[發明專利]制造顯示裝置的設備

在審

• 申請號: 202110359497.6
• 申請日: 2021-04-02
• 公開（公告）號: CN114079028A
• 公開（公告）日: 2022-02-22
• 發明（設計）人: 曹踴晧;高銀兒;樸俊河;成箕運;全洪柱;許明洙
• 申請（專利權）人: 三星顯示有限公司
• 主分類號: H01L51/56
• 分類號: H01L51/56;H01L21/683
• 代理公司: 北京英賽嘉華知識產權代理有限責任公司 11204
• 代理人: 王達佐;劉錚

1.一種制造顯示裝置的設備，包括：

靜電吸盤，包括母材和布置于所述母材上的電極；以及

溫度調節模塊，包括溫度調節管路和溫度調節基底部，所述溫度調節管路布置于所述母材內以供溫度調節物質循環，所述溫度調節基底部布置于所述母材的下方并與所述溫度調節管路連接。

2.根據權利要求1所述的制造顯示裝置的設備，其中，

所述溫度調節模塊還包括螺栓，所述螺栓布置于所述母材與所述溫度調節基底部之間，并且用于緊固所述母材和所述溫度調節基底部。

3.根據權利要求1所述的制造顯示裝置的設備，其中，

所述溫度調節管路是冷卻管路。

4.根據權利要求1所述的制造顯示裝置的設備，其中，

所述電極包括第一電極和第二電極，

所述第一電極包括：

第一中心線，沿第一方向延伸；

第一分支線，從所述第一中心線沿與所述第一方向交叉的第二方向延伸，并且包括沿與所述第一方向相反的方向延伸的第一副線；以及

第二分支線，從所述第一中心線沿所述第二方向延伸，并且與所述第一分支線相鄰布置，

所述第二電極包括：

第二中心線，沿所述第一方向延伸，并且在所述第二方向上與所述第一中心線相對；

第三分支線，從所述第二中心線沿與所述第二方向相反的方向延伸，與所述第一分支線相鄰布置，并且包括沿所述第一方向延伸的第二副線；以及

第四分支線，從所述第二中心線沿與所述第二方向相反的所述方向延伸，并且布置于所述第一分支線與所述第二分支線之間，

其中，所述第一副線與所述第二副線在所述第二方向上彼此交替布置。

5.根據權利要求4所述的制造顯示裝置的設備，其中，

所述靜電吸盤包括沿所述第一方向延伸的長邊和沿所述第二方向延伸的短邊，并且還包括布置于所述母材與所述電極之間的第一絕緣層，

所述第一分支線比所述第二分支線更鄰近所述短邊布置，以及

所述第三分支線比所述第四分支線更鄰近所述短邊布置。

6.根據權利要求4所述的制造顯示裝置的設備，其中，

所述第一分支線和所述第二分支線中的每一個的末端與所述第二中心線相鄰，以及

所述第三分支線和所述第四分支線中的每一個的末端與所述第一中心線相鄰。

7.根據權利要求1所述的制造顯示裝置的設備，其中，

所述靜電吸盤還包括布置于所述母材與所述電極之間的第一絕緣層和布置于所述電極上的第二絕緣層，

所述第一絕緣層包括第一區域和圍繞所述第一區域的第二區域，以及

所述第二區域中的所述電極的每單位面積密度大于所述第一區域中的所述電極的每單位面積密度。

8.根據權利要求1所述的制造顯示裝置的設備，其中，

所述溫度調節模塊還包括電永磁吸盤，所述電永磁吸盤布置于限定在所述溫度調節基底部的內部的空間中。

9.根據權利要求1所述的制造顯示裝置的設備，還包括：

掩模，布置于所述靜電吸盤上，并且限定有多個貫通孔。