[發明專利]一種石墨烯銅靶材及其制備方法

在審

• 申請號: 202110362809.9
• 申請日: 2021-04-02
• 公開（公告）號: CN113106401A
• 公開（公告）日: 2021-07-13
• 發明（設計）人: 李剛;張承平
• 申請（專利權）人: 蘇州高松野岡石墨烯新材料有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;C23C14/14
• 代理公司: 北京棘龍知識產權代理有限公司 11740
• 代理人: 李改平

1.一種石墨烯銅靶材，包括靶材組件(1)，其特征在于：所述靶材組件(1)包括外包銅背板(2)和石墨烯銅靶材主體(3)，所述外包銅背板(2)內部開設有凹槽(4)，所述石墨烯銅靶材主體(3)外壁設置有石墨烯鍍層(5)。

2.根據權利要求1所述的一種石墨烯銅靶材，其特征在于：所述外包銅背板(2)和石墨烯銅靶材主體(3)之間焊接連接。

3.根據權利要求1所述的一種石墨烯銅靶材，其特征在于：所述凹槽(4)的內廓面積與石墨烯銅靶材主體(3)的外廓面積相同。

4.根據權利要求1-3任一項所述的一種石墨烯銅靶材及其制備方法，其特征在于，包括以下步驟：

S1、制備石墨烯銅靶材主體，將高純石墨烯和銅粉粉末為原料，石墨烯的質量含量為0.05～2.5％，并將石墨烯和銅粉粉末放置于V型混拌機混合均勻，然后將混合均勻后的石墨烯和銅粉混合物置于真空熱壓機的模具中，通過熱壓機將模具中抽至真空，然后通入氬氣，隨后通過壓桿熱壓成石墨烯銅靶材胚體；

S2、將所述步驟S1中得到的石墨烯銅靶材胚體進行機加工，并在石墨烯銅靶材胚體外壁濺射鍍上石墨烯鍍層，得到石墨烯銅靶材；

S3、準備外包銅背板，并對外包銅背板內部的凹槽的尺寸進行檢測，保證石墨烯銅靶材能夠剛好放置在外包銅背板的凹槽內部；

S4、將所述步驟S2中得到得到石墨烯銅靶材放置在外包銅背板的凹槽內部；

S5、將外包銅背板和石墨烯銅靶材主體之間進行擴散焊接。

5.根據權利要求4所述的一種石墨烯銅靶材及其制備方法，其特征在于：所述步驟S1中，V型混拌機的轉速為100～250r/min。

6.根據權利要求4所述的一種石墨烯銅靶材及其制備方法，其特征在于：所述步驟S1中，熱壓機抽真空至5x10-2torr以下。

7.根據權利要求4所述的一種石墨烯銅靶材及其制備方法，其特征在于：所述步驟S1中，通入氬氣至0.5atm。

8.根據權利要求4所述的一種石墨烯銅靶材及其制備方法，其特征在于：所述步驟S1中，壓桿的壓力為100～200MPa。