刻蝕組件的驅動組件，所述操作板的側面設置有PET薄膜刻蝕盤。有益效果：利用高速鐳射刻蝕裝置對PET薄膜進行刻蝕，提高了薄膜的刻蝕速度，并且刻蝕深度能夠得到控制，使刻蝕的深度更加均勻，并且鐳射激光刻蝕不需要化學藥品對薄膜的表面進行清洗防止了化學藥品對環境造成污染，提高了產品的合格率。通過控制電機的轉動和電動推桿的伸縮，代替了傳統的人工刻蝕，使薄膜的刻蝕更加更加精確，提高了刻蝕的精確性，提升了PET薄膜的刻蝕質量，提高了刻蝕薄膜的加工效率。

再例如專利號為CN101307444A的專利公開了一種蝕刻劑和利用該蝕刻劑制造包括薄膜晶體管的電子裝置的方法。該蝕刻劑包括氟離子(F－)源、過氧化氫(H2O2)、硫酸鹽、磷酸鹽、唑類化合物和溶劑。該蝕刻劑和包括薄膜晶體管的電子裝置的制造方法可批量地蝕刻包括銅層和鈦或鈦合金層的多層膜，并可以以高產量提供具有良好的圖案輪廓的薄膜晶體管。當對該蝕刻劑進行再利用時，可保持均勻的蝕刻性能，且蝕刻劑的更換周期長，因此可節約成本。

但是，現有PET薄膜用高速鐳射刻蝕一般為箱型結構，未設置可以提高PET薄膜鐳射刻蝕速度的結構，工作效率較低，未設置可以對激光工作部進行有效降溫的結構，裝置的安全性較差，未設置薄膜傳動過程中可以使其保持良好穩定性的結構，不能在PET薄膜進行快速鐳射刻蝕的同時保持較高刻蝕質量，實用性較差。

因此，不滿足現有的需求，對此我們提出了一種PET薄膜用高速鐳射刻蝕方法。

發明內容

(一)技術問題

本發明的目的在于提供一種PET薄膜用高速鐳射刻蝕方法，以解決上述背景技術中提出的現有裝置的一般為箱型結構，未設置可以提高PET薄膜鐳射刻蝕速度的結構，工作效率較低，未設置可以對激光工作部進行有效降溫的結構，裝置的安全性較差，未設置薄膜傳動過程中可以使其保持良好穩定性的結構，不能在PET薄膜進行快速鐳射刻蝕的同時保持較高刻蝕質量，實用性較差的問題。

(二)技術方案