[發(fā)明專利]樹脂成形品的制造方法及樹脂成形裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110353842.5
• 申請日: 2021-04-01
• 公開（公告）號: CN113524547A
• 公開（公告）日: 2021-10-22
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 梅木健志;片山雅之
• 申請（專利權(quán)）人: 東和株式會社
• 主分類號: B29C43/18
• 分類號: B29C43/18;B29C43/34;B29C43/36;B29C43/32;H01L21/56
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11205
• 代理人: 楊貝貝;臧建明

本發(fā)明提供一種樹脂成形品的制造方法及樹脂成形裝置，即使液狀樹脂的噴出量超過目標(biāo)值，也可不廢棄成形對象物而進行樹脂成形。所述樹脂成形品的制造方法，包括：將液狀樹脂噴出到脫模膜上的液狀樹脂噴出步驟；對噴出到所述脫模膜上的所述液狀樹脂的重量進行計量的計量步驟；以及判定所述液狀樹脂的重量是正常還是異常的重量判定步驟，在所述重量判定步驟中所述液狀樹脂的重量正常的情況下，使用噴出到所述脫模膜的所述液狀樹脂進行樹脂成形，在所述重量判定步驟中所述液狀樹脂的重量異常的情況下，廢棄噴出有所述液狀樹脂的所述脫模膜。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種樹脂成形品的制造方法、樹脂成形裝置。

背景技術(shù)

在專利文獻1中公開了一種樹脂模制裝置，在樹脂模制之前，如圖6所示，通過氣缸或馬達等驅(qū)動源使分配單元(Dispense Unit)18的活塞18c向下移動并壓入到注射器(syringe)19內(nèi)，從而從管噴嘴19a噴出液狀樹脂并供給到工件W。

[現(xiàn)有技術(shù)文獻]

[專利文獻]

[專利文獻1]日本專利特開2012-114285號公報

發(fā)明內(nèi)容

[發(fā)明所要解決的問題]

在專利文獻1所記載的樹脂模制裝置中，由于從分配單元向工件直接噴出液狀樹脂，因此在液狀樹脂的噴出量超過容許范圍的情況下，難以從工件僅除去液狀樹脂。因此，如果液狀樹脂的噴出量超過容許范圍，則必須連同工件一并廢棄。例如，在晶片尺寸為φ300，半導(dǎo)體芯片尺寸為3mm×3mm的情況下，在作為工件的晶片上搭載有大約3600個半導(dǎo)體芯片，如果廢棄工件，則產(chǎn)生3600個半導(dǎo)體芯片的損失。

因此，本發(fā)明的主要目的在于，即使液狀樹脂的噴出量超過目標(biāo)值，也不廢棄成形對象物而進行樹脂成形。

[解決問題的技術(shù)手段]

為了解決上述課題，本發(fā)明的樹脂成形品的制造方法包括：將液狀樹脂噴出到脫模膜上的液狀樹脂噴出步驟；對噴出到所述脫模膜上的所述液狀樹脂的重量進行計量的計量步驟；以及判定所述液狀樹脂的重量是正常還是異常的重量判定步驟，在所述重量判定步驟中所述液狀樹脂的重量正常的情況下，使用噴出到所述脫模膜的所述液狀樹脂進行樹脂成形，在所述重量判定步驟中所述液狀樹脂的重量異常的情況下，廢棄噴出有所述液狀樹脂的所述脫模膜。

為了解決上述課題，本發(fā)明的樹脂成形裝置包括：包括上模及與所述上模相向的下模的成形模；對所述成形模進行合模的合模機構(gòu)；向脫模膜上噴出液狀樹脂的液狀樹脂噴出機構(gòu)；以及判定所述液狀樹脂的重量的控制部，控制部進行所述液狀樹脂的重量是正常還是異常的判定，在所述液狀樹脂的重量正常的情況下，以使用噴出到所述脫模膜的所述液狀樹脂進行樹脂成形的方式進行控制，在所述液狀樹脂的重量異常的情況下，以廢棄噴出有所述液狀樹脂的所述脫模膜的方式進行控制。

[發(fā)明的效果]

根據(jù)本發(fā)明，即使液狀樹脂的噴出量超過目標(biāo)值，也可不廢棄成形對象物而進行樹脂成形。

附圖說明

圖1是表示本發(fā)明的一實施方式的樹脂成形裝置的整體結(jié)構(gòu)的平面示意圖。

圖2是表示樹脂供給模塊的一部分的概略結(jié)構(gòu)的主要部分剖面圖。

圖3是表示樹脂成形模塊的概略結(jié)構(gòu)的主要部分剖面圖。

圖4是表示本發(fā)明的一實施方式的樹脂成形動作的流程圖。

圖5是表示本發(fā)明的一實施方式的樹脂成形動作的流程圖。

[符號的說明]

1：樹脂成形裝置

5：成形前基板

6：成形后基板