[發(fā)明專利]集成電路制造工藝規(guī)則驗證DRC自動界面實現(xiàn)方法

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• 申請?zhí)枺?/td>: 202110361263.5
• 申請日: 2021-04-02
• 公開（公告）號: CN113051868A
• 公開（公告）日: 2021-06-29
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 黃國勳;黃艷
• 申請（專利權(quán)）人: 黃國勳;黃艷
• 主分類號: G06F30/398
• 分類號: G06F30/398;G06F30/31;G06F16/903
• 代理公司: 上海和華啟核知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31339
• 代理人: 王仙子

1.集成電路制造工藝規(guī)則驗證DRC自動界面實現(xiàn)方法，其特征在于，包括如下步驟：

S100、創(chuàng)建DRC工程：通過選項卡模塊顯示方式新創(chuàng)建DRC工程；

S200、顯示進度：提示用戶該章節(jié)的完成度；

S300、匹配度檢查：定義器件信息和工藝物理信息，進行內(nèi)容的匹配度檢查，并實時彈出內(nèi)容沖突界面；

S400、顯示規(guī)則：定義物理層的工藝參數(shù)，通過規(guī)則內(nèi)容顯示界面，將對象選擇的指令通過圖形的形式進行顯示，并自動生成相關(guān)的描述語言；

S500、自動開發(fā)：進行工藝規(guī)則開發(fā)，選擇DRC對應(yīng)的不同應(yīng)用的工藝物理層堆疊信息，并定義可靠性規(guī)則以及工藝設(shè)計規(guī)則的基本信息；

S600、自動界面設(shè)定：將DRC頭部設(shè)定文件進行自動界面設(shè)定；

S700、工具文件選擇：將DRC導(dǎo)出的不同的對應(yīng)工具文件進行自動類型選擇；

S800、文件導(dǎo)出：編譯生成DRC文件并導(dǎo)出，可在下次進行DRC工程創(chuàng)建時，選擇直接導(dǎo)入DRM工程。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的集成電路制造工藝規(guī)則驗證DRC自動界面實現(xiàn)方法，其特征在于，在步驟S100的創(chuàng)建DRC工程中，啟動軟件至初始界面，所述初始界面包含五個選項卡菜單，其順序依次為：Technology Information、Basic Information、Layout Rules、Reliability Related Ruler、Design Rule Application，選項卡菜單順序為DRC規(guī)則手冊開發(fā)順序。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的集成電路制造工藝規(guī)則驗證DRC自動界面實現(xiàn)方法，其特征在于，在步驟S200的顯示進度中，采用進度條的模式，所述進度條在主選項卡菜單界面內(nèi)容未完成時進行提示，并阻止進入下一個選項卡的點擊及內(nèi)容編輯。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的集成電路制造工藝規(guī)則驗證DRC自動界面實現(xiàn)方法，其特征在于，在步驟S300中，采用字符匹配的方法進行內(nèi)容的匹配度檢查。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的集成電路制造工藝規(guī)則驗證DRC自動界面實現(xiàn)方法，其特征在于，在步驟S300的匹配度檢查中，在所述Technology Information選項卡中定義選擇工藝規(guī)則允許的格點規(guī)格與對應(yīng)的工藝規(guī)則包含的器件信息，進行剖面圖的層次定義、相關(guān)層物理信息的輸入以及沖突性檢測，當存在沖突時進行相關(guān)金屬層信息的重新輸入。

6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的集成電路制造工藝規(guī)則驗證DRC自動界面實現(xiàn)方法，其特征在于，在步驟S500的自動開發(fā)中，在所述Basic Information選項卡中完成剖面圖信息的自動導(dǎo)入，并進行Metal Combination組合數(shù)據(jù)的自動生成。

7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的集成電路制造工藝規(guī)則驗證DRC自動界面實現(xiàn)方法，其特征在于，在所述Layout Rules選項卡中，將layer mapping工藝層信息進行自動導(dǎo)入、同步顯示，并選擇各物理層的工藝規(guī)則。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的集成電路制造工藝規(guī)則驗證DRC自動界面實現(xiàn)方法，其特征在于，在步驟S800的文件導(dǎo)出中，在自動導(dǎo)入DRM工程后，DRC文件通過DRM工程中DRM相關(guān)物理信息及規(guī)則內(nèi)容的輸入，自動生成DRC代碼文件。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的集成電路制造工藝規(guī)則驗證DRC自動界面實現(xiàn)方法，其特征在于，在自動生成DRC代碼文件后，自動導(dǎo)出不同metal option組合的DRC代碼文件。