[發明專利]一種碳碳化硅復合粉末及其制備方法和用途

有效

• 申請號: 202110349418.3
• 申請日: 2021-03-31
• 公開（公告）號: CN113024255B
• 公開（公告）日: 2022-07-29
• 發明（設計）人: 姚力軍;邊逸軍;潘杰;王學澤;楊慧珍
• 申請（專利權）人: 寧波江豐電子材料股份有限公司
• 主分類號: C04B35/52
• 分類號: C04B35/52;C04B35/565;C04B35/622;C04B35/626
• 代理公司: 北京遠智匯知識產權代理有限公司 11659
• 代理人: 王巖

1.一種碳碳化硅復合粉末的制備方法，其特征在于，所述制備方法包括如下步驟：

（1）按照目標質量比例準備碳粉和碳化硅粉并混合均勻，得到碳碳化硅混合粉；其中，所述碳粉的粒度小于20μm，所述碳化硅粉的粒度小于10μm；所述目標質量比例中所述碳粉的占比為40-60wt%，其余為碳化硅粉以及不可避免的雜質；

（2）先將粘結劑加入步驟（1）所述碳碳化硅混合粉中進行一次混合，再將分散劑加入進行二次混合，然后加入水進行三次混合，隨后將得到的混合物放入球磨設備中進行球磨，得到碳碳化硅料漿；

其中，所述粘結劑的質量占所述碳碳化硅混合粉質量的5-15%，所述分散劑的質量占所述碳碳化硅混合粉質量的0.5-5%，在所述碳碳化硅料漿中，所述碳碳化硅混合粉與水的質量比為(30-50):(50-70)；所述粘結劑包括淀粉溶液和/或聚乙烯醇；所述分散劑包括乙二醇丁醚和/或丙二醇丁醚；所述球磨在密封條件下進行；

（3）將步驟（2）所述碳碳化硅料漿中滴加消泡劑，然后進行噴霧造粒，得到碳碳化硅復合粉末；其中，所述消泡劑包括正辛醇。

2.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，步驟（1）所述碳粉為純度≥99.995wt%高純碳粉。

3.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，步驟（1）所述碳化硅粉為純度≥99.9wt%高純碳化硅粉。

4.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，步驟（1）所述混合采用球磨方式。

5.根據權利要求4所述的制備方法，其特征在于，所述球磨的料球比為(1-3):1。

6.根據權利要求4所述的制備方法，其特征在于，所述球磨的時間≥24h。

7.根據權利要求4所述的制備方法，其特征在于，所述球磨的球磨介質為碳化硅球。

8.根據權利要求4所述的制備方法，其特征在于，所述球磨在密封條件下進行。

9.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，步驟（2）所述球磨的料球比為(1-3):1。

10.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，步驟（2）所述球磨的時間≥10h。

11.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，步驟（2）所述球磨的球磨介質為碳化硅球。

12.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，步驟（3）所述噴霧造粒的進風溫度為250-300℃。

13.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，步驟（3）所述噴霧造粒的出風溫度為70-110℃。

14.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，步驟（3）所述噴霧造粒的噴頭轉速為1700-2000r/min。

15.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，步驟（3）所述噴霧造粒的進料速度為50-80g/min。

16.一種碳碳化硅復合粉末，其特征在于，利用權利要求1-15任一項所述制備方法制備得到。

17.根據權利要求16所述的碳碳化硅復合粉末，其特征在于，所述碳碳化硅復合粉末為球形，粒度D90為100-150μm。

18.一種碳碳化硅復合粉末的用途，其特征在于，將權利要求16或17所述碳碳化硅復合粉末用于制備碳碳化硅靶材。