[發(fā)明專利]一種新型的PIN管微觀結(jié)構(gòu)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110357101.4
• 申請日: 2021-04-01
• 公開（公告）號: CN113130664B
• 公開（公告）日: 2022-07-12
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王志宇;黃威文;陳偉
• 申請（專利權(quán)）人: 浙江大學(xué)
• 主分類號: H01L29/868
• 分類號: H01L29/868;H01L29/06;H01L29/40
• 代理公司: 杭州天昊專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 33283
• 代理人: 趙志鵬

1.一種PIN管微觀結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括Metal 1層、Metal 2層、陽極引出層AC、陰極引出層CC和PIN管；陽極引出層AC、陰極引出層CC設(shè)置在PIN管的兩極上，且Metal 1層在陽極引出層AC、陰極引出層CC上方，Metal 2層在Metal 1層上方；其中，Metal 1層與陽極引出層AC或陰極引出層CC之間設(shè)置過孔Via 1，Metal 1層與Metal 2層之間設(shè)置過孔Via2；

PIN管設(shè)置在襯底上；其中，PIN管包括P層、I層、N層，P層、I層、N層依次設(shè)置在襯底上，且N層覆蓋的面積大于I層覆蓋的面積，I層覆蓋的面積大于P層覆蓋的面積。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種PIN管微觀結(jié)構(gòu)，其特征在于：陰極引出層CC與靠近陽極引出層AC的兩者的橫向最近距離為1 .5μm。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種PIN管微觀結(jié)構(gòu)，其特征在于：P層整體為長條狀，其拐角采用半圓弧狀；N層整體呈“ 凹”字形，其拐角采用1/4圓弧狀。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種PIN管微觀結(jié)構(gòu)，其特征在于：襯底上不同器件之間采用IS層進(jìn)行隔離，IS層采用在襯底相應(yīng)位置注入硼離子。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種PIN管微觀結(jié)構(gòu)，其特征在于：過孔Via 1、過孔Via2、Metal 1層、Metal 2層的拐角處采用半圓弧狀或圓弧狀。