[發(fā)明專利]導(dǎo)電鋅-錫氧化物靶材及其制備方法與應(yīng)用

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110361835.X
• 申請日: 2021-04-02
• 公開（公告）號: CN113087519B
• 公開（公告）日: 2022-11-11
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張玉玲;甘志儉
• 申請（專利權(quán)）人: 基邁克材料科技（蘇州）有限公司
• 主分類號: C04B35/453
• 分類號: C04B35/453;C04B35/457;C04B35/622;C04B35/632;C04B35/634;C04B35/636;C23C14/08
• 代理公司: 華進聯(lián)合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 李美

1.一種導(dǎo)電鋅-錫氧化物靶材的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：

a).將5～20質(zhì)量份的SnO粉體、80～95質(zhì)量份的SnO₂粉體以及第一輔料混合后進行噴霧造粒、燒結(jié)，得到SnO_x粉體；其中，x的取值范圍為1.80～1.95，所述噴霧造粒的溫度為200℃～300℃，所述燒結(jié)的溫度為600℃～800℃，所述燒結(jié)的時間為1h～2h；

b).將所述SnO_x粉體、ZnO粉體以及第二輔料混合后進行造粒，得到鋅-錫氧化物粉體；將所述鋅-錫氧化物粉體加工成型，得到鋅-錫氧化物靶材素坯；將所述鋅-錫氧化物靶材素坯進行燒結(jié)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于，步驟a)中所述SnO粉體的用量為5～15質(zhì)量份，所述SnO₂粉體的用量為85～95質(zhì)量份。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于，按質(zhì)量份計，步驟b)中所述SnO_x粉體的用量為30～50份，所述ZnO粉體的用量為50～70份。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于，步驟b)中所述造粒為噴霧造粒，所述噴霧造粒的溫度為220℃～350℃。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于，步驟b)中所述燒結(jié)的溫度為1200℃～1400℃，所述燒結(jié)的時間為6h～8h。

6.根據(jù)權(quán)利要求1～5任一項所述的制備方法，其特征在于，所述第一輔料包括第一分散劑、第一粘接劑和水；所述第二輔料包括第二分散劑、第二粘接劑和水；所述第一分散劑和所述第二分散劑獨立地選自聚丙烯酰胺、聚羧酸銨鹽、聚乙烯羧酸類和硬脂酸鹽類中的至少一種；所述第一粘接劑和所述第二粘接劑獨立地選自聚乙烯醇、丙烯酸乳液、羧甲基纖維素和聚丙烯酸酯中的至少一種。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的制備方法，其特征在于，按質(zhì)量份計，所述第一輔料包括：

第一分散劑 0.5～5份；

第一粘接劑 0.5～5份；以及

水 90～99份。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的制備方法，其特征在于，按質(zhì)量份計，所述第二輔料包括：

第二分散劑 0.5～5份；

第二粘接劑 0.5～5份；以及

水 90～99份。

9.一種導(dǎo)電鋅-錫氧化物靶材，其特征在于，由權(quán)利要求1～8任一項所述的制備方法制備而成。

10.一種鍍膜，其特征在于，由權(quán)利要求9所述的導(dǎo)電鋅-錫氧化物靶材制備而成。