[發明專利]一種超薄電子玻璃基板條紋缺陷的在線檢測方法和裝置

有效

• 申請號: 202110352696.4
• 申請日: 2021-03-31
• 公開（公告）號: CN113189002B
• 公開（公告）日: 2023-01-13
• 發明（設計）人: 李淼;楊國洪;王答成;焦宗平
• 申請（專利權）人: 彩虹顯示器件股份有限公司
• 主分類號: G01N21/01
• 分類號: G01N21/01;G01N21/958
• 代理公司: 西安通大專利代理有限責任公司 61200
• 代理人: 房鑫

1.一種超薄電子玻璃基板條紋缺陷的在線檢測方法，其特征在于，包括以下步驟：

-將格柵圖像的光線穿過待測玻璃基板，若光線發生偏折，捕獲得到的畸變格柵圖；

-將畸變格柵圖與基準格柵圖進行疊加運算，形成虛擬摩爾干涉條紋，計算虛擬摩爾干涉條紋的屈光度；所述基準格柵圖由格柵圖像的光線穿過無亮暗線條紋的玻璃基板得到；

所述將畸變格柵圖與基準格柵圖進行疊加運算，形成虛擬摩爾干涉條紋具體操作為：

固定2800KHZ以上頻率方波信號的激勵下，虛擬成實物光柵尺電信號，驅動LED燈珠發射不同灰階的基準格柵圖像光信號；

動態140KHZ以上頻率切換方波信號的激勵下，驅動LED燈珠發射動態交變的基準格柵圖像光信號；

140KHZ以上頻率掃描感光，將動態交變的基準格柵圖像光信號轉換成電信號；

將激勵方波信號與感光檢測到的電信號進行電流疊加處理，實現動態摩爾條紋信號檢測；

將畸變格柵圖與基準格柵圖的摩爾條紋信號進行疊加，形成虛擬摩爾干涉條紋；

-對屈光度絕對值大于或等于閾值的信號進行濾波和增強處理，并按照正屈光度為亮線以及負屈光度為暗線進行劃分，實現待測玻璃基板的亮暗線條紋在線測量；

所述的屈光度絕對值的閾值為10mdpt；

-根據屈光度將亮暗線條紋缺陷劃分成不同嚴重程度等級，將測量得到的亮暗線條紋對照劃分出的嚴重程度等級進行風險預警或不良管控，實現玻璃基板條紋缺陷的在線檢測。

2.根據權利要求1所述超薄電子玻璃基板條紋缺陷的在線檢測方法，其特征在于，所述根據屈光度將亮暗線條紋缺陷劃分成不同嚴重程度等級具體包括：在線檢測亮暗線屈光度與離線測光目視亮暗線質量管理等級進行關聯比較，根據經驗值得到屈光度與亮暗線條紋質量等級關系曲線，對照曲線按屈光度確定亮暗線條紋缺陷的嚴重程度等級。

3.一種超薄電子玻璃基板條紋缺陷的在線檢測裝置，其特征在于：用于實現如權利要求1或2所述超薄電子玻璃基板條紋缺陷的在線檢測方法，包括光源(3)、感光元件(2)及限位塊(5)；限位塊(5)為條形且沿玻璃基板流向加工有限位凹槽，玻璃基板由限位凹槽經過；光源(3)與感光元件(2)相對設置在限位塊(5)的兩側；光源(3)按照需要檢測的區域由若干個燈珠排列組成，光源(3)在方波信號的激勵下生成格柵圖像的光線(4)；光線(4)由玻璃基板穿過經透鏡(2-1)被感光元件(2)接收；感光元件(2)連接處理器，處理器能夠對畸變格柵圖與基準格柵圖進行疊加運算，形成虛擬摩爾干涉條紋，通過圖像采集卡設定屈光度絕對值的閾值，對大于或等于閾值的信號進行濾波和增強處理。

4.根據權利要求3所述超薄電子玻璃基板條紋缺陷的在線檢測裝置，其特征在于：所述的光源(3)采用模塊化設計，按照不同的檢測寬度進行設置，每個模塊的寬度及長度不小于280mm，單個模塊有64個LED燈珠，亮度能夠達到10萬lux以上。

5.根據權利要求3所述超薄電子玻璃基板條紋缺陷的在線檢測裝置，其特征在于：所述的方波信號由方波信號驅動器激勵產生，方波信號的掃描頻率為2800KHZ；

所述格柵圖像的光線(4)節距≤60um。

6.根據權利要求3所述超薄電子玻璃基板條紋缺陷的在線檢測裝置，其特征在于：所述的感光元件(2)選用8K以上黑白線陣CCD相機，像素大小≥20um，行掃描頻率≥140KHz，所述的感光元件(2)及透鏡(2-1)的焦距在60mm以上。

7.根據權利要求3所述超薄電子玻璃基板條紋缺陷的在線檢測裝置，其特征在于：所述的圖像采集卡集成在感光元件(2)當中，圖像采集卡的接口選用IEEE1394或USB2.0，像素為黑白256級灰度，分辨率為2048*1536，采樣頻率在65MHZ以上。

8.根據權利要求3所述超薄電子玻璃基板條紋缺陷的在線檢測裝置，其特征在于：所述的處理器選用2x CPU AMD EPYC 7281或32Cores，AVX512型號處理器。