[發明專利]動態氣體鎖的測試裝置及應用其測試的方法

在審

• 申請號: 202110363094.9
• 申請日: 2021-04-02
• 公開（公告）號: CN113281463A
• 公開（公告）日: 2021-08-20
• 發明（設計）人: 王魁波;吳曉斌;謝婉露;羅艷;沙鵬飛;韓曉泉;李慧
• 申請（專利權）人: 中國科學院微電子研究所
• 主分類號: G01N33/00
• 分類號: G01N33/00
• 代理公司: 北京辰權知識產權代理有限公司 11619
• 代理人: 郎志濤

1.一種動態氣體鎖的測試裝置，應用于動態氣體鎖，所述動態氣體鎖設置于高清潔腔室與低清潔腔室之間，其特征在于，包括：

真空腔室系統，所述真空腔室系統包括所述高清潔腔室和所述低清潔腔室；

清潔氣體系統，所述清潔氣體系統包括高純清潔氣源箱，所述高純清潔氣源箱能夠與所述動態氣體鎖連通；

污染氣體系統，所述污染氣體系統包括高純污染氣源箱，所述高純污染氣源箱能夠與所述低清潔腔室連通；

氣體分析系統，所述氣體分析系統包括第一氣體分析器和第二氣體分析器，所述第一氣體分析器能夠與所述高清潔腔室連通，所述第二氣體分析器能夠與所述低清潔腔室連通；

抽真空泵組，所述抽真空泵組能夠與所述低清潔腔室和所述高清潔腔室連通；

控制器，所述控制器控制所述高純清潔氣源箱與所述動態氣體鎖連通或斷開，控制所述高純清潔氣源箱與所述低清潔腔室連通或斷開，控制所述高純清潔氣源箱與所述高清潔腔室連通或斷開，控制所述高純污染氣源箱與所述低清潔腔室連通或斷開，控制所述第一氣體分析器與所述高清潔腔室連通或斷開，控制所述第二氣體分析器與所述低清潔腔室連通或斷開，控制所述抽真空泵組與所述低清潔腔室和所述高清潔腔室連通或斷開。

2.根據權利要求1所述的動態氣體鎖的測試裝置，其特征在于，所述抽真空泵組包括第一真空泵組和第二真空泵組，所述第一真空泵組能夠與所述高清潔腔室連通，所述第二真空泵組能夠與所述低清潔腔室連通；所述控制器控制所述第一真空泵組與所述高清潔腔室連通或斷開，所述控制器控制所述第二真空泵組與所述低清潔腔室連通或斷開。

3.根據權利要求2所述的動態氣體鎖的測試裝置，其特征在于，所述抽真空泵組還包括第三真空泵組，所述控制器控制所述第三真空泵組與所述高清潔腔室連通或斷開。

4.根據權利要求2所述的動態氣體鎖的測試裝置，其特征在于，所述第一真空泵組與所述高清潔腔室連通管路上設置有第一泵口真空計，所述第二真空泵組與所述低清潔腔室連通管路上設置有第二泵口真空計。

5.根據權利要求1所述的動態氣體鎖的測試裝置，其特征在于，所述高純清潔氣源箱通過清潔管道與所述動態氣體鎖連通，所述清潔管道上設置有截斷閥；所述高純污染氣源箱通過污染管道與所述低清潔腔室連通，所述污染管道上設置有氣體調節閥；所述控制器控制所述截斷閥和所述氣體調節閥開啟或關閉。

6.根據權利要求5所述的動態氣體鎖的測試裝置，其特征在于，所述清潔氣體系統還包括設置于所述清潔管道上的純化器和氣體流量控制器，所述純化器設置于所述高純清潔氣源箱的出口端。

7.根據權利要求5所述的動態氣體鎖的測試裝置，其特征在于，所述污染氣體系統還包括氣流分布器，所述氣流分布器設置于所述污染管道的出口端，所述氣流分布器靠近所述動態氣體鎖設置。

8.根據權利要求1所述的動態氣體鎖的測試裝置，其特征在于，所述動態氣體鎖的測試裝置還包括溫度測量系統，所述溫度測量系統包括測溫儀，及與所述測溫儀連接的第一溫度傳感器和第二溫度傳感器，所述第一溫度傳感器設置于所述高清潔腔室內，所述第二溫度傳感器設置于所述低清潔腔室內，且所述第一溫度傳感器和所述第二溫度傳感器靠近所述動態氣體鎖設置。

9.根據權利要求1所述的動態氣體鎖的測試裝置，其特征在于，所述動態氣體鎖的測試裝置包括第一真空計和第二真空計，所述第一真空計設置于所述高清潔腔室上，所述第二真空計設置于所述低清潔腔室上。

10.一種動態氣體鎖的測試方法，其特征在于，應用動態氣體鎖的測試裝置，包括以下具體步驟：

控制高清潔腔室和低清潔腔室抽真空；

控制動態氣體鎖充入給定流量和成分的清潔氣體；

控制低清潔腔室充入給定流量的污染氣體；

獲取所述高清潔腔室和所述低清潔腔室的真空度，計算出所述高清潔腔室和所述低清潔腔室的流量；

獲取所述高清潔腔室和所述低清潔腔室的污染氣體的濃度和總壓，從而計算出動態氣體鎖對污染氣體的抑制率。